SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు

సెమికోరెక్స్ SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు అనేది ఒక దట్టమైన మరియు ఏకరీతి CVD SiC పూతతో కప్పబడిన అనివార్యమైన గ్రాఫైట్ పొర క్యారియర్‌లు, ఇవి ప్రత్యేకంగా హై-ఎండ్ సెమీకండక్టర్ MOCVD ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ సిస్టమ్‌ల కోసం రూపొందించబడ్డాయి. సెమికోరెక్స్‌ని ఎంచుకోవడం అంటే మీరు తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన ధర, అత్యుత్తమ ఉత్పత్తి నాణ్యత మరియు నమ్మదగిన సేవా అనుభవాన్ని పొందవచ్చు.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సెమికోరెక్స్ SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్పొర ససెప్టర్లుఅనేది డిస్క్-ఆకారపు భాగాలు, రోటరీ MOCVD వ్యవస్థలలో పొరలకు మద్దతు మరియు వేడి చేయడానికి విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. అవి రియాక్షన్ ఛాంబర్‌లలో ఏకరీతి గ్యాస్ పంపిణీ మరియు స్థిరమైన ఉష్ణ పంపిణీని సులభతరం చేయగలవు, అధిక-నాణ్యత మరియు అధిక-సామర్థ్య ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధికి సరైన ప్రక్రియ వాతావరణాన్ని అందిస్తాయి. సెమికోరెక్స్ SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్‌లు నీలమణి సబ్‌స్ట్రేట్‌లపై GaN ఎపిటాక్సీ వంటి అద్భుతమైన సన్నని-ఫిల్మ్ ఏకరూపతను కోరుకునే అప్లికేషన్‌లకు అనుకూలంగా ఉంటాయి.

సెమికోరెక్స్ SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్ల లక్షణాలు

సెమికోరెక్స్ SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్‌లు అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌ను వాటి మూల పదార్థంగా ఉపయోగిస్తాయి మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా వాటి బేస్‌పై ఏకరీతి మరియు దట్టమైన సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతను జమ చేస్తాయి. అత్యున్నతమైన ముడి పదార్థాలు మరియు అధునాతన ఉత్పత్తి సాంకేతికతతో, సెమికోరెక్స్ SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు క్రింది అత్యుత్తమ లక్షణాలను కలిగి ఉన్నాయి.

1.అసాధారణ ఉష్ణ స్థిరత్వం

MOCVD పరికరాలు సాధారణంగా 1000℃ కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పనిచేస్తాయి, ఇది అంతర్గత భాగాల యొక్క అధిక-ఉష్ణోగ్రత పనితీరుపై కఠినమైన అవసరాలను విధిస్తుంది. సెమికోరెక్స్ SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు ఈ కఠినమైన పని పరిస్థితులకు బాగా సరిపోతాయి మరియు దీర్ఘకాలిక అధిక-ఉష్ణోగ్రత సేవ సమయంలో కూడా స్థిరంగా పనిచేస్తాయి. కోటింగ్ ర్యాకింగ్ లేదా డిటాచ్‌మెంట్ లేకుండా, సెమికోరెక్స్ సిఐసి-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్‌లు గ్రాఫైట్ బేస్ నుండి గ్యాస్ మరియు మలినం విడుదలయ్యే ప్రమాదాన్ని బాగా తొలగించగలవు.

2. బలమైన తుప్పు నిరోధకత

సెమికోరెక్స్ SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు సంక్లిష్టమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు బలమైన-తుప్పు పరిస్థితులలో ఉన్నతమైన ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి. వారిCVD SiC పూతNH3 మరియు H2 వంటి ప్రక్రియ వాయువుల ద్వారా వాటి స్థావరం క్షీణించకుండా గణనీయంగా నిరోధించవచ్చు, కార్బన్ కాలుష్యం విడుదలను తగ్గించవచ్చు మరియు తద్వారా ఎపిటాక్సియల్ ఫిల్మ్‌ల స్వచ్ఛతను మెరుగుపరుస్తుంది.

3.అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత

సెమికోరెక్స్ సిఐసి-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రక్రియల సమయంలో నమ్మదగిన థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంటాయి, ఎందుకంటే వాటి గ్రాఫైట్ బేస్‌లు మరియు సివిడి సిఐసి పూతలు అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటాయి. అవి సన్నని-ఫిల్మ్ నిక్షేపణ ప్రక్రియల సమయంలో సబ్‌స్ట్రేట్ పొరల అంతటా ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని నిర్ధారించగలవు, ఫలితంగా అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పొరలు ఏర్పడతాయి.