సెమికోరెక్స్ అనేది చైనాలో సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క పెద్ద-స్థాయి తయారీదారు మరియు సరఫరాదారు. మేము సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్లు మరియు ఎపిటాక్సీ సెమీకండక్టర్ వంటి సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలపై దృష్టి పెడతాము. MOCVD కోసం మా SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తుంది. మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
MOCVD కోసం సెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అనేది అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ క్యారియర్, ఈ ప్రక్రియలో పొర చిప్పై ఎపిక్సియల్ పొరను పెంచడానికి ఉపయోగిస్తుంది. ఇది MOCVDలో మధ్య ప్లేట్, గేర్ లేదా రింగ్ ఆకారం. MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంది, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో గొప్ప స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది.
సెమికోరెక్స్లో, మా కస్టమర్లకు అధిక-నాణ్యత ఉత్పత్తులు మరియు సేవలను అందించడానికి మేము కట్టుబడి ఉన్నాము. మేము ఉత్తమమైన మెటీరియల్లను మాత్రమే ఉపయోగిస్తాము మరియు మా ఉత్పత్తులు నాణ్యత మరియు పనితీరు యొక్క అత్యున్నత ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా రూపొందించబడ్డాయి. MOCVD కోసం మా SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ మినహాయింపు కాదు. మీ సెమీకండక్టర్ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ అవసరాలతో మేము మీకు ఎలా సహాయపడగలమో తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.
MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
MOCVD కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు
- పై తొక్కను నివారించండి మరియు అన్ని ఉపరితలంపై పూత ఉండేలా చూసుకోండి
అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత: 1600 ° C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది
అధిక స్వచ్ఛత: అధిక ఉష్ణోగ్రత క్లోరినేషన్ పరిస్థితుల్లో CVD రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడింది.
తుప్పు నిరోధకత: అధిక కాఠిన్యం, దట్టమైన ఉపరితలం మరియు చక్కటి కణాలు.
తుప్పు నిరోధకత: యాసిడ్, క్షార, ఉప్పు మరియు సేంద్రీయ కారకాలు.
- ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ఫ్లో నమూనాను సాధించండి
- థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వానికి హామీ ఇవ్వండి
- ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలు వ్యాప్తి చెందకుండా నిరోధించండి