1x2" గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు

సెమీకండక్టర్ వేఫర్ ఫాబ్రికేషన్‌లో, సెమీకండక్టర్ పరికరాల తదుపరి కల్పన కోసం పొర ఉపరితలంపై ఎపిటాక్సియల్ పొరను పెంచడం అవసరం. ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల ప్రక్రియ ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గులు మరియు కాలుష్యానికి అత్యంత సున్నితంగా ఉంటుంది కాబట్టి, నమ్మదగిన ఎంపికలుపొర ససెప్టర్లువిమర్శనాత్మకంగా ముఖ్యమైనవి. వేఫర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలో అనివార్యమైన సహాయక భాగాలుగా, మ్యాచింగ్ ఖచ్చితత్వం, థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ సామర్థ్యం మరియు కాలుష్య నిరోధక పనితీరు అధిక-నాణ్యత పొర ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధిని సాధించడంలో కీలకమైన అంశాలు.

సెమికోరెక్స్ 1x2" గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్ల విధులు

ప్రత్యేక ప్రక్రియల ద్వారా దట్టమైన సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో వాటి మాతృకగా అల్ట్రా-ఫైన్ గ్రెయిన్, హై-ప్యూరిటీ గ్రాఫైట్‌తో తయారు చేయబడింది, సెమికోరెక్స్ 1x2" గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు క్రింది విధులను అందిస్తాయి:

1.సెక్యూర్ మరియు స్టాల్ హోల్డింగ్

సెమికోరెక్స్ 1x2"గ్రాఫైట్పొర ససెప్టర్లు ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్ మరియు చికిత్సను కలిగి ఉంటాయి, అసాధారణమైన ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వాన్ని అందిస్తాయి. ఇది వారు తగిన స్థితిలో దృఢంగా భద్రపరచబడిందని నిర్ధారిస్తుంది మరియు పొర ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధికి స్థిరమైన, ఫ్లాట్ సపోర్ట్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ను అందిస్తుంది.

2.Precision యూనిఫాం హీట్ డిస్ట్రిబ్యూషన్

గ్రాఫైట్ మరియు SiC పదార్థాల అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతతో, సెమికోరెక్స్ 1x2" గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు సెమీకండక్టర్ పదార్ధం అంతటా వేగవంతమైన మరియు ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని అందిస్తాయి. ఉష్ణోగ్రత ప్రవణతలను తగ్గించడం ద్వారా, సెమికోరెక్స్ 1x2" గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు అసమానమైన ఎపిటాక్సియల్ నాణ్యత వంటి సమస్యలను సమర్థవంతంగా నివారించగలవు.

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత యొక్క ప్రయోజనాలు

1.సుపీరియర్ తుప్పు నిరోధకత

దట్టమైన సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో కప్పబడిన సెమికోరెక్స్ 1x2" గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు మెజారిటీ రసాయనాలకు సమర్థవంతంగా నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, పదార్థం తరచుగా తినివేయు వాయువులు మరియు రసాయన ఆవిరికి బహిర్గతమయ్యే అత్యంత తినివేయు ఆపరేటింగ్ పరిస్థితులలో అప్లికేషన్‌లకు అనుకూలంగా ఉంటాయి.

2.తక్కువ పార్టికల్ షెడ్డింగ్

సెమికోరెక్స్సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతగ్రాఫైట్ మ్యాట్రిక్స్‌తో అధిక బంధం బలాన్ని కలిగి ఉంది, ఇది అధిక తుప్పు వాతావరణాల వల్ల తుప్పు మరియు కణాల పతనం కారణంగా పూత నిర్లిప్తత కారణంగా ఉపరితల కాలుష్యం ప్రమాదాన్ని గణనీయంగా నివారించవచ్చు.

3.విశ్వసనీయ సేవా జీవితం

గ్రాఫైట్ మాతృకలు అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు యాంత్రిక బలాన్ని ప్రదర్శిస్తున్నప్పటికీ, ఇది ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ యొక్క ఆపరేటింగ్ పరిస్థితులలో తుప్పు మరియు పల్వరైజేషన్‌కు గురవుతుంది, అన్‌కోటెడ్ గ్రాఫైట్ మాతృకల జీవితకాలాన్ని బాగా తగ్గిస్తుంది. దట్టమైన SiC పూతలతో గ్రాఫైట్ మాతృకలను పూర్తిగా కప్పి ఉంచడం ద్వారా, మా 1×2" గ్రాఫైట్ వేఫర్ ససెప్టర్లు ఉన్నతమైన మరియు నమ్మదగిన మన్నికను సాధిస్తాయి.

సెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా