సిలికాన్ పెడెస్టల్ బోట్

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ పెడెస్టల్ బోట్ అనేది అల్ట్రా-క్లీన్ వేఫర్ క్యారియర్, ఇది ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి మరియు LPCVD (తక్కువ పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) వంటి అధిక ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి అధిక స్వచ్ఛత మరియు ఖచ్చితత్వంతో రూపొందించబడింది. ఈ పొర క్యారియర్ 9N (99.9999999%) నుండి తయారు చేయబడిందిఅధిక స్వచ్ఛత సిలికాన్అసాధారణమైన శుభ్రత, విస్తరణ స్థిరత్వం యొక్క ఉష్ణ గుణకం మరియు అల్ట్రా-క్లీన్ పరిసరాలలో పొర మద్దతు మరియు స్థిరమైన ప్రక్రియ నియంత్రణ కోసం యాంత్రిక ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి.

సెమీకండక్టర్ పరికర జ్యామితులు కుంచించుకుపోతున్నందున, అల్ట్రా-క్లీన్ మరియు థర్మల్లీ కంపాటబుల్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ కాంపోనెంట్‌ల అవసరం ఇంత డిమాండ్‌లో ఎప్పుడూ లేదు. సిలికాన్ పెడెస్టల్ బోట్ 1100°C మరియు 1250°C మధ్య పనిచేసే అధునాతన ఫర్నేస్ సిస్టమ్‌లలో ఉపయోగించడానికి అధిక డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వం మరియు సరిపోలని స్వచ్ఛతతో ఈ డిమాండ్‌లను పరిష్కరిస్తుంది.

గ్రూవ్ బార్ ఆకారం, గాడి పంటి పొడవు, ఆకారం, వంపు కోణం మరియు మొత్తం పొర లోడింగ్ సామర్థ్యంతో సహా కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా సిలికాన్ బోట్ నిర్మాణాన్ని అనుకూలీకరించవచ్చు. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సిలికాన్ పడవలు సిలికాన్ పొరలకు సంపర్క నష్టాన్ని సమర్థవంతంగా తగ్గించగలవు, ప్రక్రియ దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తాయి. దీని హై-టెంప్ "స్లిప్-ఫ్రీ టవర్స్" డిజైన్ సపోర్టింగ్ టూత్ యొక్క కొన వద్ద మాత్రమే పొరలకు మద్దతు ఇస్తుంది. సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో పోలిస్తే, సిలికాన్ సాపేక్షంగా తక్కువ గట్టిది, పొరలకు యాంత్రిక నష్టాన్ని తగ్గిస్తుంది, తద్వారా లాటిస్ నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి ఖర్చులను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది.

పీఠం పడవ అందుబాటులో ఉందిమోనోక్రిస్టలైన్ లేదా పాలీక్రిస్టలైన్ సిలికాన్నాన్-సిలికాన్ పదార్థాలతో సంబంధం ఉన్న కాలుష్య ప్రమాదాలను తొలగించడానికి. ప్లాట్‌ఫారమ్ చురుకుగా ఉపయోగించే పొరల వలె అదే రసాయన కూర్పును పంచుకుంటుంది, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల సమయంలో అవాంఛిత ప్రతిచర్యలు లేదా అయాన్ వ్యాప్తిని తగ్గిస్తుంది. మెటీరియల్ సజాతీయత స్థిరమైన అధిక పొర నాణ్యత మరియు పునరావృత ఉత్పత్తి చక్రాల ద్వారా అధిక పరికర దిగుబడి కోసం కణాలు మరియు లోహ మలినాలను భౌతిక గుర్తింపును గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది.

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ పెడెస్టల్ బోట్ వర్టికల్ సపోర్ట్ స్ట్రక్చర్‌లతో కలిపి ఖచ్చితంగా డిజైన్ చేయబడిన పొర స్లాట్‌లను కలిగి ఉంది, తాపన చక్రంలో పొరలు ఖచ్చితంగా సమలేఖనం చేయబడి మరియు ఖాళీగా ఉండేలా చూస్తుంది. దీని డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీ అత్యద్భుతంగా ఉంది, పీఠం పడవ విపరీతమైన ఉష్ణోగ్రతలలో వార్ప్ చేయబడదు, వంగదు లేదా మారదు, ప్రతి పొరపై మంచి ఉష్ణోగ్రత మరియు గ్యాస్ పంపిణీని అందిస్తుంది. ఈ డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీ ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి సమయంలో ఫిల్మ్ మందం ఏకరూపతపై తక్షణ, సానుకూల ప్రభావాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు తక్కువ లోపం గణనలను అలాగే మెరుగైన ప్రక్రియ పునరావృతతను అందిస్తుంది.

సిలికాన్ పీఠం పడవ యొక్క ప్రాధమిక ప్రయోజనం దాని ఆప్టిమైజ్ చేయబడిన మెకానికల్ మరియు థర్మల్ లక్షణాలు. SiC లేదా క్వార్ట్జ్‌తో పోలిస్తే సిలికాన్ యొక్క కాఠిన్యం వేడిచేసిన విస్తరణ సమయంలో పొర కంపనం లేదా కదలిక కారణంగా సూక్ష్మ-గీసిన మరియు కణాల ఉత్పత్తిని తగ్గించడంలో సహాయపడుతుంది. ఇది బ్యాక్‌సైడ్-సెన్సిటివ్ పొరలకు ప్రత్యేకించి వర్తిస్తుంది, ఇక్కడ పొర ఉపరితలం యొక్క సమగ్రత దిగుబడి మరియు పరికరం పనితీరుకు కీలకం.

పీఠం పడవ మంచి ఉష్ణ వాహకత మరియు థర్మల్ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం కలిగి ఉంటుంది, ఇది బహుళ తాపన మరియు శీతలీకరణ చక్రాలతో ఆకారం మరియు నిర్మాణ సౌండ్‌నెస్‌ను కొనసాగిస్తూ ఉష్ణ బదిలీ లక్షణాలను అందిస్తుంది. బలమైన డిజైన్ తీవ్రమైన కొలిమి పరిస్థితుల ద్వారా కనీస వైకల్యంతో సుదీర్ఘ జీవితాన్ని కూడా అందిస్తుంది.

సెమికోరెక్స్ పొర వ్యాసం, స్లాట్ కౌంట్, పీఠం ఎత్తు మరియు జ్యామితి వైవిధ్యాలతో సహా వివిధ రకాల పరికరాల కాన్ఫిగరేషన్‌ల కోసం అనుకూల డిజైన్‌లను అందిస్తుంది. సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో అత్యున్నత ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ప్రతి ఉత్పత్తి స్వచ్ఛత, డైమెన్షనల్ కొలిచే మరియు ఉష్ణ వాహకత కోసం పరీక్షించబడుతుంది.

సిలికాన్ పెడెస్టల్ బోట్ ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి ప్రక్రియలతో పాటుగా LPCVD మరియు ఎనియలింగ్ అప్లికేషన్‌లకు అనుగుణంగా ఉంటుంది. వ్యవస్థ.