సెమికోరెక్స్ అనేది ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం MOCVD ససెప్టర్ యొక్క ప్రముఖ సరఫరాదారు మరియు తయారీదారు. మా ఉత్పత్తి సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ప్రత్యేకించి వేఫర్ చిప్లోని ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదలలో. గేర్ లేదా రింగ్ ఆకారపు డిజైన్తో MOCVDలో సెంటర్ ప్లేట్గా ఉపయోగించేందుకు మా ససెప్టర్ రూపొందించబడింది. ఉత్పత్తి అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో స్థిరంగా ఉంటుంది.
ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం మా MOCVD ససెప్టర్ యొక్క ప్రయోజనాల్లో ఒకటి, అన్ని ఉపరితలంపై పూత పూయకుండా ఉండేలా చేయగల సామర్థ్యం. ఉత్పత్తి అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా మా ఉత్పత్తి యొక్క అధిక స్వచ్ఛత సాధించబడుతుంది. సూక్ష్మ కణాలతో కూడిన దట్టమైన ఉపరితలం ఉత్పత్తి ఆమ్లం, క్షారాలు, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాల నుండి తుప్పుకు అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉందని నిర్ధారిస్తుంది.
ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం మా MOCVD ససెప్టర్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్ను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.
ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం మా MOCVD ససెప్టర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం MOCVD ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం MOCVD ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు
- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి