మెటాలిక్ షవర్ హెడ్, గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ప్లేట్ లేదా గ్యాస్ షవర్ హెడ్ అని పిలుస్తారు, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడే ఒక కీలకమైన భాగం. దీని ప్రాథమిక విధి వాయువులను ప్రతిచర్య గదిలోకి సమానంగా పంపిణీ చేయడం, సెమీకండక్టర్ పదార్థాలు ప్రక్రియతో ఏకరీతి సంబంధంలోకి వచ్చేలా చేయడం. వాయువులు.**
మెటాలిక్ షవర్ హెడ్ భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (PVD), రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD), ప్లాస్మా మెరుగుపరిచిన CVD (PECVD), ఎపిటాక్సీ (EPI) మరియు ఎచింగ్తో సహా వివిధ సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియల్లో విస్తృతంగా వర్తించబడుతుంది. ఈ ప్రక్రియలు ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీకి ప్రాథమికంగా ఉంటాయి మరియు ఈ ప్రతి ఆపరేషన్ సమయంలో గ్యాస్ పంపిణీ విధానంలో షవర్ హెడ్ కీలకమైన అంశంగా పనిచేస్తుంది. షవర్ హెడ్ అందించే ఖచ్చితమైన మరియు సమానమైన గ్యాస్ ప్రవాహం సరైన నిక్షేపణ లేదా ఎచింగ్ను నిర్ధారిస్తుంది, లోపాల అవకాశాలను తగ్గిస్తుంది మరియు ఈ ప్రక్రియల సమయంలో ఏర్పడిన చలనచిత్రాలు లేదా పొరల స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ మెటాలిక్ షవర్ హెడ్ యొక్క ప్రత్యేకమైన లక్షణాలలో ఒకటి దాని అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు శుభ్రత. పరికరం మొత్తం ఉపరితల వైశాల్యం అంతటా గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని నిశితంగా నియంత్రించేలా, ఖచ్చితత్వం యొక్క అత్యధిక ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా రూపొందించబడింది. ఈ ఖచ్చితత్వ వాయువు పంపిణీ నేరుగా సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ యొక్క మెరుగుదలకు దోహదం చేస్తుంది, ఇక్కడ చిన్న అస్థిరత కూడా ముఖ్యమైన లోపాలకు దారి తీస్తుంది. అదనంగా, షవర్ హెడ్ అత్యంత అధిక శుభ్రత ప్రమాణాలతో తయారు చేయబడింది, ఇది అల్ట్రా-సెన్సిటివ్ సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిసరాలలో కాలుష్యాన్ని నివారించడంలో కీలకం.
మెటాలిక్ షవర్ హెడ్ దాని బహుళ-పొర, మిశ్రమ ఉపరితల చికిత్సల ద్వారా కూడా వర్గీకరించబడుతుంది. సెమికోరెక్స్ ఉత్పత్తి యొక్క కార్యాచరణ మరియు మన్నికను మెరుగుపరచడానికి శాండ్బ్లాస్టింగ్, యానోడైజింగ్, నికెల్ బ్రషింగ్ మరియు ఎలక్ట్రో-పాలిషింగ్తో సహా అనేక రకాల ఉపరితల ముగింపు పద్ధతులను ఉపయోగిస్తుంది. ఈ చికిత్సలు ప్రతి ఒక్కటి నిర్దిష్ట ప్రయోజనాన్ని అందిస్తాయి: ఉదాహరణకు, ఇసుక బ్లాస్టింగ్ ఒక ఏకరీతి ఆకృతిని నిర్ధారిస్తుంది, అయితే యానోడైజింగ్ అదనపు తుప్పు నిరోధకతను అందిస్తుంది. నికెల్ బ్రషింగ్ రసాయన ప్రతిచర్యలకు వ్యతిరేకంగా రక్షణ యొక్క మరొక పొరను జోడిస్తుంది మరియు ఎలక్ట్రో-పాలిషింగ్ ఒక మృదువైన, శుభ్రమైన ఉపరితలాన్ని నిర్ధారిస్తుంది, ఇది ఆపరేషన్ల సమయంలో కణాల ఉత్పత్తి ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది. ఈ మిశ్రమ చికిత్సలు షవర్ హెడ్కు దారితీస్తాయి, ఇది దుస్తులు, తుప్పు మరియు కాలుష్యానికి అనూహ్యంగా నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, సుదీర్ఘ కార్యాచరణ జీవితాన్ని మరియు విశ్వసనీయ పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.
సెమీకోరెక్స్ ప్రతి సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియ యొక్క నిర్దిష్ట డిమాండ్ల ఆధారంగా షవర్ హెడ్లో ఉపయోగించే ముడి పదార్థాల ఎంపికను అనుకూలీకరిస్తుంది. బలం, తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం వంటి అవసరమైన పనితీరుపై ఆధారపడి, షవర్ హెడ్ విభిన్న కార్యాచరణ పరిస్థితులలో ఉత్తమంగా పని చేస్తుందని నిర్ధారించడానికి వివిధ మిశ్రమాలు లేదా లోహాలు ఎంపిక చేయబడతాయి. అధిక-ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో, ఉదాహరణకు, కాలక్రమేణా వార్పింగ్ లేదా క్షీణతను నిరోధించడానికి అధిక ఉష్ణ స్థిరత్వం కలిగిన పదార్థాలు ఎంపిక చేయబడతాయి, మొత్తం ప్రక్రియలో గ్యాస్ పంపిణీ ఖచ్చితంగా ఉండేలా చూస్తుంది.
సారాంశంలో, సెమికోరెక్స్ ద్వారా మెటాలిక్ షవర్ హెడ్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీలో అధిక ఖచ్చితత్వం, శుభ్రత మరియు మన్నికను అందించడానికి రూపొందించబడిన అధునాతన గ్యాస్ పంపిణీ పరికరం. దీని అప్లికేషన్లు PVD, CVD, PECVD, EPI మరియు ఎచింగ్ వంటి కీలక ప్రక్రియలలో విస్తరించి ఉన్నాయి, ఇక్కడ గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని మరియు సరైన ప్రక్రియ సామర్థ్యాన్ని నిర్ధారించడంలో ఇది కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. ఉత్పత్తి యొక్క బహుళ-పొర ఉపరితల చికిత్సలు మరియు అనుకూలీకరించదగిన మెటీరియల్ ఎంపిక ఇది తుప్పుకు అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు మరియు క్లిష్టమైన తయారీ వాతావరణంలో దీర్ఘకాలిక వినియోగాన్ని నిర్ధారించడానికి తగినంత మన్నికైనది. సెమికోరెక్స్ మెటాలిక్ షవర్ హెడ్ను వారి ప్రక్రియల్లోకి చేర్చడం ద్వారా, సెమీకండక్టర్ తయారీదారులు అధిక దిగుబడులు, మెరుగైన ఉత్పత్తి నాణ్యత మరియు ఎక్కువ కార్యాచరణ సామర్థ్యాన్ని సాధించగలరు.