8-అంగుళాల పొరపాటు రింగులు

సెమికోరెక్స్ 8-అంగుళాల పొరపాటు రింగులు ముఖ్యమైన థర్మల్, ఎచింగ్ మరియు డిపాజిషన్ ప్రక్రియల ద్వారా సిలికాన్ పొరలను సురక్షితంగా భద్రపరచడానికి మరియు మద్దతు ఇవ్వడానికి ఉద్దేశించిన కట్టింగ్-ఎడ్జ్ సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ హార్డ్‌వేర్. దట్టమైన అధిక-నాణ్యత గ్రాఫైట్ నుండి నిర్మించబడిందిసిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) యొక్క పూతఅదనపు బలం కోసం, పొర హోల్డర్ రింగ్ ఉన్నతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, రసాయన నిరోధకత మరియు యాంత్రిక బలాన్ని ఇస్తుంది, ఇది సివిడి (రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ), పిఇసివిడి మరియు ఎపిటాక్సీ వ్యవస్థలు వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో ఉపయోగం కోసం అనువైనది.

ముఖ్య లక్షణాలు:

పదార్థ కూర్పు:

ఉపరితల పదార్థంఅధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్, ఇది అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు నిర్మాణ సజాతీయత కోసం ఎంపిక చేయబడింది. అధిక సాంద్రత మరియు ఏకరీతిసిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) ఫిల్మ్ పూతఉపరితలంపై వర్తించబడుతుంది, 1000 ° C కంటే ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద కూడా ఆక్సీకరణ మరియు రసాయన దాడికి అధిక నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తుంది. ఈ మిశ్రమంలో లాంగ్ వ్యవధి మరియు పొరలను కలుషితం చేసే కనీస ప్రమాదం ఉన్న షెల్ఫ్ జీవితాన్ని కలిగి ఉంటుంది.

సురక్షిత పొర స్థానం

ముఖ్యంగా 8-అంగుళాల (200 మిమీ) పొరలను పట్టుకోవటానికి రూపొందించబడిన, వాఫర్‌హోల్డర్ రింగ్ ఖచ్చితమైన సహనాలను మరియు పొరను సురక్షితంగా పట్టుకోవటానికి ఉత్తమంగా రూపొందించిన అంతర్గత జ్యామితిని కలిగి ఉంది. థర్మల్ సైక్లింగ్ మరియు గ్యాస్ ప్రవాహం సమయంలో రింగ్ స్థిరంగా ఉంటుంది, ఇది కణాల సృష్టి లేదా పొరల విచ్ఛిన్నతకు దారితీసే సూక్ష్మ కదలికలను తగ్గిస్తుంది.

థర్మల్ ఏకరూపత:

గ్రాఫైట్ ఉపరితలం యొక్క స్వాభావిక ఉష్ణ వాహకత మరియు SIC పూత యొక్క స్థిరత్వం పొర ఉపరితలంపై స్థిరమైన ఉష్ణ బదిలీని నిర్ధారిస్తాయి. ఇది స్థిరమైన ప్రక్రియ ఫలితాలు, తగ్గిన ఉష్ణ ఒత్తిడి మరియు మంచి పరికర దిగుబడికి దారితీస్తుంది.

రసాయన & ప్లాస్మా నిరోధకత:

SIC ఉపరితలం గ్రాఫైట్ కోర్‌ను కఠినమైన ప్రాసెస్ ప్లాస్మా మరియు వాయువుల నుండి రక్షిస్తుంది, ఇది పదేపదే ప్రాసెస్ చక్రాలకు ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది. తినివేయు హాలోజెన్ కలిగిన ఎట్చాట్ లేదా రియాక్టివ్ గ్యాస్ పరిసరాలలో రసాయన జడత్వం ముఖ్యంగా ప్రయోజనకరంగా ఉంటుంది.

అనుకూలీకరణ అందుబాటులో ఉంది:

8-అంగుళాల పొరపాటు రింగులు నిర్దిష్ట పరికరాలు లేదా ప్రాసెస్ అవసరాలను తీర్చడానికి కస్టమ్-రూపొందించబడవచ్చు, అనగా, అంచు మద్దతు రూపకల్పనలో వైవిధ్యాలు, స్లాట్ల స్థానం మరియు మౌంటు కాన్ఫిగరేషన్. మా డిజైనర్లు ప్రతి ఉపయోగం కోసం సాధ్యమైనంత ఎక్కువ పనితీరును అందించడానికి OEM లు మరియు FABS తో పనిచేస్తారు.

అనువర్తనాలు:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధి ప్రక్రియలు
• విస్తరణ ఫర్నేసులు
• అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఎనియలింగ్
• ఇతర సెమీకండక్టర్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ సిస్టమ్స్

ప్రతి 8-అంగుళాల పొరపాటు రింగులు డైమెన్షన్ ఖచ్చితత్వ ధృవీకరణ, పూత సంశ్లేషణ పరీక్ష మరియు థర్మల్ సైక్లింగ్ అర్హత వంటి కఠినమైన తనిఖీకి లోనవుతాయి. మా అధునాతన ఉత్పాదక సాంకేతికత సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ యొక్క అధిక డిమాండ్లను నెరవేర్చడానికి ఏకరీతి SIC పూత మందం మరియు అత్యుత్తమ ఉపరితల ముగింపును నిర్ధారిస్తుంది.

సెమికోరెక్స్ 8-అంగుళాల పొర రింగులు (SIC- కోటెడ్ గ్రాఫైట్) తరువాతి తరం సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తికి అవసరమైన పరికరాలు, యాంత్రిక ఖచ్చితత్వం, పదార్థ మన్నిక మరియు రసాయన స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. ప్రాసెస్ పరికరాల నవీకరణల నుండి తరువాతి తరం పొర ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల నిర్మాణం వరకు, ఈ ఉత్పత్తి నేటి డిమాండ్ ఉత్పత్తి వాతావరణాలను ప్రారంభించడానికి అవసరమైన విశ్వసనీయత మరియు పనితీరును అందిస్తుంది.