సెమికోరెక్స్ అనేది చైనాలో సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క పెద్ద-స్థాయి తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు. మేము సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్లు మరియు ఎపిటాక్సీ సెమీకండక్టర్ వంటి సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలపై దృష్టి పెడతాము. మా వేఫర్ ప్రాసెస్ హీటర్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తుంది. మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
సెమికోరెక్స్ వేఫర్ ప్రాసెస్ హీటర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ (SiC) గ్రాఫైట్ ద్వారా తయారు చేయబడింది, అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ యొక్క నిర్దిష్ట గ్రేడ్లకు CVD పద్ధతి ద్వారా పూత వర్తించబడుతుంది, కాబట్టి ఇది జడ వాతావరణంలో 3000 °C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రత ఉన్న కొలిమిలో పనిచేయగలదు, వాక్యూమ్లో 2200°C.
వేఫర్ ప్రాసెస్ హీటర్ మెటీరియల్ యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు తక్కువ ద్రవ్యరాశి వేగవంతమైన వేడి రేట్లు, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు నియంత్రణలో అత్యుత్తమ ఖచ్చితత్వాన్ని అనుమతిస్తాయి. ఇతర పదార్థాలతో పోల్చితే, ఉష్ణోగ్రతలో వేగవంతమైన మార్పులతో పనిచేసేటప్పుడు కూడా తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ కారణంగా సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క ఉపరితలం ఫ్లాట్గా ఉంటుంది. సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ సిస్టమ్లలో డిమాండ్ చేసే ప్రక్రియలకు హాట్ ప్లేట్లు చాలా అనుకూలంగా ఉంటాయి.
సెమికోరెక్స్లో, మేము మా కస్టమర్లకు అధిక-నాణ్యత, తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన ఉత్పత్తులను అందించడంపై దృష్టి పెడతాము. మా వేఫర్ ప్రాసెస్ హీటర్ ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లకు ఎగుమతి చేయబడుతుంది. మేము స్థిరమైన నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను మరియు అసాధారణమైన కస్టమర్ సేవను అందించడం ద్వారా మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా ఉండాలని లక్ష్యంగా పెట్టుకున్నాము.
వేఫర్ ప్రాసెస్ హీటర్ యొక్క పారామితులు
సాంకేతిక వివరణ |
VET-M3 |
బల్క్ డెన్సిటీ (గ్రా/సెం3) |
≥1.85 |
యాష్ కంటెంట్ (PPM) |
≤500 |
ఒడ్డు కాఠిన్యం |
≥45 |
నిర్దిష్ట ప్రతిఘటన (μ.Ω.m) |
≤12 |
ఫ్లెక్చురల్ స్ట్రెంత్ (Mpa) |
≥40 |
సంపీడన బలం (Mpa) |
≥70 |
గరిష్టంగా ధాన్యం పరిమాణం (μm) |
≤43 |
థర్మల్ విస్తరణ గుణకం Mm/°C |
≤4.4*10-6 |
వేఫర్ ప్రాసెస్ హీటర్ యొక్క లక్షణాలు
- సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరచడానికి CVD SiC పూతలు.
- అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, సుదీర్ఘ సేవా జీవితం, పొర నాణ్యత మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.
- ఇది ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క అతి తక్కువ గుణకం, అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, అధిక దుస్తులు నిరోధకత, మంచి ఇన్సులేషన్, మంచి రసాయన స్థిరత్వం మరియు సమీపంలో ఊదా (ఎరుపు) కనిపించే కాంతి వ్యాప్తి.
మేము యాంటీ-ఆక్సిడేషన్ మరియు లాంగ్ లైఫ్ స్పాన్ గ్రాఫైట్ క్రూసిబుల్, గ్రాఫైట్ అచ్చు మరియు గ్రాఫైట్ హీటర్ యొక్క అన్ని భాగాలను అందించగలము.