TaC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ అనేది యాజమాన్య రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ యొక్క చక్కటి పొరతో అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితలంపై పూత చేయడం ద్వారా సృష్టించబడుతుంది.
టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) అనేది టాంటాలమ్ మరియు కార్బన్లతో కూడిన సమ్మేళనం. ఇది మెటాలిక్ ఎలక్ట్రికల్ కండక్టివిటీ మరియు అనూహ్యంగా అధిక ద్రవీభవన స్థానం కలిగి ఉంది, ఇది దాని బలం, కాఠిన్యం మరియు వేడి మరియు దుస్తులు నిరోధకతకు ప్రసిద్ధి చెందిన వక్రీభవన సిరామిక్ పదార్థంగా మారుతుంది. టాంటాలమ్ కార్బైడ్స్ యొక్క ద్రవీభవన స్థానం స్వచ్ఛతపై ఆధారపడి సుమారు 3880°C వద్ద గరిష్ట స్థాయికి చేరుకుంటుంది మరియు బైనరీ సమ్మేళనాలలో అత్యధిక ద్రవీభవన బిందువులలో ఒకటి. MOCVD మరియు LPE వంటి సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్స్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే పనితీరు సామర్థ్యాలను అధిక ఉష్ణోగ్రత డిమాండ్లు అధిగమించినప్పుడు ఇది ఆకర్షణీయమైన ప్రత్యామ్నాయంగా చేస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ TaC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
|
ప్రాజెక్టులు |
పారామితులు |
|
సాంద్రత |
14.3 (gm/cm³) |
|
ఉద్గారత |
0.3 |
|
CTE (×10-6/కె) |
6.3 |
|
కాఠిన్యం (HK) |
2000 |
|
ప్రతిఘటన (ఓం-సెం.మీ) |
1×10-5 |
|
థర్మల్ స్థిరత్వం |
<2500℃ |
|
గ్రాఫైట్ డైమెన్షన్ మార్పు |
-10~-20um (సూచన విలువ) |
|
పూత మందం |
≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um) |
|
|
|
|
పైన పేర్కొన్నవి సాధారణ విలువలు |
|
సెమికోరెక్స్ పోరస్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ రింగ్స్ అనేది సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) క్రిస్టల్ గ్రోత్ యొక్క భౌతిక ఆవిరి రవాణా (PVT) ప్రక్రియ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల వక్రీభవన భాగాలు.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ TaC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు అధునాతన సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియల సమయంలో సెమీకండక్టర్ పొరలను స్థిరంగా మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు ఉంచడానికి సాధారణంగా వర్తించే అత్యాధునిక భాగాలు. అత్యాధునిక ఉత్పాదక సాంకేతికతలు మరియు పరిణతి చెందిన ఉత్పాదక అనుభవంతో, సెమికోరెక్స్ మా విలువైన కస్టమర్ల కోసం మార్కెట్-లీడింగ్ క్వాలిటీతో కస్టమ్-ఇంజనీరింగ్ చేసిన TaC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లను సరఫరా చేయడానికి కట్టుబడి ఉంది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ CVD TaC కోటెడ్ ససెప్టర్లు ఒక దట్టమైన TaC పూతతో కూడిన అధిక-పనితీరు గల గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు, ఇవి SiC ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్లను డిమాండ్ చేయడానికి అద్భుతమైన ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు తుప్పు నిరోధకతను అందించడానికి రూపొందించబడ్డాయి. సెమికోరెక్స్ గ్లోబల్ SiC ఎపి తయారీదారులచే విశ్వసించబడే దీర్ఘకాలిక, తక్కువ-కాలుష్యం కలిగిన ససెప్టర్లను అందించడానికి అధునాతన CVD పూత సాంకేతికతను ఖచ్చితమైన నాణ్యత నియంత్రణతో మిళితం చేస్తుంది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గైడ్ రింగ్లు సెమీకండక్టర్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఎక్విప్మెంట్లో ఉపయోగించే అధిక-పనితీరు గల రింగ్ భాగాలు. క్రిస్టల్ పెరుగుదల సమయంలో తగిన ఉష్ణోగ్రత ప్రవణత మరియు స్థిరమైన వాయుప్రసరణ వాతావరణాన్ని సృష్టించడానికి అవి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడ్డాయి. సెమికోరెక్స్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గైడ్ రింగ్లను ఎంచుకోవడం ద్వారా, మీరు అసమానమైన పూత సాంకేతికత మరియు అత్యంత సమర్థవంతమైన మరియు స్థిరమైన ఉత్పత్తి అనుభవం నుండి ప్రయోజనం పొందుతారు.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ క్రూసిబుల్ CVD పద్ధతి ద్వారా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ ద్వారా తయారు చేయబడింది, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో వర్తించే అత్యంత అనుకూలమైన పదార్థం. సెమికోరెక్స్ అనేది CVD సిరామిక్ కోటింగ్లో స్థిరంగా ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్న ఒక సంస్థ మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో అత్యుత్తమ మెటీరియల్ సొల్యూషన్లను అందిస్తుంది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్లోని సెమికోరెక్స్ TaC కోటెడ్ కాంపోనెంట్స్ సెమీకండక్టర్లోని ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలో గాలి తీసుకోవడంలో ఉన్న విలువైన యంత్ర భాగం. సెమికోరెక్స్ అనేది చైనాలో CVD TaC కోటింగ్ టెక్నాలజీలో ప్రత్యేకత కలిగిన ఒక అగ్రశ్రేణి సంస్థ మరియు ప్రపంచవ్యాప్తంగా ఉత్పత్తులను ఎగుమతి చేస్తుంది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి