ప్రెసిషన్ సిరామిక్స్, ముఖ్యంగా అధునాతన స్ట్రక్చరల్ సిరామిక్స్, హై-ఎండ్ సెమీకండక్టర్ తయారీలో అనివార్యమైన పదార్థాలు, చిప్ ఫాబ్రికేషన్, టెస్టింగ్ మరియు ప్యాకేజింగ్ నుండి మొత్తం పరిశ్రమ గొలుసును విస్తరించాయి. అల్యూమినా, సిలికాన్ నైట్రైడ్, అల్యూమినియం నైట్రైడ్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ వంటి ఖచ్చితమైన సిరామిక్స్, అధిక స్వచ్ఛత, అధిక ఉష్ణ నిరోధకత, అధిక దుస్తులు నిరోధకత, బలమైన తుప్పు నిరోధకత మరియు ఉన్నతమైన విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ కోసం సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియల యొక్క కఠినమైన అవసరాలను పూర్తిగా తీరుస్తాయి. సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో, ఖచ్చితమైన సిరామిక్స్ మొత్తం విలువలో సుమారుగా 16% ఉంటుంది మరియు అవి వేఫర్ పాలిషింగ్ మెషీన్‌లు, హీట్ ట్రీట్‌మెంట్ పరికరాలు, లితోగ్రఫీ మిషన్లు, డిపాజిషన్ పరికరాలు, ఎచింగ్ పరికరాలు మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మెషీన్‌లతో సహా పరికరాల కోసం భాగాల తయారీలో విస్తృతంగా వర్తించబడతాయి.

దరఖాస్తు ప్రక్రియ	సిరామిక్ భాగాలు
CMP	పాలిషింగ్ టేబుల్, పాలిషింగ్ ప్లేట్, హ్యాండ్లింగ్ ఆర్మ్
ఫోటోలిథోగ్రఫీ	వాక్యూమ్ చక్, వేఫర్ చక్, వర్క్ టేబుల్, హ్యాండ్లింగ్ ఆర్మ్
అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ (RTP / ఎపిటాక్సీ / ఆక్సీకరణ / వ్యాప్తి)	ఇన్సులేటర్, బేస్ ససెప్టర్, వేఫర్ బోట్, ఫర్నేస్ ట్యూబ్, కాంటిలివర్ తెడ్డు
నిక్షేపణ	చాంబర్ మూత, చాంబర్ లైనర్, డిపాజిషన్ రింగ్, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్, హీటర్, ఎలక్ట్రోప్లేటింగ్ ఇన్సులేటర్, వాక్యూమ్ బ్రేక్ ఫిల్టర్
మొదలైనవి	డోమ్ టాప్, ఛాంబర్ బాడీ, ఫోకస్ రింగ్, నాజిల్, ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్, హ్యాండ్లింగ్ ఆర్మ్
అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్	బేరింగ్, వాక్యూమ్ చక్, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్

---

I. చిప్ ఫ్యాబ్రికేషన్: కోర్ కాంపోనెంట్స్

1. వేఫర్ ప్రాసెసింగ్

ఎ. ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్

ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ సాధారణంగా అధిక స్వచ్ఛతతో తయారు చేయబడతాయిఅల్యూమినామరియుఅల్యూమినియం నైట్రైడ్సిరామిక్స్. చెక్కడం, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ మరియు భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ వంటి ప్రక్రియల సమయంలో సెమీకండక్టర్ పొరలను శోషించడం మరియు పరిష్కరించడం వారి ప్రధాన విధి. ఈ ప్రక్రియలలో, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ అద్భుతమైన మొత్తం ఫ్లాట్‌నెస్, ఎలక్ట్రికల్ ఇన్సులేషన్, ప్లాస్మా ఎరోషన్ రెసిస్టెన్స్ మరియు అంతర్గత తాపన & శీతలీకరణ వ్యవస్థ ద్వారా ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను కలిగి ఉండాలి.

బి. ఎచింగ్ ప్రాసెస్ భాగాలు

ఎచింగ్ రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లలో ఉపయోగించే సిరామిక్ లైనర్లు, ఫోకస్ రింగ్‌లు మరియు గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ డిస్క్‌లు వంటి భాగాలు సాధారణంగా అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తీవ్రమైన తుప్పు ఎచింగ్ పరిస్థితులకు నేరుగా బహిర్గతమవుతాయి. పరిశ్రమ సాధారణంగా ఈ భాగాలను తయారు చేయడానికి యట్రియం ఆక్సైడ్, అల్యూమినియం నైట్రైడ్ మరియు అల్యూమినియం ఆక్సైడ్‌లను ఉపయోగిస్తుంది, అవి పొరను కలుషితం చేయకుండా నిరోధించడానికి చాలా బలమైన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉన్నాయని నిర్ధారిస్తుంది. Yttrium ఆక్సైడ్ హాలోజన్ ప్లాస్మాలలో (Cl₂ మరియు CF₄ వంటివి) అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తుంది, ఇది హై-ఎండ్ ఎచింగ్ మెషీన్‌లకు ప్రాధాన్యతనిస్తుంది. అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన అల్యూమినియం నైట్రైడ్ సిరామిక్‌లు అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత, ఉష్ణ నిరోధకత మరియు ఇన్సులేషన్‌ను కలిగి ఉంటాయి, సిలికాన్‌కు దగ్గరగా ఉన్న ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం మరియు అద్భుతమైన ప్లాస్మా నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తుంది, ఫలితంగా ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీ ఏర్పడుతుంది, ఇది భాగాలను చెక్కడానికి అనువైన ఎంపిక.

C. కెమికల్ మెకానికల్ పాలిషింగ్

రసాయన మెకానికల్ పాలిషింగ్ పరికరాలలో ఉపయోగించే సిరామిక్ పాలిషింగ్ హెడ్‌లు సాధారణంగా అల్యూమినియం నైట్రైడ్ నుండి తయారు చేయబడతాయి, ఎందుకంటే అల్యూమినియం నైట్రైడ్ అధిక కాఠిన్యం, దుస్తులు నిరోధకత మరియు రసాయన స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది. ఈ మెటీరియల్ లక్షణాలు పొర ఉపరితలంపై స్థిరమైన ఫ్లాట్‌నెస్ ఒత్తిడిని నిర్వహించడానికి దీర్ఘ-కాల రసాయన యాంత్రిక పాలిషింగ్ పరిసరాలలో స్థిరంగా పనిచేయడానికి సిరామిక్ పాలిషింగ్ హెడ్‌లను అనుమతిస్తుంది.

D. అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్

అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ప్రక్రియల బీమ్‌లైన్‌లలో ఇన్సులేటర్‌లుగా, ఫిక్చర్‌లుగా మరియు బఫిల్స్‌గా ఉపయోగించే భాగాలు ఛార్జ్ చేరడం నిరోధించడానికి మరియు అధిక-శక్తి అయాన్ కిరణాల ద్వారా బాంబు దాడిని తట్టుకోవడానికి అధిక ఇన్సులేషన్ అవసరం. అల్యూమినా మరియుసిలికాన్ నైట్రైడ్విశ్వసనీయ పదార్థ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి, ఈ భాగాలలో భాగాలను రూపొందించడానికి వాటిని ఆదర్శంగా మారుస్తుంది.

2. సన్నని చలనచిత్రం నిక్షేపణ

అల్యూమినియం నైట్రైడ్ మరియు అల్యూమినా వంటి ప్రెసిషన్ సిరామిక్స్‌ను రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ పరికరాలలో తాపన ప్లేట్లు, ససెప్టర్లు మరియు ఛాంబర్ లైనర్‌లుగా ఉత్పత్తి చేయవచ్చు. వాటి అత్యుత్తమ మెటీరియల్ లక్షణాలు వాటిని స్థిరమైన పనితీరును నిర్వహించడానికి మరియు అధిక పని ఉష్ణోగ్రతలు (అనేక వందల డిగ్రీల సెల్సియస్ వరకు) మరియు తినివేయు రియాక్టివ్ వాయువులతో కూడిన సవాలు చేసే ఆపరేటింగ్ పరిసరాలలో అవాంఛిత మలినాలను విడుదల చేయకుండా నిరోధించడానికి అనుమతిస్తాయి.

3. వేడి చికిత్స (డిఫ్యూజన్, ఆక్సీకరణ)

అధిక స్వచ్ఛతక్వార్ట్జ్ గాజు(ఒక సాధారణ సిరామిక్ కానప్పటికీ, ఇది సిలికేట్ సిరామిక్స్ విభాగంలోకి వస్తుంది) మరియుసిలికాన్ కార్బైడ్సిరామిక్స్ సాధారణంగా డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లు మరియు పొర పడవల తయారీలో ఉపయోగిస్తారు. సిలికాన్ కార్బైడ్ అధిక ఉష్ణ వాహకత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత యాంత్రిక బలం, అధిక దృఢత్వం, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం, మంచి ఉష్ణ ఏకరూపత, తుప్పు నిరోధకత మరియు దుస్తులు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. కొలిమి గొట్టాలు మరియు పొర పడవల ఉత్పత్తిలో దాని ఉపయోగంతో పాటు, ఇది XY ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు, స్థావరాలు, ఉత్పత్తి మరియు ప్రాసెసింగ్‌లో కూడా వర్తించవచ్చు.ఫోకస్ రింగ్లు, పాలిషింగ్ ప్లేట్లు,పొర చక్స్, వాక్యూమ్ చక్స్,రవాణా ఆయుధాలు, మరియుకాంటిలివర్ తెడ్డులు.

---

II. చిప్ టెస్టింగ్ మరియు ప్యాకేజింగ్

1. టెస్ట్ ప్రోబ్ కార్డ్‌లు

అల్యూమినా మరియు అల్యూమినియం నైట్రైడ్ వంటి ప్రెసిషన్ సిరామిక్స్ సాధారణంగా ప్రోబ్ కార్డ్‌లకు సబ్‌స్ట్రేట్‌లుగా ఉపయోగించబడతాయి. ఈ సిరామిక్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లు అద్భుతమైన ఇన్సులేషన్, ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీని అందజేస్తాయి, ఇవి వేలాది మైక్రోప్రోబ్‌లను ఎలక్ట్రికల్ పనితీరు పరీక్ష కోసం చిప్‌లోని చిన్న ప్యాడ్‌లతో ఖచ్చితంగా సమలేఖనం చేయగలవు.

2. ప్యాకింగ్ సబ్‌స్ట్రేట్ మరియు హౌసింగ్

అల్యూమినియం నైట్రైడ్ మరియు బెరీలియం ఆక్సైడ్ సాధారణంగా ప్యాకేజింగ్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లు మరియు హౌసింగ్‌ల తయారీకి ఉపయోగించే పదార్థాలు. వారు CERDIP మరియు CQFP వంటి సిరామిక్ ప్యాకేజీల సమయంలో చిప్‌ను సమర్థవంతంగా రక్షించడానికి మరియు వేడిని వెదజల్లడానికి అసాధారణమైన హెర్మెటిసిటీ, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్ మ్యాచింగ్ సిలికాన్‌ను అందిస్తారు. పవర్ మాడ్యూల్స్‌లో, ఇన్సులేటింగ్ లేయర్‌గా అల్యూమినియం నైట్రైడ్ సబ్‌స్ట్రేట్ సర్క్యూట్‌ల మధ్య ఎలక్ట్రికల్ ఐసోలేషన్‌ను నిర్ధారించేటప్పుడు చిప్ ద్వారా మెటల్ హీట్ సింక్‌కు ఉత్పత్తి చేయబడిన వేడిని సమర్థవంతంగా నిర్వహించగలదు.

---

ప్రెసిషన్ సిరామిక్స్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో "అన్‌సంగ్ హీరోలు". అవి నేరుగా చిప్ యొక్క సర్క్యూట్రీని ఏర్పాటు చేయనప్పటికీ, అత్యాధునిక చిప్‌ల తయారీ ఆధారపడి ఉండే మూలస్తంభం మరియు సంరక్షకుడు. ఖచ్చితమైన సిరామిక్స్, వాటి విశ్వసనీయమైన మరియు స్థిరమైన మెటీరియల్ లక్షణాలతో, చిన్న, వేగవంతమైన మరియు మరింత బలమైన పరికరాలను నిర్మించడానికి సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమకు మద్దతు ఇస్తుంది.