SiC పూత అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా ససెప్టర్పై పలుచని పొర. సిలికాన్ కార్బైడ్ మెటీరియల్ సిలికాన్ కంటే అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది, వీటిలో 10x బ్రేక్డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ స్ట్రెంగ్త్, 3x బ్యాండ్ గ్యాప్, ఇది మెటీరియల్ను అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతతో అందిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ అనుకూలీకరించిన సేవను అందిస్తుంది, ఎక్కువ కాలం ఉండే కాంపోనెంట్లతో ఆవిష్కరణలు చేయడంలో మీకు సహాయం చేస్తుంది, చక్రాల సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.
SiC పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది
అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధం: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ గణనీయమైన ఉష్ణ క్షీణతకు గురికాకుండా 1600°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.
రసాయన ప్రతిఘటన: సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు సేంద్రీయ ద్రావకాలతో సహా అనేక రకాల రసాయనాలకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది.
వేర్ రెసిస్టెన్స్: SiC పూత అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకతతో మెటీరియల్ను అందిస్తుంది, ఇది అధిక దుస్తులు మరియు కన్నీటిని కలిగి ఉన్న అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
థర్మల్ కండక్టివిటీ: CVD SiC పూత అధిక ఉష్ణ వాహకతతో పదార్థాన్ని అందిస్తుంది, ఇది సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ అవసరమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
అధిక బలం మరియు దృఢత్వం: సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ మెటీరియల్ని అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో అందిస్తుంది, ఇది అధిక యాంత్రిక బలం అవసరమయ్యే అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
SiC పూత వివిధ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించబడుతుంది
LED తయారీ: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన నిరోధకత కారణంగా నీలం మరియు ఆకుపచ్చ LED, UV LED మరియు లోతైన-UV LED వంటి వివిధ LED రకాలను ప్రాసెస్ చేసిన తయారీలో ఉపయోగించబడుతుంది.
మొబైల్ కమ్యూనికేషన్: GaN-on-SiC ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియను పూర్తి చేయడానికి CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ HEMTలో కీలకమైన భాగం.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ను సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్తో సహా వివిధ అప్లికేషన్ల కోసం ఉపయోగిస్తారు.
SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలు
సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ (SiC) గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడింది, ఈ పూత CVD పద్ధతి ద్వారా అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ యొక్క నిర్దిష్ట గ్రేడ్లకు వర్తించబడుతుంది, కనుక ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలో 3000 °C కంటే ఎక్కువ జడ వాతావరణంలో, 2200 °C శూన్యంలో పనిచేయగలదు. .
పదార్థం యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు తక్కువ ద్రవ్యరాశి వేగవంతమైన వేడి రేట్లు, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు నియంత్రణలో అత్యుత్తమ ఖచ్చితత్వాన్ని అనుమతిస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
విలక్షణ లక్షణాలు |
యూనిట్లు |
విలువలు |
నిర్మాణం |
|
FCC β దశ |
ఓరియంటేషన్ |
భిన్నం (%) |
111 ప్రాధాన్యత |
బల్క్ డెన్సిటీ |
g/cm³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
ఉష్ణ విస్తరణ 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
తీర్మానం CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ అనేది ససెప్టర్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క లక్షణాలను మిళితం చేసే ఒక మిశ్రమ పదార్థం. ఈ పదార్ధం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో సహా ప్రత్యేక లక్షణాలను కలిగి ఉంది. ఈ లక్షణాలు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్, కెమికల్ ప్రాసెసింగ్, హీట్ ట్రీట్మెంట్, సౌర ఘటాల తయారీ మరియు LED తయారీతో సహా వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాలకు ఆకర్షణీయమైన పదార్థంగా చేస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ నుండి SIC ఎపిటాక్సియల్ మాడ్యూల్ మన్నిక, స్వచ్ఛత మరియు ప్రెసిషన్ ఇంజనీరింగ్ను మిళితం చేస్తుంది, ఇది SIC ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలలో కీలకమైన భాగం. పూత లేని గ్రాఫైట్ పరిష్కారాలలో సరిపోలని నాణ్యత మరియు డిమాండ్ పరిసరాలలో దీర్ఘకాలిక పనితీరు కోసం సెమికోరెక్స్ ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ ఎగువ సగం మూన్ అనేది సెమీ-సర్క్యులర్ సిక్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ పొర ససెప్టర్, ఇది ఎపిటాక్సియల్ రియాక్టర్లలో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడింది. పరిశ్రమ-ప్రముఖ మెటీరియల్ ప్యూరిటీ, ప్రెసిషన్ మ్యాచింగ్ మరియు ఏకరీతి SIC పూత కోసం సెమికోరెక్స్ ఎంచుకోండి, ఇది దీర్ఘకాలిక పనితీరు మరియు ఉన్నతమైన పొర నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ SIC పూత పొర క్యారియర్లు అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ తో పూత పూయబడ్డాయి, ఇవి అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియల సమయంలో సరైన పొర మద్దతు కోసం రూపొందించబడ్డాయి. ప్రపంచవ్యాప్తంగా ప్రముఖ సెమీకండక్టర్ ఫాబ్స్ చేత విశ్వసించబడిన సాటిలేని పూత నాణ్యత, ఖచ్చితమైన తయారీ మరియు నిరూపితమైన విశ్వసనీయత కోసం సెమికోరెక్స్ ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ సిక్ కోటెడ్ పొర ససెప్టర్లు అధిక-పనితీరు గల క్యారియర్, ఇది ఒత్తిడిలేని పరిస్థితులలో అల్ట్రాథిన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. అధునాతన పదార్థాల ఇంజనీరింగ్, ఖచ్చితమైన సచ్ఛిద్రత నియంత్రణ మరియు బలమైన SIC పూత సాంకేతికతతో, సెమికోరెక్స్ తరువాతి తరం సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క అభివృద్ధి చెందుతున్న అవసరాలను తీర్చడానికి పరిశ్రమ-ప్రముఖ విశ్వసనీయత మరియు అనుకూలీకరణను అందిస్తుంది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ 8-అంగుళాల పొరపాటు రింగులు దూకుడు ఉష్ణ మరియు రసాయన వాతావరణాలలో ఖచ్చితమైన పొర స్థిరీకరణ మరియు అసాధారణమైన పనితీరును అందించడానికి రూపొందించబడ్డాయి. సెమికోరెక్స్ అధునాతన సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క కఠినమైన డిమాండ్లను తీర్చడానికి అప్లికేషన్-స్పెసిఫిక్ ఇంజనీరింగ్, టైట్ డైమెన్షనల్ కంట్రోల్ మరియు స్థిరమైన SIC పూత నాణ్యతను అందిస్తుంది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ RTP SIC పూత ప్లేట్లు అధిక-పనితీరు గల పొర క్యారియర్లు, వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ వాతావరణాలను డిమాండ్ చేయడంలో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడ్డాయి. ప్రముఖ సెమీకండక్టర్ తయారీదారులచే విశ్వసించబడిన, సెమికోరెక్స్ కఠినమైన నాణ్యత ప్రమాణాలు మరియు ఖచ్చితమైన తయారీ మద్దతుతో ఉన్నతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, మన్నిక మరియు కాలుష్యం నియంత్రణను అందిస్తుంది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి