SiC (సిలికాన్ కార్బైడ్) షవర్హెడ్ అనేది వివిధ పారిశ్రామిక ప్రక్రియలలో, ముఖ్యంగా సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిశ్రమలో ఉపయోగించే ఒక ప్రత్యేక భాగం. ఇది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రక్రియల సమయంలో ప్రక్రియ వాయువులను సమానంగా మరియు ఖచ్చితంగా పంపిణీ చేయడానికి మరియు పంపిణీ చేయడానికి రూపొందించబడింది.
షవర్ హెడ్ దాని ఉపరితలంపై బహుళ సమానంగా పంపిణీ చేయబడిన రంధ్రాలు లేదా నాజిల్లతో డిస్క్ లేదా ప్లేట్ ఆకారంలో ఉంటుంది. ఈ రంధ్రాలు ప్రాసెస్ వాయువులకు అవుట్లెట్లుగా పనిచేస్తాయి, వాటిని ప్రాసెస్ చాంబర్ లేదా రియాక్షన్ చాంబర్లోకి ఇంజెక్ట్ చేయడానికి అనుమతిస్తుంది. నిర్దిష్ట అప్లికేషన్ మరియు ప్రాసెస్ అవసరాలపై ఆధారపడి రంధ్రాల పరిమాణం, ఆకారం మరియు పంపిణీ మారవచ్చు.
SiC షవర్హెడ్ను ఉపయోగించడం వల్ల కలిగే ముఖ్య ప్రయోజనాల్లో ఒకటి దాని అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత. ఈ లక్షణం షవర్హెడ్ ఉపరితలం అంతటా సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ మరియు ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని అనుమతిస్తుంది, హాట్ స్పాట్లను నివారిస్తుంది మరియు స్థిరమైన ప్రక్రియ పరిస్థితులను నిర్ధారిస్తుంది. మెరుగైన ఉష్ణ వాహకత ప్రక్రియ తర్వాత షవర్హెడ్ను వేగంగా చల్లబరుస్తుంది, పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు మొత్తం ఉత్పాదకతను పెంచుతుంది.
SiC షవర్హెడ్లు చాలా మన్నికైనవి మరియు తినివేయు వాయువులు మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతలకు ఎక్కువ కాలం బహిర్గతం అయినప్పుడు కూడా ధరించడానికి మరియు చిరిగిపోవడానికి నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి. ఈ దీర్ఘాయువు పొడిగించిన నిర్వహణ విరామాలు మరియు తగ్గిన పరికరాల పనికిరాని సమయంగా అనువదిస్తుంది, ఫలితంగా ఖర్చు ఆదా మరియు మెరుగైన ప్రక్రియ విశ్వసనీయత ఏర్పడుతుంది.
దాని దృఢత్వంతో పాటు, SiC showerheads అద్భుతమైన గ్యాస్ పంపిణీ సామర్థ్యాలను అందిస్తాయి. ఖచ్చితంగా ఇంజనీరింగ్ చేయబడిన రంధ్ర నమూనాలు మరియు కాన్ఫిగరేషన్లు ఏకరీతి వాయువు ప్రవాహాన్ని మరియు ఉపరితల ఉపరితలంపై పంపిణీని నిర్ధారిస్తాయి, స్థిరమైన ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ మరియు మెరుగైన పరికర పనితీరును ప్రోత్సహిస్తాయి. ఏకరీతి గ్యాస్ పంపిణీ ఫిల్మ్ మందం, కూర్పు మరియు ఇతర క్లిష్టమైన పారామితులలో వైవిధ్యాలను తగ్గించడంలో సహాయపడుతుంది, మెరుగైన ప్రక్రియ నియంత్రణ మరియు దిగుబడికి దోహదం చేస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ తక్కువ రెసిస్టివిటీ సింటెర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సెమీకండక్టర్ షవర్ హెడ్ని అందిస్తుంది. మేము కస్టమ్ ఇంజనీర్ సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉన్నాము మరియు వివిధ రకాల ప్రత్యేక సామర్థ్యాలను ఉపయోగించి అధునాతన సిరామిక్ పదార్థాలను సరఫరా చేస్తాము.
మెటాలిక్ షవర్ హెడ్, గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ప్లేట్ లేదా గ్యాస్ షవర్ హెడ్ అని పిలుస్తారు, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడే ఒక కీలకమైన భాగం. దీని ప్రాథమిక విధి వాయువులను ప్రతిచర్య గదిలోకి సమానంగా పంపిణీ చేయడం, సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు ప్రక్రియతో ఏకరీతి సంబంధంలోకి వచ్చేలా చేయడం. వాయువులు.**
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి