క్వార్ట్జ్ సెమీకండక్టర్‌లో దేనికి ఉపయోగిస్తారు?

సెమీకండక్టర్ తయారీ రంగంలో, సిలికాన్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల నుండి ఆక్సీకరణ వ్యాప్తి వరకు, చెక్కడం నుండి శుభ్రపరచడం వరకు, క్వార్ట్జ్ నిర్మాణ భాగాలు మొత్తం ప్రక్రియలో పాల్గొంటాయి. అధునాతన ప్రక్రియల అభివృద్ధితో, లోహపు మలినాలు మరియు కణాల ద్వారా కలుషితానికి సహనం ప్రతి అడుగులోనూ తక్కువగా మారుతోంది.

దిసంశ్లేషణ క్వార్ట్జ్అధిక స్వచ్ఛత, నాన్ బబుల్, నో ఇన్‌క్లూషన్ పార్టికల్స్, హై UV ట్రాన్స్‌మిటెన్స్ మొదలైన బొమ్మలను కలిగి ఉంది. ఇది అధునాతన తయారీ ప్రక్రియలలో సాంప్రదాయ సహజ క్వార్ట్జ్ పదార్థాలను క్రమంగా భర్తీ చేస్తుంది, ఇది దిగుబడిని గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది మరియు జీవితకాలం పొడిగిస్తుంది.

01 ఎచింగ్ రింగ్

ప్లాస్మా (అధిక రియాక్టివ్ ఫ్లోరిన్ మరియు క్లోరిన్-ఆధారిత వాయువులను కలిగి ఉంటుంది) యొక్క బాంబు దాడిలో, పదార్థాలకు చాలా ఎక్కువ రసాయన జడత్వం మరియు తుప్పు నిరోధకత అవసరం. అదే సమయంలో, కణ కలుషితాన్ని చెక్కడం నుండి నిరోధించడానికి క్వార్ట్జ్ పదార్థాలు చాలా ఎక్కువ స్వచ్ఛతను కలిగి ఉండాలి. ఎచింగ్ రింగులు వినియోగించదగిన భాగాలు; ప్రస్తుతం, చాలా పరికరాలు సహజ క్వార్ట్జ్‌ని ఉపయోగిస్తున్నాయి. అయినప్పటికీ, కొన్ని అధునాతన ప్రక్రియలు (2nm, 5nm మరియు 28nm కంటే తక్కువ ఉన్న ఇతర ప్రక్రియలు) కణాలు మరియు లోహ అయాన్‌లపై కఠినమైన నియంత్రణ కారణంగా వాటిని సింథటిక్ క్వార్ట్జ్ ఎచింగ్ రింగ్‌లతో భర్తీ చేశాయి.

02 క్వార్ట్జ్ గోపురం

ఎచింగ్ మరియు థిన్-ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ (CVD వంటివి) పరికరాలలో రియాక్షన్ ఛాంబర్ పైభాగంలో పారదర్శక గోపురం-ఆకారపు పరిశీలన విండో వ్యవస్థాపించబడింది. ప్రాసెస్ ఛాంబర్‌ను కలుషితం చేయకుండా మలినాలను నిరోధించడానికి దీనికి చాలా ఎక్కువ స్వచ్ఛత అవసరం మాత్రమే కాకుండా, ప్రక్రియ యొక్క నిజ-సమయ పర్యవేక్షణ కోసం గుర్తింపు వ్యవస్థ నుండి కాంతి సంకేతాలను అనుమతించడానికి కొన్ని ఆప్టికల్ లక్షణాలు కూడా అవసరం. సింథటిక్ క్వార్ట్జ్, దాని అత్యంత అధిక ప్రసారం మరియు అధిక స్వచ్ఛతతో, DOME (డిఫ్యూజన్ ఆక్సీకరణ)లో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

03 ఫర్నేస్ ట్యూబ్

అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ/వ్యాప్తి ఫర్నేసులలో, ఇది పొరను పట్టుకొని ప్రక్రియ ప్రతిచర్యను నిర్వహించే కోర్ గొట్టపు కంటైనర్‌గా పనిచేస్తుంది. చాలా అధిక ఉష్ణ నిరోధకత అవసరం, 1200 ° C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద మృదుత్వం లేదా వైకల్యం లేకుండా దీర్ఘకాలిక ఆపరేషన్‌ను అనుమతిస్తుంది. సహజ క్వార్ట్జ్, దాని అధిక ఆల్ కంటెంట్ మరియు తక్కువ హైడ్రాక్సిల్ కంటెంట్ కారణంగా, అధిక ఉష్ణ నిరోధకతను సాధిస్తుంది మరియు ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. అయితే, అధునాతన ప్రక్రియలు చాంబర్‌లోని లోహపు మలినం అయాన్‌లపై మరింత కఠినమైన నియంత్రణలను విధించడంతో, అధిక ఉష్ణ-నిరోధక సింథటిక్ క్వార్ట్జ్ పదార్థాలు క్రమంగా సహజ క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లను భర్తీ చేస్తున్నాయి.

04 క్లీనింగ్ ట్యాంక్

పొరల తడి శుభ్రపరచడం కోసం అధిక-స్వచ్ఛత, అత్యంత తినివేయు క్లీనింగ్ సొల్యూషన్‌లను (SC1, SC2, హైడ్రోఫ్లోరిక్ యాసిడ్, సల్ఫ్యూరిక్ యాసిడ్ మొదలైనవి) ఉంచడానికి ఉపయోగిస్తారు. క్వార్ట్జ్ పదార్థాలు యాసిడ్ మరియు క్షార తుప్పుకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను కలిగి ఉంటాయి: అవి దాదాపు అన్ని బలమైన ఆమ్లాల (హైడ్రోఫ్లోరిక్ యాసిడ్ మరియు హాట్ ఫాస్పోరిక్ యాసిడ్ మినహా) కోతను నిరోధించగలవు, ట్యాంక్ దీర్ఘకాలిక ఉపయోగం కోసం తుప్పు పట్టకుండా ఉంటాయి. అయినప్పటికీ, దీర్ఘకాలం ఉపయోగించడంతో, క్వార్ట్జ్ ట్యాంక్‌లోని లోహ అయాన్లు క్రమంగా విడుదలవుతాయి, సులభంగా కలుషితాన్ని కలిగిస్తాయి. PPB-గ్రేడ్ సింథటిక్ క్వార్ట్జ్ లోహపు మలినం అయాన్ కాలుష్యాన్ని సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది మరియు దాని బబుల్-రహిత స్వభావం మృదువైన, దట్టమైన ఉపరితలాలను ప్రాసెస్ చేయడానికి, కలుషిత సంశ్లేషణను తగ్గించడానికి మరింత అనుకూలంగా ఉంటుంది.

05. UV క్యూరింగ్ విండో

UV క్యూరింగ్ ఎక్విప్‌మెంట్‌లో ఇన్‌స్టాల్ చేయబడింది, ఇది UV కాంతిని ప్రసారం చేయడానికి విండోగా పనిచేస్తుంది. అన్ని ఆప్టికల్ పదార్థాలలో, సింథటిక్ క్వార్ట్జ్ లోతైన అతినీలలోహిత (DUV) నుండి అతినీలలోహిత (UV) బ్యాండ్‌లకు (185nm వరకు) అత్యధిక ప్రసారాన్ని కలిగి ఉంటుంది. దీని అధిక బలం మరియు రేడియేషన్ నిరోధకత దీర్ఘకాల UV రేడియేషన్‌లో దాని పనితీరు క్షీణించకుండా లేదా రంగు మారకుండా చూసుకుంటుంది.

06. అధునాతన ప్యాకేజింగ్ క్యారియర్

అధునాతన ప్యాకేజింగ్ ప్రక్రియలలో (ఫ్యాన్-అవుట్, 2.5D/3D IC వంటివి), సింథటిక్ క్వార్ట్జ్ క్యారియర్ పొరలను తాత్కాలికంగా సపోర్టింగ్ చేయడానికి, ఫిక్సింగ్ చేయడానికి, రవాణా చేయడానికి మరియు అల్ట్రా-సన్నని పొరలను ప్రాసెస్ చేయడానికి లేదా పొరలను పునర్నిర్మించడానికి క్యారియర్ ప్లేట్‌లుగా ఉపయోగించవచ్చు. అద్భుతమైన ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు దృఢత్వాన్ని సాధించడానికి సింథటిక్ క్వార్ట్జ్ మెటీరియల్‌ని ప్రాసెస్ చేయవచ్చు, అల్ట్రా-సన్నని చిప్‌లకు గట్టి మద్దతునిస్తుంది మరియు ప్రక్రియ ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

సెమికోరెక్స్ అధిక నాణ్యతను అందిస్తుందిఅనుకూలీకరించిన క్వార్ట్జ్ భాగాలువివిధ ప్రాసెసింగ్ కోసం. అనుకూలీకరించిన పరిష్కారాలు లేదా అదనపు సాంకేతిక సమాచారం కోసం, దయచేసి మా ఇంజనీరింగ్ బృందాన్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్: +86-13567891907

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com