ఫోకస్ రింగ్ లేదా ఎడ్జ్ రింగ్లు పొర అంచు లేదా చుట్టుకొలత చుట్టూ ఎట్చ్ ఏకరూపతను మెరుగుపరచడానికి రూపొందించబడ్డాయి.
సెమికోరెక్స్ ఫోకస్ రింగ్లు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD)ని ఉపయోగించి సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో ఉంటాయి, ఇవి ప్లాస్మా ఎచింగ్ లేదా డ్రై ఎచింగ్ ప్రక్రియలో విపరీతమైన వాతావరణాలను తట్టుకునేలా నిర్మించబడిన స్థిరమైన ఎపి లేయర్ మందం మరియు ప్రతిఘటన కోసం థర్మల్ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను కూడా అందిస్తాయి. .