సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్లు

సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్లుసాధారణంగా ఎచింగ్ ఛాంబర్ పైభాగంలో అమర్చబడి, ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్‌గా పనిచేస్తాయి. సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్‌ల ఉపరితలం ఏకరీతిలో పంపిణీ చేయబడిన మైక్రోహోల్స్‌ను కలిగి ఉంటుంది, ఇవి ఎచింగ్ గ్యాస్‌ను రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లోకి సమానంగా పంపిణీ చేయగలవు. ఎచింగ్ ప్రక్రియలో, వారు ఒక ఏకరీతి విద్యుత్ క్షేత్రాన్ని రూపొందించడానికి దిగువ ఎలక్ట్రోడ్‌తో పని చేస్తారు, ఇది ఖచ్చితమైన ఎచింగ్ కోసం ఆదర్శవంతమైన ఆపరేటింగ్ స్థితిని అందించడానికి దోహదం చేస్తుంది.

జాగ్రత్తగా మెటీరియల్ ఎంపికలు

సెమికోరెక్స్ సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్‌లను తయారు చేయడానికి ప్రీమియం MCZ-పెరిగిన మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్‌ను ఎంచుకుంటుంది, ఇది పరిశ్రమ-ప్రముఖ ఉత్పత్తి పనితీరు మరియు నాణ్యతను అందిస్తుంది.

1. అల్ట్రా-అధిక స్వచ్ఛత

సెమికోరెక్స్ సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్‌లు 99.9999999% కంటే ఎక్కువ అల్ట్రా-హై స్వచ్ఛతను కలిగి ఉంటాయి, అంటే అంతర్గత లోహపు మలినాలు చాలా తక్కువగా ఉంటాయి.

2. అసాధారణమైన ప్రతిఘటన ఏకరూపత

సాంప్రదాయ CZ సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్‌కు భిన్నంగా, సెమికోరెక్స్ ఉపయోగించే MCZ-పెరిగిన మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ 5% కంటే తక్కువ రెసిస్టివిటీ ఏకరూపతను సాధిస్తుంది. దీని తక్కువ రెస్పాన్స్. 0.02 Ω·cm, మిడిల్ res కంటే దిగువన నియంత్రించబడుతుంది. 0.2 మరియు 25Ω·cm మధ్య ఉంటుంది మరియు అధిక res. 70-90 Ω·cm మధ్య ఉంటుంది (అభ్యర్థనపై అనుకూలీకరణ అందుబాటులో ఉంటుంది).

3. అద్భుతమైన పదార్థం నిర్మాణం

MCZ పద్ధతి ద్వారా పెరిగిన సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ మరింత స్థిరమైన నిర్మాణాన్ని మరియు తక్కువ లోపాలను అందిస్తుంది, సెమికోరెక్స్ సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్‌లు చెప్పుకోదగిన ప్లాస్మా తుప్పు నిరోధకతను అందిస్తాయి మరియు కఠినమైన ఎచింగ్ ఆపరేటింగ్ పరిస్థితులను తట్టుకోగలవు.

---

హై-స్టాండర్డ్ ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వం

సెమికోరెక్స్సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్స్లైసింగ్, ఉపరితల గ్రౌండింగ్, హోల్ డ్రిల్లింగ్, వెట్ ఎచింగ్ మరియు ఉపరితల పాలిషింగ్‌తో సహా సిలికాన్ కడ్డీ నుండి తుది ఉత్పత్తి వరకు పూర్తి ఉత్పత్తి ప్రక్రియ ద్వారా ఎలక్ట్రోడ్‌లు తయారు చేయబడతాయి. సెమికోరెక్స్ ఎలక్ట్రోడ్‌ల యొక్క వ్యాసం, మందం, ఉపరితల ప్లానారిటీ, హోల్ స్పేసింగ్ మరియు ఎపర్చర్‌ను ఆదర్శ టాలరెన్స్‌లలో నిర్వహించబడుతుందని నిర్ధారించడానికి ప్రతి దశలో కఠినమైన ఖచ్చితత్వ నియంత్రణను సమర్థిస్తుంది.

1. మైక్రోహోల్ ప్రాసెసింగ్

సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్‌లపై ఉండే సూక్ష్మ-రంధ్రాలు ఏకరీతి అంతరం మరియు స్థిరమైన వ్యాసాలను (0.2 నుండి 0.8 మిమీ వరకు) కలిగి ఉంటాయి, ఇవి మృదువైన మరియు బుర్-రహిత లోపలి గోడలతో ఉంటాయి. ఇది ఎచింగ్ గ్యాస్ యొక్క ఏకరీతి మరియు స్థిరమైన సరఫరాకు ప్రభావవంతంగా హామీ ఇస్తుంది, తద్వారా పొర ఎచింగ్ యొక్క ఏకరూపత మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

2. ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వం

సెమికోరెక్స్ సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ ఎలక్ట్రోడ్‌ల ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వం 0.3 మిమీ లోపల నియంత్రించబడుతుంది మరియు వాటి పాలిషింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని 0.1 µm కంటే తక్కువగా నియంత్రించవచ్చు మరియు చక్కటి గ్రౌండింగ్ 1.6 µm కంటే తక్కువగా ఉంటుంది.