Sic వాక్యూమ్ చక్స్

సెమికోరెక్స్సిలికాన్ కార్బైడ్SIC వాక్యూమ్ చక్స్ అనేది హైటెక్ సిరామిక్ సాధనాలు, ఇది ఖచ్చితమైన పదార్థ తొలగింపు ప్రక్రియల సమయంలో సెమీకండక్టర్ పొరలను సురక్షితంగా మరియు విశ్వసనీయంగా కలిగి ఉండటానికి రూపొందించబడింది. అల్ట్రా-క్లీన్, అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయనికంగా కఠినమైన వాతావరణాలలో ఉపయోగం కోసం ఇవి ఇంజనీరింగ్ చేయబడతాయి. SIC వాక్యూమ్ చక్స్ ఉన్నతమైన పొర శోషణ మరియు అమరికను అందించడంలో సహాయపడుతుంది. సెమికోరెక్స్ సిక్ వాక్యూమ్ చక్స్ హై ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ నుండి అద్భుతమైన యాంత్రిక బలం, ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన మన్నికను అందించడానికి తయారు చేయబడుతుంది.

వాక్యూమ్ చక్ యొక్క ప్రధాన పని ఏమిటంటే, పొర ఉపరితలం అంతటా ఏకరీతి చూషణను లాగడం, తద్వారా తనిఖీ, నిక్షేపణ, ఎట్చ్ మరియు లితోగ్రఫీ వంటి ప్రక్రియల సమయంలో పొర స్థిరంగా ఉంటుంది. సాధారణ వాక్యూమ్ చక్స్ కాలక్రమేణా కణాల ఉత్పత్తి, వార్పింగ్ లేదా రసాయన క్షీణతతో సమస్యలను కలిగి ఉంటుంది. విపరీతమైన సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిస్థితుల కోసం, SIC వాక్యూమ్ చక్స్ ఉన్నతమైన దీర్ఘకాలిక మన్నిక మరియు స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థాలు వాటి కాఠిన్యం, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం కోసం ఎంతో విలువైనవి. ఈ పదార్థాలు విస్తృతమైన ఉష్ణోగ్రతల కంటే డైమెన్షనల్ స్థిరంగా ఉంటాయి, ఇది పొరకు థర్మల్ స్టెబిలిటీ మరియు మెరుగైన ప్రక్రియ ఖచ్చితత్వాన్ని పొరపాటుకు థర్మల్ అసమతుల్యత లేకుండా అనుమతిస్తుంది. వారి అధిక ఉష్ణ వాహకత వేగవంతమైన వేడి వెదజల్లడానికి కూడా అనుమతిస్తుంది, ఇది వేగవంతమైన ఉష్ణ ప్రారంభ రాంప్-అప్ పరిస్థితులకు లేదా అధిక-శక్తి ప్లాస్మాకు స్వల్ప ఎక్స్‌పోజర్‌లకు ఉపయోగపడుతుంది.

SIC సిరామిక్ థర్మల్ మరియు యాంత్రిక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉండటమే కాకుండా ప్లాస్మా తుప్పు మరియు దూకుడు ప్రక్రియ వాయువులకు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది. ఈ లక్షణం SIC వాక్యూమ్ చక్స్‌ను పొడి ఎచింగ్, సివిడి మరియు పివిడి ప్రక్రియలకు ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా చేస్తుంది, ఇక్కడ క్వార్ట్జ్ లేదా అల్యూమినియం నైట్రైడ్ పదార్థాలు వాడకంతో క్షీణిస్తాయి. SIC యొక్క రసాయన జడత్వం కాలుష్యాన్ని పరిమితం చేయడానికి మరియు సాధన సమయ వ్యవధిని మెరుగుపరచడంలో సహాయపడుతుంది.

ఉన్నతమైన పనితీరును అందించడానికి. సెమికోరెక్స్ SIC వాక్యూమ్ చక్స్ చేస్తుంది మరియు నవీకరణ మైక్రాన్లలో ఛానెల్ నిర్మాణాలతో అల్ట్రా-ఫ్లాట్ ఉపరితలాలతో చాలా గట్టి సహనాలను పేర్కొనండి. ఈ లక్షణాలతో, ఇది పొరల మద్దతు కోసం ఖచ్చితమైన చూషణ మరియు నిరంతర చూషణ ప్రాంతంతో పొర మద్దతును అందిస్తుంది. కస్టమ్ డిజైన్ సేవలు వివిధ పొరల పరిమాణాలకు (2 "నుండి 12") వివిధ అనువర్తనాల్లో అందుబాటులో ఉన్నాయి.

అధిక దిగుబడి, ప్రాసెస్ నియంత్రణ మరియు విశ్వసనీయత కారకాలు కాబట్టి, SIC వాక్యూమ్ చక్స్ తరువాతి తరం సెమీకండక్టర్ పరికరాల యొక్క కొత్త ముఖ్యమైన భాగాలు. SIC వాక్యూమ్ చక్స్ యొక్క అనువర్తనాలు నేరుగా దిగుబడి పెరుగుదల, పరికరాల విశ్వసనీయత మరియు ప్రాసెసింగ్ నియంత్రణతో ముడిపడి ఉంటాయి.