ప్రొఫెషనల్ తయారీగా, మేము మీకు సెమీకండక్టర్ భాగాలను అందించాలనుకుంటున్నాము. సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ను మెరుగుపరచడానికి సెమికోరెక్స్ మీ భాగస్వామి. మా సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు దట్టమైన, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి సెమీకండక్టర్ వేఫర్ & వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్తో సహా సెమీకండక్టర్ తయారీ మొత్తం చక్రంలో తరచుగా ఉపయోగించబడతాయి.
సెమీకండక్టర్లోని ప్రక్రియలకు హై-స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన భాగాలు కీలకం. మా సమర్పణలో క్రిస్టల్ గ్రోయింగ్ హాట్ జోన్ల (హీటర్లు, క్రూసిబుల్ ససెప్టర్లు, ఇన్సులేషన్) కోసం గ్రాఫైట్ వినియోగ వస్తువుల నుండి ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు వంటి వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాల కోసం హై-ప్రెసిషన్ గ్రాఫైట్ కాంపోనెంట్ల వరకు ఉంటాయి.
సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు ప్రయోజనాలు
ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD వంటి సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ దశలు లేదా ఎచింగ్ లేదా అయాన్ ఇంప్లాంట్ వంటి వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్ అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ను తట్టుకోవాలి. సెమికోరెక్స్ అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ నిర్మాణం ఉన్నతమైన ఉష్ణ నిరోధకత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది, స్థిరమైన ఎపి పొర మందం మరియు నిరోధకత కోసం ఉష్ణ ఏకరూపతను కూడా అందిస్తుంది.
చాంబర్ మూతలు →
క్రిస్టల్ గ్రోత్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్లో ఉపయోగించే ఛాంబర్ మూతలు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ను తట్టుకోవాలి.
ఎండ్ ఎఫెక్టర్ →
ఎండ్ ఎఫెక్టర్ అనేది రోబోట్ చేతి, ఇది సెమీకండక్టర్ పొరలను వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలు మరియు క్యారియర్లలోని స్థానాల మధ్య కదిలిస్తుంది.
ఇన్లెట్ రింగ్స్ →
MOCVD పరికరాల ద్వారా SiC పూతతో కూడిన గ్యాస్ ఇన్లెట్ రింగ్ కాంపౌండ్ గ్రోత్ అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో గొప్ప స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది.
ఫోకస్ రింగ్ →
సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో కూడిన ఫోకస్ రింగ్ RTA, RTP లేదా కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ కోసం నిజంగా స్థిరంగా ఉంటుంది.
వేఫర్ చక్ →
సెమికోరెక్స్ అల్ట్రా-ఫ్లాట్ సిరామిక్ వాక్యూమ్ వేఫర్ చక్స్ అనేది వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించి అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన SiC పూతతో ఉంటుంది.
సెమికోరెక్స్ సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్లు పొర ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఎలక్ట్రోడ్లు మరియు ఎచింగ్ గ్యాస్ పాత్వేస్గా పనిచేస్తాయి. సెమికోరెక్స్ సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్లు ప్రత్యేకంగా హై-ఎండ్ సెమీకండక్టర్ ఎట్చ్ తయారీ కోసం రూపొందించబడిన అనివార్యమైన సిలికాన్ భాగాలు, ఇవి ఎచింగ్ యొక్క ఖచ్చితత్వం మరియు ఏకరూపతను మెరుగుపరచడంలో సహాయపడతాయి.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ కాంటిలివర్ పాడిల్స్ అనేది అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ అప్లికేషన్ల కోసం రూపొందించబడిన ఖచ్చితమైన-ఇంజనీరింగ్ భాగం. సెమికోరెక్స్ అధునాతన వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ మరియు థర్మల్ మేనేజ్మెంట్ సిస్టమ్ల యొక్క డిమాండ్ అవసరాలను తీర్చడానికి అధిక-నాణ్యత కాంటిలివర్ ప్యాడిల్స్ను అందిస్తుంది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగ్లు అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన సింగిల్ క్రిస్టల్ సిలికాన్తో తయారు చేయబడిన ఖచ్చితమైన రింగ్-ఆకారపు ఎచింగ్ భాగాలు. అవి ప్లాస్మా ఎచింగ్ పరికరాలలో ఉపయోగించే ముఖ్యమైన సిలికాన్ భాగాలు, సరైన ప్లాస్మా ఎచింగ్ పరిస్థితులను సృష్టించడం కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడ్డాయి. సెమికోరెక్స్ని ఎంచుకోండి, అధిక నాణ్యత గల సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగ్లను ఎంచుకోండి.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిLPCVD కోసం సెమికోరెక్స్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్లు ఏకరీతి మరియు దట్టమైన CVD SiC పూతతో ఖచ్చితత్వంతో తయారు చేయబడిన గొట్టపు భాగాలు. అధునాతన అల్పపీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన, LPCVD కోసం సెమికోరెక్స్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్లు పొర సన్నని-పొర నిక్షేపణ యొక్క నాణ్యత మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరచడానికి తగిన అధిక-ఉష్ణోగ్రత, తక్కువ-పీడన ప్రతిచర్య వాతావరణాలను అందించగలవు.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ CVD SiC-కోటెడ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్లు అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం ప్రత్యేకంగా తయారు చేయబడిన అధిక-ముగింపు గొట్టపు భాగాలు, సెమీకండక్టర్ పొరల ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి మరియు ఎనియలింగ్ వంటివి. అధునాతన ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీలు మరియు పరిపక్వమైన తయారీ అనుభవాన్ని ఉపయోగించడం ద్వారా, సెమికోరెక్స్ మా విలువైన కస్టమర్ల కోసం మార్కెట్-లీడింగ్ క్వాలిటీతో ఖచ్చితత్వంతో-మెషిన్ చేయబడిన CVD SiC-కోటెడ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్లను సరఫరా చేయడానికి కట్టుబడి ఉంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ SiC ప్రాసెస్ ట్యూబ్లు CVD SiC పూతతో అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన SiC సిరామిక్తో తయారు చేయబడ్డాయి, ఇది సెమీకండక్టర్లో క్షితిజ సమాంతర కొలిమికి అనుకూలంగా ఉంటుంది. ఉత్పత్తి నాణ్యత మరియు అమ్మకాల తర్వాత సేవను పరిగణనలోకి తీసుకుంటే, సెమికోరెక్స్ మా ప్రపంచవ్యాప్తంగా ఉన్న కస్టమర్లతో అధిక-నాణ్యత వ్యాపారం చేయాలనుకుంటున్నది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి