SiC పూత అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా ససెప్టర్పై పలుచని పొర. సిలికాన్ కార్బైడ్ మెటీరియల్ సిలికాన్ కంటే అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది, వీటిలో 10x బ్రేక్డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ స్ట్రెంగ్త్, 3x బ్యాండ్ గ్యాప్, ఇది మెటీరియల్ను అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతతో అందిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ అనుకూలీకరించిన సేవను అందిస్తుంది, ఎక్కువ కాలం ఉండే కాంపోనెంట్లతో ఆవిష్కరణలు చేయడంలో మీకు సహాయం చేస్తుంది, చక్రాల సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.
SiC పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది
అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధం: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ గణనీయమైన ఉష్ణ క్షీణతకు గురికాకుండా 1600°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.
రసాయన ప్రతిఘటన: సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు సేంద్రీయ ద్రావకాలతో సహా అనేక రకాల రసాయనాలకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది.
వేర్ రెసిస్టెన్స్: SiC పూత అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకతతో మెటీరియల్ను అందిస్తుంది, ఇది అధిక దుస్తులు మరియు కన్నీటిని కలిగి ఉన్న అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
థర్మల్ కండక్టివిటీ: CVD SiC పూత అధిక ఉష్ణ వాహకతతో పదార్థాన్ని అందిస్తుంది, ఇది సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ అవసరమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
అధిక బలం మరియు దృఢత్వం: సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ మెటీరియల్ని అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో అందిస్తుంది, ఇది అధిక యాంత్రిక బలం అవసరమయ్యే అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
SiC పూత వివిధ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించబడుతుంది
LED తయారీ: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన నిరోధకత కారణంగా నీలం మరియు ఆకుపచ్చ LED, UV LED మరియు లోతైన-UV LED వంటి వివిధ LED రకాలను ప్రాసెస్ చేసిన తయారీలో ఉపయోగించబడుతుంది.
మొబైల్ కమ్యూనికేషన్: GaN-on-SiC ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియను పూర్తి చేయడానికి CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ HEMTలో కీలకమైన భాగం.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ను సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్తో సహా వివిధ అప్లికేషన్ల కోసం ఉపయోగిస్తారు.
SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలు
సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ (SiC) గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడింది, ఈ పూత CVD పద్ధతి ద్వారా అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ యొక్క నిర్దిష్ట గ్రేడ్లకు వర్తించబడుతుంది, కనుక ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలో 3000 °C కంటే ఎక్కువ జడ వాతావరణంలో, 2200 °C శూన్యంలో పనిచేయగలదు. .
పదార్థం యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు తక్కువ ద్రవ్యరాశి వేగవంతమైన వేడి రేట్లు, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు నియంత్రణలో అత్యుత్తమ ఖచ్చితత్వాన్ని అనుమతిస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
విలక్షణ లక్షణాలు |
యూనిట్లు |
విలువలు |
నిర్మాణం |
|
FCC β దశ |
ఓరియంటేషన్ |
భిన్నం (%) |
111 ప్రాధాన్యత |
బల్క్ డెన్సిటీ |
g/cm³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
ఉష్ణ విస్తరణ 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
తీర్మానం CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ అనేది ససెప్టర్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క లక్షణాలను మిళితం చేసే ఒక మిశ్రమ పదార్థం. ఈ పదార్ధం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో సహా ప్రత్యేక లక్షణాలను కలిగి ఉంది. ఈ లక్షణాలు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్, కెమికల్ ప్రాసెసింగ్, హీట్ ట్రీట్మెంట్, సౌర ఘటాల తయారీ మరియు LED తయారీతో సహా వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాలకు ఆకర్షణీయమైన పదార్థంగా చేస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ 8 అంగుళాల EPI టాప్ రింగ్ అనేది ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ సిస్టమ్స్లో ఎగువ కవర్ రింగ్గా ఉపయోగం కోసం రూపొందించిన SIC పూత గ్రాఫైట్ భాగం. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో స్థిరమైన పనితీరును మరియు విస్తరించిన భాగం జీవితాన్ని నిర్ధారించే దాని పరిశ్రమ-ప్రముఖ పదార్థాల స్వచ్ఛత, ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్ మరియు స్థిరమైన పూత నాణ్యత కోసం సెమికోరెక్స్ ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ 8 అంగుళాల EPI బాటమ్ రింగ్ అనేది ఎపిటాక్సియల్ పొర ప్రాసెసింగ్కు అవసరమైన బలమైన SIC పూత గ్రాఫైట్ భాగం. ప్రతి ఉత్పత్తి చక్రంలో సరిపోలని మెటీరియల్ స్వచ్ఛత, పూత ఖచ్చితత్వం మరియు నమ్మదగిన పనితీరు కోసం సెమికోరెక్స్ ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ 8 అంగుళాల EPI ససెప్టర్ అనేది ఎపిటాక్సియల్ డిపాజిషన్ పరికరాలలో ఉపయోగం కోసం రూపొందించిన అధిక-పనితీరు గల SIC- కోటెడ్ గ్రాఫైట్ పొర క్యారియర్. సెమికోరెక్స్ను ఎంచుకోవడం సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క డిమాండ్ ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉన్నతమైన పదార్థ స్వచ్ఛత, ఖచ్చితమైన తయారీ మరియు స్థిరమైన ఉత్పత్తి విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తుంది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిICP కోసం సెమికోరెక్స్ SIC క్యారియర్ అనేది SIC- పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్తో తయారు చేసిన అధిక-పనితీరు గల పొర హోల్డర్, ఇది ప్రత్యేకంగా ప్రేరణగా కపుల్డ్ ప్లాస్మా (ICP) ఎచింగ్ మరియు డిపాజిషన్ సిస్టమ్స్లో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడింది. మన ప్రపంచ-ప్రముఖ అనిసోట్రోపిక్ గ్రాఫైట్ నాణ్యత, ప్రెసిషన్ స్మాల్-బ్యాచ్ తయారీ మరియు స్వచ్ఛత, స్థిరత్వం మరియు ప్రక్రియ పనితీరుపై రాజీలేని నిబద్ధత కోసం సెమికోరెక్స్ ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్ల కోసం సెమికోరెక్స్ గ్రాఫైట్ క్యారియర్ అనేది గ్యాస్ ప్రవాహం కోసం ప్రెసిషన్ మైక్రో-హోల్స్తో కూడిన SIC పూత గ్రాఫైట్ భాగం, ఇది అధిక-పనితీరు గల ఎపిటాక్సియల్ డిపాజిషన్ కోసం ఆప్టిమైజ్ చేయబడింది. సుపీరియర్ పూత సాంకేతికత, అనుకూలీకరణ వశ్యత మరియు పరిశ్రమ-నమ్మదగిన నాణ్యత కోసం సెమికోరెక్స్ ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ SIC కోటెడ్ ప్లేట్ అనేది గ్రాఫైట్ నుండి అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో తయారు చేసిన ఖచ్చితమైన-ఇంజనీరింగ్ భాగం, ఇది ఎపిటాక్సియల్ అనువర్తనాల డిమాండ్ కోసం రూపొందించబడింది. సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిసరాలలో దాని పరిశ్రమ-ప్రముఖ సివిడి పూత సాంకేతికత, కఠినమైన నాణ్యత నియంత్రణ మరియు నిరూపితమైన విశ్వసనీయత కోసం సెమికోరెక్స్ ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి