సెమికోరెక్స్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ చైనాలో అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకత కలిగిన ఎపిటాక్సీ పరికరాల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. మా GaN-on-SiC సబ్స్ట్రేట్ ససెప్టర్లు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉన్నాయి మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తాయి. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ఫేజ్లు లేదా వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్లో ఉపయోగించే GaN-on-SiC సబ్స్ట్రేట్ వేఫర్ క్యారియర్లు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ను తట్టుకోవాలి. సెమికోరెక్స్ అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన SiC పూతతో కూడిన GaN-on-SiC సబ్స్ట్రేట్ ససెప్టర్ సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెన్స్ను అందిస్తుంది, స్థిరమైన ఎపి లేయర్ మందం మరియు రెసిస్టెన్స్ కోసం థర్మల్ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను కూడా అందిస్తుంది. ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత శుభ్రమైన, మృదువైన ఉపరితలాన్ని అందిస్తుంది, సహజమైన పొరలు వాటి మొత్తం ప్రాంతంలోని అనేక పాయింట్ల వద్ద ససెప్టర్ను సంప్రదిస్తాయి కాబట్టి నిర్వహణకు కీలకం.
Semicorex వద్ద, మేము మా కస్టమర్లకు అధిక-నాణ్యత, తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన ఉత్పత్తులను అందించడంపై దృష్టి పెడతాము. మా GaN-on-SiC సబ్స్ట్రేట్ ససెప్టర్ ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లకు ఎగుమతి చేయబడుతుంది. మేము స్థిరమైన నాణ్యమైన ఉత్పత్తులను మరియు అసాధారణమైన కస్టమర్ సేవను అందించడం ద్వారా మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా ఉండాలని లక్ష్యంగా పెట్టుకున్నాము.
GaN-on-SiC సబ్స్ట్రేట్ ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు
CVD-SIC కోటింగ్ యొక్క ప్రధాన లక్షణాలు |
||
SiC-CVD లక్షణాలు |
||
క్రిస్టల్ నిర్మాణం |
FCC β దశ |
|
సాంద్రత |
g/cm ³ |
3.21 |
కాఠిన్యం |
వికర్స్ కాఠిన్యం |
2500 |
ధాన్యం పరిమాణం |
μm |
2~10 |
రసాయన స్వచ్ఛత |
% |
99.99995 |
ఉష్ణ సామర్థ్యం |
J kg-1 K-1 |
640 |
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత |
℃ |
2700 |
Felexural బలం |
MPa (RT 4-పాయింట్) |
415 |
యంగ్స్ మాడ్యులస్ |
Gpa (4pt బెండ్, 1300℃) |
430 |
థర్మల్ విస్తరణ (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
ఉష్ణ వాహకత |
(W/mK) |
300 |
GaN-on-SiC సబ్స్ట్రేట్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ మంచి సాంద్రతను కలిగి ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణాలలో మంచి రక్షణ పాత్రను పోషిస్తాయి.
- సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్నెస్ను కలిగి ఉంటుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ మధ్య థర్మల్ ఎక్స్పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించండి, పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ను నిరోధించడానికి బంధన బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.
- గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర రెండూ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ పంపిణీ లక్షణాలను కలిగి ఉంటాయి.
- అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత.