సెమికోరెక్స్ అడ్వాన్స్డ్ మెటీరియల్ టెక్నాలజీ కో., లిమిటెడ్ చైనాలో అగ్రశ్రేణి రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) SiC కోటింగ్ ఉత్పత్తుల యొక్క ప్రముఖ అధిక-నాణ్యత సరఫరాదారు. వినూత్నమైన సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్స్, ముఖ్యంగా SiC కోటింగ్ టెక్నాలజీ మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో దాని అప్లికేషన్ యొక్క పరిశోధన మరియు అభివృద్ధికి మేము కట్టుబడి ఉన్నాము. మేము వంటి అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తుల యొక్క విస్తృత శ్రేణిని అందిస్తున్నాముSiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు, సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత, లోతైన UV ఎపిటాక్సీ ససెప్టర్లు, CVD సబ్స్ట్రేట్ హీటర్లు, CVD SiC వేఫర్ క్యారియర్లు, పొర పడవలు, అలాగేసెమీకండక్టర్ భాగాలుమరియుసిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ ఉత్పత్తులు.
LED చిప్ ఎపిటాక్సీ మరియు సిలికాన్ సింగిల్ క్రిస్టల్ సబ్స్ట్రేట్లలో ఉపయోగించిన SiC థిన్ ఫిల్మ్ వజ్రం వలె అదే క్రిస్టల్ లాటిస్ నిర్మాణంతో క్యూబిక్ దశను కలిగి ఉంటుంది మరియు ఇది కాఠిన్యంలో వజ్రం తర్వాత రెండవది. SiC అనేది సెమీకండక్టర్ ఎలక్ట్రానిక్స్ పరిశ్రమలో అప్లికేషన్ కోసం అపారమైన సంభావ్యత కలిగిన విస్తృత-బ్యాండ్గ్యాప్ సెమీకండక్టర్ మెటీరియల్, మరియు అధిక ఉష్ణ వాహకత, తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత వంటి అద్భుతమైన భౌతిక మరియు రసాయన లక్షణాలను కలిగి ఉంది.
ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల ఉత్పత్తిలో, పొరలు తప్పనిసరిగా సిలికాన్ ఎపిటాక్సీతో సహా అనేక దశలను దాటాలి, దీనిలో పొరలు గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లపై మోయబడతాయి. పొర యొక్క ఎపిటాక్సియల్ పొర నాణ్యతలో ససెప్టర్ల నాణ్యత మరియు లక్షణాలు కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి. MOCVD పరికరాల యొక్క ప్రధాన భాగాలలో గ్రాఫైట్ బేస్ ఒకటి, మరియు ఇది సబ్స్ట్రేట్ యొక్క క్యారియర్ మరియు హీటర్. థర్మల్ ఏకరూపత వంటి దాని ఉష్ణ స్థిరమైన పనితీరు పారామితులు ఎపిటాక్సియల్ మెటీరియల్ పెరుగుదల నాణ్యతలో నిర్ణయాత్మక పాత్ర పోషిస్తాయి మరియు సగటు ఏకరూపత మరియు స్వచ్ఛతను నేరుగా నిర్ణయిస్తాయి.
సెమికోరెక్స్లో, మేము అధిక-శక్తి ఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్పై దట్టమైన β-SiC ఫిల్మ్లను తయారు చేయడానికి CVDని ఉపయోగిస్తాము, ఇది సింటెర్డ్ SiC మెటీరియల్లతో పోలిస్తే అధిక స్వచ్ఛతను కలిగి ఉంటుంది. SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు వంటి మా ఉత్పత్తులు గ్రాఫైట్ బేస్ను ప్రత్యేక లక్షణాలతో అందజేస్తాయి, గ్రాఫైట్ బేస్ యొక్క ఉపరితలం కాంపాక్ట్, మృదువైన మరియు నాన్-పోరస్, సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెంట్, థర్మల్ యూనిఫామిటీ, తుప్పు నిరోధకత మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.
SiC పూత సాంకేతికత ముఖ్యంగా LED ఎపిటాక్సియల్ క్యారియర్ల పెరుగుదల మరియు Si సింగిల్ క్రిస్టల్ ఎపిటాక్సీలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడింది. సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క వేగవంతమైన వృద్ధితో, SiC పూత సాంకేతికత మరియు ఉత్పత్తులకు డిమాండ్ గణనీయంగా పెరిగింది. మా SiC కోటింగ్ ఉత్పత్తులు ఏరోస్పేస్, ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమ, న్యూక్లియర్ ఎనర్జీ, హై-స్పీడ్ రైలు, ఆటోమోటివ్ మరియు ఇతర పరిశ్రమలలో విస్తృత శ్రేణి అప్లికేషన్లను కలిగి ఉన్నాయి.
ఉత్పత్తి అప్లికేషన్
LED IC ఎపిటాక్సీ
సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ
RTP/TRA వేఫర్ క్యారియర్లు
ICP/PSS ఎచింగ్
ప్లాస్మా ఎచింగ్
SiC ఎపిటాక్సీ
మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ
సిలికాన్-బేస్ GaN ఎపిటాక్సీ
లోతైన UV ఎపిటాక్సీ
సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్
కాంతివిపీడన పరిశ్రమ
SiC ఎపిటాక్సియల్ CVD సిస్టమ్
SiC ఎపిటాక్సియల్ ఫిల్మ్ గ్రోత్ పరికరాలు
MOCVD రియాక్టర్
MOCVD వ్యవస్థ
CVD పరికరాలు
PECVD వ్యవస్థలు
LPE వ్యవస్థలు
Aixtron వ్యవస్థలు
Nuflare వ్యవస్థలు
TEL CVD సిస్టమ్స్
వెక్కో వ్యవస్థలు
TSI వ్యవస్థలు