ఫోకస్ రింగ్ లేదా ఎడ్జ్ రింగ్లు పొర అంచు లేదా చుట్టుకొలత చుట్టూ ఎట్చ్ ఏకరూపతను మెరుగుపరచడానికి రూపొందించబడ్డాయి.
సెమికోరెక్స్ ఫోకస్ రింగ్లు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD)ని ఉపయోగించి సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో ఉంటాయి, ఇవి ప్లాస్మా ఎచింగ్ లేదా డ్రై ఎచింగ్ ప్రక్రియలో విపరీతమైన వాతావరణాలను తట్టుకునేలా నిర్మించబడిన స్థిరమైన ఎపి లేయర్ మందం మరియు ప్రతిఘటన కోసం థర్మల్ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను కూడా అందిస్తాయి. .
సెమికోరెక్స్ SiC ఫోకస్ రింగ్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీలో ప్లాస్మా పంపిణీ మరియు పొర ప్రక్రియ ఏకరూపతను ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి రూపొందించబడిన అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ రింగ్ భాగం. సెమికోరెక్స్ని ఎంచుకోవడం అంటే స్థిరమైన నాణ్యత, అధునాతన మెటీరియల్ ఇంజనీరింగ్ మరియు ప్రపంచవ్యాప్తంగా ఉన్న ప్రముఖ సెమీకండక్టర్ ఫ్యాబ్లచే విశ్వసనీయమైన పనితీరును నిర్ధారించడం.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి