సెమికోరెక్స్ అనేది వేఫర్ ఎపిటాక్సీ కోసం హై-క్వాలిటీ MOCVD కవర్ స్టార్ డిస్క్ ప్లేట్ యొక్క ప్రసిద్ధ తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు. సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ అవసరాలను తీర్చడానికి మా ఉత్పత్తి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది, ముఖ్యంగా పొర చిప్పై ఎపిటాక్సియల్ పొరను పెంచడం. మా ససెప్టర్ MOCVDలో గేర్ లేదా రింగ్ ఆకారపు డిజైన్తో సెంటర్ ప్లేట్గా ఉపయోగించబడుతుంది. ఉత్పత్తి అధిక వేడి మరియు తుప్పుకు అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి అనువైనది.
వేఫర్ ఎపిటాక్సీ కోసం మా MOCVD కవర్ స్టార్ డిస్క్ ప్లేట్ అనేది ఒక అద్భుతమైన ఉత్పత్తి, ఇది అన్ని ఉపరితలంపై పూతను నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా పై తొక్కకుండా చేస్తుంది. ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద కూడా స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఉత్పత్తి అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా అధిక స్వచ్ఛతతో తయారు చేయబడింది. ఇది సున్నితమైన కణాలతో దట్టమైన ఉపరితలం కలిగి ఉంటుంది, ఇది యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాల నుండి తుప్పు పట్టడానికి అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.
వేఫర్ ఎపిటాక్సీ కోసం మా MOCVD కవర్ స్టార్ డిస్క్ ప్లేట్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో ప్యాటర్న్కు హామీ ఇస్తుంది, థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తుంది, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాప్తి చేయడాన్ని నిరోధిస్తుంది. మా ఉత్పత్తి చాలా మంది వినియోగదారులకు అందుబాటులో ఉండేలా, పోటీ ధరతో ఉంది. మేము అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తాము మరియు మా బృందం అద్భుతమైన కస్టమర్ సేవ మరియు మద్దతును అందించడానికి అంకితం చేయబడింది. వేఫర్ ఎపిటాక్సీ కోసం అధిక-నాణ్యత మరియు విశ్వసనీయమైన MOCVD కవర్ స్టార్ డిస్క్ ప్లేట్ను అందించడంలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి మేము ప్రయత్నిస్తున్నాము.
వేఫర్ ఎపిటాక్సీ కోసం MOCVD కవర్ స్టార్ డిస్క్ ప్లేట్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
వేఫర్ ఎపిటాక్సీ కోసం MOCVD కవర్ స్టార్ డిస్క్ ప్లేట్ యొక్క లక్షణాలు
- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి