సెమీకండక్టర్ ఫర్నేస్ రియాక్టర్లు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో ప్రధాన పరికరాలు, ప్రాథమికంగా థర్మల్ ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి, ఎనియలింగ్ మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ వంటి క్లిష్టమైన ప్రక్రియలకు ఉపయోగిస్తారు. ఒక సాధారణ ఫర్నేస్ సిస్టమ్ (క్షితిజసమాంతర/నిలువు డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్) ప్రధానంగా కింది ప్రధాన భాగాలను కలి......
ఇంకా చదవండిరాపిడ్ థర్మల్ ఎనియలింగ్ (RTA లేదా RTP అని సంక్షిప్తీకరించబడింది) అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీలో వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ సాంకేతికత. దీని ప్రధాన సూత్రం ఏమిటంటే, అధిక-తీవ్రత కలిగిన రేడియంట్ హీట్ సోర్స్ (హాలోజన్ ల్యాంప్స్, లేజర్లు, ఫ్లాష్ ల్యాంప్స్ మొదలైనవి) ఉపయోగించి పొర ఉపరితలాన్ని వేగంగా వేడి చేయడం......
ఇంకా చదవండిమూడవ తరం సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ త్వరితగతిన సామర్థ్య విస్తరణలో ఉంది. సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) మరియు గాలియం నైట్రైడ్ (GaN) ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆపరేటింగ్ పరిసరాలు, అల్ట్రా-హై-ప్యూరిటీ ముడి పదార్థాలు మరియు సూక్ష్మీకరించిన చిప్ పరికరాల వైపు పరిణామం చెందుతాయి. అయినప్పటికీ, కఠినమైన అధిక-ఉష్ణోగ......
ఇంకా చదవండిసెమీకండక్టర్ తయారీలో, ఆక్సీకరణ అనేది పొరను అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో ఉంచడం, ఇక్కడ ఆక్సిజన్ పొర ఉపరితలంపై ప్రవహించి ఆక్సైడ్ పొరను ఏర్పరుస్తుంది. ఇది పొరను రసాయన మలినాలనుండి రక్షిస్తుంది, లీకేజ్ కరెంట్ను సర్క్యూట్లోకి ప్రవేశించకుండా నిరోధిస్తుంది, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ సమయంలో వ్యాప్తిని నిరోధిస్తుంది మ......
ఇంకా చదవండిసెమికోరెక్స్ అద్భుతమైన థర్మల్ స్టెబిలిటీ, కెమికల్ రెసిస్టెన్స్ మరియు ఖచ్చితమైన పొర మద్దతు పనితీరు అవసరమయ్యే డిమాండ్ సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియల కోసం రూపొందించిన అధునాతన TaC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లను అందిస్తుంది. సెమీకండక్టర్ తయారీదారులు తదుపరి తరం పరికరాలను అభివృద్ధి చేయడం కొనసాగిస్తున్నందున, ఈ అ......
ఇంకా చదవండిఫోకస్ రింగ్లు సాధారణంగా ప్లాస్మా ఎచింగ్ పరికరాల పొర చక్ చుట్టూ అమర్చబడి ఉండే ఖచ్చితత్వపు కంకణాకార భాగాలు మరియు ఎచింగ్ ప్రక్రియలో నేరుగా అధిక-శక్తి ప్లాస్మాకు గురవుతాయి. మొత్తం పొర ఉపరితలం అంతటా ఏకరీతి చెక్కడం ఫలితాలను సురక్షితంగా ఉంచడానికి త్యాగం చేసే భాగాలుగా పనిచేయడం వారి ప్రధాన విధి. అంచు ప్రభావ......
ఇంకా చదవండి