గ్యాస్ ఇన్లెట్ రింగ్లు పొర అంచు మరియు చుట్టుకొలతను కవర్ చేయడానికి ఉపయోగించబడతాయి, క్లీన్, జడ మరియు రక్షిత వాతావరణాన్ని సృష్టించడానికి క్లిష్టమైన చాంబర్ భాగాలను రక్షిస్తాయి మరియు డిపాజిషన్ ఛాంబర్లలో వాటి ఉపయోగకరమైన జీవితాన్ని పొడిగిస్తాయి, కాబట్టి అవి నిక్షేపణ లేదా పొర ప్రాసెసింగ్ సమయంలో ప్లాస్మా మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతకు గురవుతాయి. , కాబట్టి బలమైన ప్లాస్మా మన్నిక మరియు అధిక స్వచ్ఛత తుది పొర దిగుబడికి కీలకం.
సెమికోరెక్స్ CVD SiC కోటెడ్ రింగ్లు ఈ డిమాండింగ్ ఎపిటాక్సీ పరికరాల అప్లికేషన్ల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడ్డాయి.