సిలికాన్ షీల్డ్ రింగ్

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ షీల్డ్ రింగ్ అనేది ఎచింగ్ ప్రక్రియలో కీలకమైన సెమీకండక్టర్ భాగం. ఎలక్ట్రోడ్‌ను చుట్టుముట్టడం మరియు అధిక ప్లాస్మా లీకేజీని నిరోధించడం దీని ప్రాథమిక విధి. 9N (99.9999999%) కంటే ఎక్కువ పదార్థం స్వచ్ఛతతో, షీల్డ్ రింగ్‌ను సింగిల్-క్రిస్టల్ మరియు మల్టీ-క్రిస్టల్ రెండింటి ద్వారా తయారు చేయవచ్చు.సిలికాన్, అధునాతన సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలతో అల్ట్రా-క్లీన్ ఆపరేషన్ మరియు విశ్వసనీయ అనుకూలతను నిర్ధారించడం.

సమర్థవంతమైన, ఏకరీతి ఎట్చ్ రేటు మరియు పొర నాణ్యత కోసం CCP/ICP ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఖచ్చితమైన ప్లాస్మా నియంత్రణ అవసరం. కావలసిన ఎచింగ్ ప్రాంతం వెలుపల అనియంత్రిత ప్లాస్మా లీకేజ్ ఉపరితల కోతను మరియు కాలుష్యాన్ని సృష్టించవచ్చు లేదా ఛాంబర్ లోపల భాగాలను దెబ్బతీస్తుంది. సిలికాన్ షీల్డ్ రింగ్ అనేది ఈ సమస్యకు సమర్థవంతమైన, సరళమైన పరిష్కారం, ఇది ఎలక్ట్రోడ్ యొక్క వెలుపలి చుట్టుకొలతపై రక్షిత అవరోధాన్ని ఏర్పరచడానికి సృష్టించబడింది, ప్లాస్మా లక్ష్య ప్రాంతం వెలుపల వ్యాపించకుండా మరియు ఎచింగ్‌ను కావలసిన ప్రాంతానికి మాత్రమే పరిమితం చేస్తుంది. సిలికాన్ షీల్డ్ రింగ్ ప్లాస్మా పంపిణీని స్థిరీకరించడానికి మరియు పొర ఉపరితలం వద్ద మరింత ఏకరీతి శక్తిని ఎనేబుల్ చేయడానికి బాహ్య ఎలక్ట్రోడ్‌గా కూడా పనిచేస్తుంది.

సిలికాన్ యొక్క ఉష్ణ మరియు విద్యుత్ లక్షణాలు ఎచింగ్ షీల్డ్ రింగ్ యొక్క పనితీరుకు మరింత మద్దతునిస్తాయి. అధిక ప్రక్రియ ఉష్ణోగ్రతలకు దాని నిరోధకత సుదీర్ఘమైన ప్లాస్మా ఎక్స్పోజర్ సమయంలో నిర్మాణ సమగ్రతను అందిస్తుంది మరియు దాని విద్యుత్ వాహకత ఎలక్ట్రోడ్ వ్యవస్థలో మూలకం వలె సరిగ్గా పనిచేయడానికి అనుమతిస్తుంది. మొత్తంగా, ఈ అప్లికేషన్‌లు ప్లాస్మా నిర్బంధాన్ని మెరుగుపరుస్తాయి మరియు శక్తి ఏకరూపతను మెరుగుపరుస్తాయి, ఇది పొరల అంతటా పునరావృతమయ్యే ఎట్చ్ ప్రొఫైల్‌లను అనుమతిస్తుంది.

మెకానికల్ టాలరెన్స్ అనేది సిలికాన్ ఎచింగ్ షీల్డ్ రింగ్ యొక్క మరొక ముఖ్యమైన లక్షణం. గట్టి సహనానికి తయారు చేయడం ద్వారా, ఇది ఎలక్ట్రోడ్ చుట్టూ ఖచ్చితమైన స్థానానికి హామీ ఇస్తుంది మరియు గది యొక్క అంతరం మరియు జ్యామితిని నిర్వహిస్తుంది. ఈ యాంత్రిక ఖచ్చితత్వం వ్యక్తిగత పరుగుల మధ్య తక్కువ వైవిధ్యం కోసం పునరావృత ప్రక్రియ పరిస్థితులను ఉత్పత్తి చేస్తుంది మరియు అధిక-వాల్యూమ్ సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తిని అనుమతించడంలో సహాయపడుతుంది. పదార్థం కూడా ప్లాస్మా పరిసరాలతో అద్భుతమైన అనుకూలతను కలిగి ఉంది; అందువల్ల దాని నిర్మాణాన్ని క్షీణించడం అనేది సాధారణంగా సుదీర్ఘ సేవా జీవితాన్ని మరియు ప్రక్రియ పనితీరులో స్థిరత్వాన్ని అందించడానికి అనుమతిస్తుంది.

మన్నిక మరియు ఖర్చు ప్రభావం మరో రెండు విలువైన ప్రయోజనాలు. ప్లాస్మా నుండి గది యొక్క అనవసరమైన విభాగాలను రక్షించడం ద్వారా, షీల్డ్ రింగ్ ఇతర క్లిష్టమైన భాగాలపై ధరించడాన్ని తగ్గిస్తుంది, ఇది నిర్వహణ ప్రయత్నాలను తగ్గిస్తుంది మరియు మొత్తం కార్యాచరణ సమయాలను పెంచుతుంది. సుదీర్ఘ సేవా జీవితం మరియు తక్కువ తరచుగా భర్తీ చేయడం అనేది సెమీకండక్టర్ ఫ్యాబ్‌లకు ఉత్పాదకతను పెంచడానికి మరియు తద్వారా నిర్వహణ ఖర్చులను తగ్గించడానికి తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన పరిష్కారంగా చేస్తుంది.

దిసిలికాన్షీల్డ్ రింగ్‌ను ప్రతి సాధనం కాన్ఫిగరేషన్ మరియు ప్రాసెస్ స్పెసిఫికేషన్‌ల కోసం కూడా అనుకూలీకరించవచ్చు, ఎందుకంటే అవి అనేక పరిమాణాలు మరియు జ్యామితిలలో అందుబాటులో ఉన్నాయి, తద్వారా తయారు చేసే అనేక విభిన్న ప్లాస్మా ఎచింగ్ ఛాంబర్‌లకు అనుకూలమైన ఫిట్‌ను సాధిస్తాయి. అదనంగా, అల్ట్రా-క్లీన్ తయారీ ప్రమాణాల కోసం కణాల ఉత్పత్తిని మరింత తగ్గించడానికి ఉపరితల చికిత్సలు మరియు పాలిషింగ్‌లను ఉపయోగించవచ్చు.