డిపాజిషన్ ఛాంబర్లలో శుభ్రమైన, జడమైన మరియు రక్షిత వాతావరణాన్ని సృష్టించడానికి ఛాంబర్ మూతలు ఉపయోగించబడతాయి, కాబట్టి అవి నిక్షేపణ లేదా ఎట్చ్ ప్రక్రియల సమయంలో ప్లాస్మా మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతకు గురవుతాయి. సెమికోరెక్స్ ఛాంబర్ మూతలు అనేవి రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) పద్ధతిని ఉపయోగించి సిలికాన్ కార్బైడ్తో పూత పూయబడిన మన్నికైన సిరామిక్ భాగాలు, ఈ సవాలుతో కూడిన వాతావరణాలను ఎదుర్కొనేందుకు గొప్పవి.