సిలికాన్ కార్బైడ్ చాంబర్ మూత

క్రిస్టల్ గ్రోత్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్‌లో ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ ఛాంబర్ మూత అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన శుభ్రతలను తట్టుకోవాలి. సెమికోరెక్స్ అనేది చైనాలో సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క పెద్ద-స్థాయి తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు. మా ఉత్పత్తులు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉన్నాయి మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్‌లను కవర్ చేస్తాయి. మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ లేదా MOCVD లేదా వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్‌లో ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ ఛాంబర్ మూత అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్‌ను తట్టుకోవాలి. సెమికోరెక్స్ అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ నిర్మాణం ఉన్నతమైన ఉష్ణ నిరోధకతను అందిస్తుంది, స్థిరమైన ఎపి పొర మందం మరియు ప్రతిఘటన కోసం ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను కూడా అందిస్తుంది. అవి అస్థిర పూర్వగామి వాయువులు, ప్లాస్మా మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల కలయికను అనుభవించడానికి మన్నికైనవి.
మా సిలికాన్ కార్బైడ్ ఛాంబర్ మూత ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్‌పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.
మా సిలికాన్ కార్బైడ్ చాంబర్ మూత గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

సిలికాన్ కార్బైడ్ చాంబర్ మూత యొక్క పారామితులు

CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు
SiC-CVD లక్షణాలు
క్రిస్టల్ నిర్మాణం	FCC β దశ
సాంద్రత	g/cm ³	3.21
కాఠిన్యం	వికర్స్ కాఠిన్యం	2500
ధాన్యం పరిమాణం	μm	2~10
రసాయన స్వచ్ఛత	%	99.99995
ఉష్ణ సామర్థ్యం	J·kg-1 ·K-1	640
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత	℃	2700
Felexural బలం	MPa (RT 4-పాయింట్)	415
యంగ్స్ మాడ్యులస్	Gpa (4pt బెండ్, 1300℃)	430
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E)	10-6K-1	4.5
ఉష్ణ వాహకత	(W/mK)	300