SiC పూత అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా ససెప్టర్పై పలుచని పొర. సిలికాన్ కార్బైడ్ మెటీరియల్ సిలికాన్ కంటే అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది, వీటిలో 10x బ్రేక్డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ స్ట్రెంగ్త్, 3x బ్యాండ్ గ్యాప్, ఇది మెటీరియల్ను అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతతో అందిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ అనుకూలీకరించిన సేవను అందిస్తుంది, ఎక్కువ కాలం ఉండే కాంపోనెంట్లతో ఆవిష్కరణలు చేయడంలో మీకు సహాయం చేస్తుంది, చక్రాల సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.
SiC పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది
అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధం: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ గణనీయమైన ఉష్ణ క్షీణతకు గురికాకుండా 1600°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.
రసాయన ప్రతిఘటన: సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు సేంద్రీయ ద్రావకాలతో సహా అనేక రకాల రసాయనాలకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది.
వేర్ రెసిస్టెన్స్: SiC పూత అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకతతో మెటీరియల్ను అందిస్తుంది, ఇది అధిక దుస్తులు మరియు కన్నీటిని కలిగి ఉన్న అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
థర్మల్ కండక్టివిటీ: CVD SiC పూత అధిక ఉష్ణ వాహకతతో పదార్థాన్ని అందిస్తుంది, ఇది సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ అవసరమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
అధిక బలం మరియు దృఢత్వం: సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ మెటీరియల్ని అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో అందిస్తుంది, ఇది అధిక యాంత్రిక బలం అవసరమయ్యే అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
SiC పూత వివిధ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించబడుతుంది
LED తయారీ: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన నిరోధకత కారణంగా నీలం మరియు ఆకుపచ్చ LED, UV LED మరియు లోతైన-UV LED వంటి వివిధ LED రకాలను ప్రాసెస్ చేసిన తయారీలో ఉపయోగించబడుతుంది.
మొబైల్ కమ్యూనికేషన్: GaN-on-SiC ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియను పూర్తి చేయడానికి CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ HEMTలో కీలకమైన భాగం.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ను సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్తో సహా వివిధ అప్లికేషన్ల కోసం ఉపయోగిస్తారు.
SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలు
సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ (SiC) గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడింది, ఈ పూత CVD పద్ధతి ద్వారా అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ యొక్క నిర్దిష్ట గ్రేడ్లకు వర్తించబడుతుంది, కనుక ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలో 3000 °C కంటే ఎక్కువ జడ వాతావరణంలో, 2200 °C శూన్యంలో పనిచేయగలదు. .
పదార్థం యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు తక్కువ ద్రవ్యరాశి వేగవంతమైన వేడి రేట్లు, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు నియంత్రణలో అత్యుత్తమ ఖచ్చితత్వాన్ని అనుమతిస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
విలక్షణ లక్షణాలు |
యూనిట్లు |
విలువలు |
నిర్మాణం |
|
FCC β దశ |
ఓరియంటేషన్ |
భిన్నం (%) |
111 ప్రాధాన్యత |
బల్క్ డెన్సిటీ |
g/cm³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
ఉష్ణ విస్తరణ 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
తీర్మానం CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ అనేది ససెప్టర్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క లక్షణాలను మిళితం చేసే ఒక మిశ్రమ పదార్థం. ఈ పదార్ధం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో సహా ప్రత్యేక లక్షణాలను కలిగి ఉంది. ఈ లక్షణాలు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్, కెమికల్ ప్రాసెసింగ్, హీట్ ట్రీట్మెంట్, సౌర ఘటాల తయారీ మరియు LED తయారీతో సహా వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాలకు ఆకర్షణీయమైన పదార్థంగా చేస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ LPE పార్ట్ అనేది SiC ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన SiC-కోటెడ్ కాంపోనెంట్, అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు కఠినమైన వాతావరణంలో సమర్థవంతమైన ఆపరేషన్ను నిర్ధారించడానికి అసాధారణమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది. సెమికోరెక్స్ ఉత్పత్తులను ఎంచుకోవడం ద్వారా, మీరు SiC ఎపిటాక్సీ గ్రోత్ ప్రాసెస్ను ఆప్టిమైజ్ చేసే మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని పెంచే అధిక-ఖచ్చితమైన, దీర్ఘకాలిక అనుకూల పరిష్కారాల నుండి ప్రయోజనం పొందుతారు.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ ఫ్లాట్ ససెప్టర్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఖచ్చితమైన ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల కోసం రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల సబ్స్ట్రేట్ హోల్డర్. మీ CVD ప్రక్రియల సామర్థ్యాన్ని మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని పెంచే విశ్వసనీయమైన, మన్నికైన మరియు అధిక-నాణ్యత గల ససెప్టర్ల కోసం Semicorexని ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ పాన్కేక్ ససెప్టర్ అనేది MOCVD సిస్టమ్లలో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల భాగం, ఇది ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ పెరుగుదల సమయంలో సరైన ఉష్ణ పంపిణీ మరియు మెరుగైన మన్నికను అందిస్తుంది. సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క ప్రత్యేక డిమాండ్లకు అనుగుణంగా, అత్యుత్తమ నాణ్యత, విశ్వసనీయత మరియు పొడిగించిన సేవా జీవితాన్ని అందించే దాని ఖచ్చితమైన-ఇంజనీరింగ్ ఉత్పత్తుల కోసం Semicorexని ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ RTP రింగ్ అనేది ర్యాపిడ్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP) సిస్టమ్లలో అధిక-పనితీరు గల అప్లికేషన్ల కోసం రూపొందించబడిన SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ రింగ్. సెమీకండక్టర్ తయారీలో అత్యుత్తమ మన్నిక, ఖచ్చితత్వం మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తూ మా అధునాతన మెటీరియల్ టెక్నాలజీ కోసం సెమికోరెక్స్ని ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిSiC పూతతో కూడిన సెమికోరెక్స్ ఎపిటాక్సియల్ ససెప్టర్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్లో SiC పొరలను సపోర్ట్ చేయడానికి మరియు పట్టుకోవడానికి రూపొందించబడింది, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఖచ్చితత్వం మరియు ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది. అధునాతన సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్ల యొక్క కఠినమైన డిమాండ్లకు అనుగుణంగా అధిక-నాణ్యత, మన్నికైన మరియు అనుకూలీకరించదగిన ఉత్పత్తుల కోసం సెమికోరెక్స్ని ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ SiC కోటెడ్ వేఫర్హోల్డర్ అనేది ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియల సమయంలో SiC పొరల యొక్క ఖచ్చితమైన ప్లేస్మెంట్ మరియు హ్యాండ్లింగ్ కోసం రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల భాగం. సెమీకండక్టర్ తయారీ సామర్థ్యం మరియు నాణ్యతను పెంచే అధునాతనమైన, నమ్మదగిన మెటీరియల్లను అందించాలనే దాని నిబద్ధత కోసం Semicorexని ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి