సెమికోరెక్స్ అనేది సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్, సెమీకండక్టర్ తయారీకి సంబంధించిన MOCVP ప్రాంతాలపై దృష్టి సారించే ప్రెసిషన్ మెషిన్డ్ హై ప్యూరిటీ గ్రాఫైట్ల యొక్క స్వతంత్ర యాజమాన్యంలో ఉన్న ప్రముఖ తయారీదారు. మా SiC కోటెడ్ వేఫర్ హీటర్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
సెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ వేఫర్ హీటర్ అధిక ఉష్ణోగ్రతల కొలిమిలో 3000 °C కంటే ఎక్కువ జడ వాతావరణంలో, 2200 °C వాక్యూమ్లో పనిచేయగలదు. అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన SiC కోటెడ్ వేఫర్ హీటర్ అత్యుత్తమ ఉష్ణ నిరోధకతను అందిస్తుంది, స్థిరమైన ఎపి పొర మందం మరియు ప్రతిఘటన కోసం థర్మల్ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది. ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత శుభ్రమైన, మృదువైన ఉపరితలాన్ని అందిస్తుంది, సహజమైన పొరలు వాటి మొత్తం ప్రాంతంలోని అనేక పాయింట్ల వద్ద ససెప్టర్ను సంప్రదిస్తాయి కాబట్టి నిర్వహణకు కీలకం.
సెమికోరెక్స్లో, మేము అధిక-నాణ్యత, తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన SiC కోటెడ్ వేఫర్ హీటర్ను అందించడంపై దృష్టి పెడతాము, మేము కస్టమర్ సంతృప్తికి ప్రాధాన్యతనిస్తాము మరియు తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన పరిష్కారాలను అందిస్తాము. మేము మీ దీర్ఘ-కాల భాగస్వామిగా మారడానికి, అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులను మరియు అసాధారణమైన కస్టమర్ సేవను అందించడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.
SiC కోటెడ్ వేఫర్ హీటర్ యొక్క పారామితులు
సాంకేతిక వివరణ |
VET-M3 |
బల్క్ డెన్సిటీ (గ్రా/సెం3) |
≥1.85 |
యాష్ కంటెంట్ (PPM) |
≤500 |
ఒడ్డు కాఠిన్యం |
≥45 |
నిర్దిష్ట ప్రతిఘటన (μ.Ω.m) |
≤12 |
ఫ్లెక్చురల్ స్ట్రెంత్ (Mpa) |
≥40 |
సంపీడన బలం (Mpa) |
≥70 |
గరిష్టంగా ధాన్యం పరిమాణం (μm) |
≤43 |
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం Mm/°C |
≤4.4*10-6 |
SiC కోటెడ్ వేఫర్ హీటర్ యొక్క లక్షణాలు
- అధిక స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్
- సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెన్స్ & థర్మల్ ఏకరూపత
- ఒక మృదువైన ఉపరితలం కోసం ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత
- రసాయన శుభ్రపరచడం వ్యతిరేకంగా అధిక మన్నిక
- పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ జరగకుండా మెటీరియల్ రూపొందించబడింది.