MOCVD కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్

MOCVD కోసం మా సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అనేక కీలక ఫీచర్లను కలిగి ఉంది, అది పోటీ నుండి వేరుగా ఉంటుంది. ఇది అన్ని ఉపరితలంపై పూతను నిర్ధారిస్తుంది, పై తొక్కను నివారిస్తుంది మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద కూడా స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఉత్పత్తి అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా అధిక స్వచ్ఛతతో తయారు చేయబడింది. ఇది సున్నితమైన కణాలతో దట్టమైన ఉపరితలం కలిగి ఉంటుంది, ఇది యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాల నుండి తుప్పు పట్టడానికి అధిక నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది.
MOCVD కోసం మా సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, ఇది థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్‌పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాప్తి చేయడాన్ని నిరోధిస్తుంది.

MOCVD కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు

MOCVD కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు

- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి