SiC పూత అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా ససెప్టర్పై పలుచని పొర. సిలికాన్ కార్బైడ్ మెటీరియల్ సిలికాన్ కంటే అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది, వీటిలో 10x బ్రేక్డౌన్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్ స్ట్రెంగ్త్, 3x బ్యాండ్ గ్యాప్, ఇది మెటీరియల్ను అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతతో అందిస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ అనుకూలీకరించిన సేవను అందిస్తుంది, ఎక్కువ కాలం ఉండే కాంపోనెంట్లతో ఆవిష్కరణలు చేయడంలో మీకు సహాయం చేస్తుంది, చక్రాల సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తుంది.
SiC పూత అనేక ప్రత్యేక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది
అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధం: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ గణనీయమైన ఉష్ణ క్షీణతకు గురికాకుండా 1600°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.
రసాయన ప్రతిఘటన: సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఆమ్లాలు, క్షారాలు మరియు సేంద్రీయ ద్రావకాలతో సహా అనేక రకాల రసాయనాలకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది.
వేర్ రెసిస్టెన్స్: SiC పూత అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకతతో మెటీరియల్ను అందిస్తుంది, ఇది అధిక దుస్తులు మరియు కన్నీటిని కలిగి ఉన్న అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
థర్మల్ కండక్టివిటీ: CVD SiC పూత అధిక ఉష్ణ వాహకతతో పదార్థాన్ని అందిస్తుంది, ఇది సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ అవసరమయ్యే అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.
అధిక బలం మరియు దృఢత్వం: సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ మెటీరియల్ని అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో అందిస్తుంది, ఇది అధిక యాంత్రిక బలం అవసరమయ్యే అప్లికేషన్లకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
SiC పూత వివిధ అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించబడుతుంది
LED తయారీ: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ దాని అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు రసాయన నిరోధకత కారణంగా నీలం మరియు ఆకుపచ్చ LED, UV LED మరియు లోతైన-UV LED వంటి వివిధ LED రకాలను ప్రాసెస్ చేసిన తయారీలో ఉపయోగించబడుతుంది.
మొబైల్ కమ్యూనికేషన్: GaN-on-SiC ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియను పూర్తి చేయడానికి CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ HEMTలో కీలకమైన భాగం.
సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్: CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ను సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్తో సహా వివిధ అప్లికేషన్ల కోసం ఉపయోగిస్తారు.
SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ భాగాలు
సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటింగ్ (SiC) గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడింది, ఈ పూత CVD పద్ధతి ద్వారా అధిక సాంద్రత కలిగిన గ్రాఫైట్ యొక్క నిర్దిష్ట గ్రేడ్లకు వర్తించబడుతుంది, కనుక ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలో 3000 °C కంటే ఎక్కువ జడ వాతావరణంలో, 2200 °C శూన్యంలో పనిచేయగలదు. .
పదార్థం యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు తక్కువ ద్రవ్యరాశి వేగవంతమైన వేడి రేట్లు, ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ మరియు నియంత్రణలో అత్యుత్తమ ఖచ్చితత్వాన్ని అనుమతిస్తాయి.
సెమికోరెక్స్ SiC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
విలక్షణ లక్షణాలు |
యూనిట్లు |
విలువలు |
నిర్మాణం |
|
FCC β దశ |
ఓరియంటేషన్ |
భిన్నం (%) |
111 ప్రాధాన్యత |
బల్క్ డెన్సిటీ |
g/cm³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
ఉష్ణ విస్తరణ 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
తీర్మానం CVD SiC కోటెడ్ ససెప్టర్ అనేది ససెప్టర్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క లక్షణాలను మిళితం చేసే ఒక మిశ్రమ పదార్థం. ఈ పదార్ధం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకత, అద్భుతమైన దుస్తులు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బలం మరియు దృఢత్వంతో సహా ప్రత్యేక లక్షణాలను కలిగి ఉంది. ఈ లక్షణాలు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్, కెమికల్ ప్రాసెసింగ్, హీట్ ట్రీట్మెంట్, సౌర ఘటాల తయారీ మరియు LED తయారీతో సహా వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాలకు ఆకర్షణీయమైన పదార్థంగా చేస్తాయి.
సెమీకోరెక్స్ SiC కోటింగ్ రింగ్ అనేది సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియల డిమాండ్ వాతావరణంలో కీలకమైన భాగం. పోటీ ధరలకు అత్యుత్తమ నాణ్యత కలిగిన ఉత్పత్తులను అందించాలనే మా దృఢమైన నిబద్ధతతో, మేము చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారడానికి సిద్ధంగా ఉన్నాము.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ దాని SiC డిస్క్ ససెప్టర్ను పరిచయం చేసింది, ఇది ఎపిటాక్సీ, మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (MOCVD) మరియు రాపిడ్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP) పరికరాల పనితీరును మెరుగుపరిచేందుకు రూపొందించబడింది. సూక్ష్మంగా రూపొందించబడిన SiC డిస్క్ ససెప్టర్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు వాక్యూమ్ పరిసరాలలో అత్యుత్తమ పనితీరు, మన్నిక మరియు సామర్థ్యానికి హామీ ఇచ్చే లక్షణాలను అందిస్తుంది.**
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిSiC MOCVD కవర్ సెగ్మెంట్లో నాణ్యత మరియు ఆవిష్కరణలకు సెమికోరెక్స్ యొక్క నిబద్ధత స్పష్టంగా కనిపిస్తుంది. నమ్మదగిన, సమర్థవంతమైన మరియు అధిక-నాణ్యత గల SiC ఎపిటాక్సీని ప్రారంభించడం ద్వారా, తదుపరి తరం సెమీకండక్టర్ పరికరాల సామర్థ్యాలను అభివృద్ధి చేయడంలో ఇది కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.**
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ SiC MOCVD ఇన్నర్ సెగ్మెంట్ అనేది సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) ఎపిటాక్సియల్ పొరల ఉత్పత్తిలో ఉపయోగించే లోహ-సేంద్రీయ రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD) సిస్టమ్లకు అవసరమైన వినియోగం. ఇది ఖచ్చితంగా SiC ఎపిటాక్సీ యొక్క డిమాండ్ పరిస్థితులను తట్టుకునేలా రూపొందించబడింది, సరైన ప్రక్రియ పనితీరు మరియు అధిక-నాణ్యత SiC ఎపిలేయర్లను నిర్ధారిస్తుంది.**
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ SiC ALD ససెప్టర్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం, మెరుగైన ఫిల్మ్ ఏకరూపత మరియు నాణ్యత, మెరుగైన ప్రక్రియ సామర్థ్యం మరియు పొడిగించిన ససెప్టర్ జీవితకాలంతో సహా ALD ప్రక్రియలలో అనేక ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది. ఈ ప్రయోజనాలు SiC ALD ససెప్టర్ని వివిధ డిమాండ్ ఉన్న అప్లికేషన్లలో అధిక-పనితీరు గల సన్నని చిత్రాలను సాధించడానికి విలువైన సాధనంగా చేస్తాయి.**
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ ALD ప్లానెటరీ ససెప్టర్ అనేది ALD పరికరాలలో ముఖ్యమైనది, ఎందుకంటే కఠినమైన ప్రాసెసింగ్ పరిస్థితులను తట్టుకోగల సామర్థ్యం, వివిధ రకాల అప్లికేషన్ల కోసం అధిక-నాణ్యత ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ను నిర్ధారిస్తుంది. చిన్న కొలతలు మరియు మెరుగైన పనితీరుతో అధునాతన సెమీకండక్టర్ పరికరాలకు డిమాండ్ పెరుగుతూనే ఉన్నందున, ALDలో ALD ప్లానెటరీ ససెప్టర్ యొక్క ఉపయోగం మరింత విస్తరిస్తుందని భావిస్తున్నారు.**
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి