SiC ఎపి-వేఫర్ ససెప్టర్

సెమికోరెక్స్ పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి ఉపయోగించే MOCVD ద్వారా పూసిన SiC ఎపి-వేఫర్ ససెప్టర్‌ను సరఫరా చేస్తుంది. వాటి అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ నిర్మాణం ఉన్నతమైన ఉష్ణ నిరోధకతను అందిస్తుంది, స్థిరమైన ఎపి పొర మందం మరియు ప్రతిఘటన కోసం ఉష్ణ ఏకరూపత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను కూడా అందిస్తుంది. ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత శుభ్రమైన, మృదువైన ఉపరితలాన్ని అందిస్తుంది, సహజమైన పొరలు వాటి మొత్తం ప్రాంతంలోని అనేక పాయింట్ల వద్ద ససెప్టర్‌ను సంప్రదిస్తాయి కాబట్టి నిర్వహణకు కీలకం.
మా SiC Epi-Wafer Susceptor ఉత్తమ లామినార్ గ్యాస్ ప్రవాహ నమూనాను సాధించడానికి రూపొందించబడింది, థర్మల్ ప్రొఫైల్ యొక్క సమానత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది. ఇది వేఫర్ చిప్‌పై అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఏదైనా కాలుష్యం లేదా మలినాలను వ్యాపించకుండా నిరోధించడంలో సహాయపడుతుంది.
మా SiC ఎపి-వేఫర్ ససెప్టర్ గురించి మరింత తెలుసుకోవడానికి ఈరోజే మమ్మల్ని సంప్రదించండి.

SiC ఎపి-వేఫర్ ససెప్టర్ యొక్క పారామితులు

SiC ఎపి-వేఫర్ ససెప్టర్ యొక్క లక్షణాలు

అధిక స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్
సుపీరియర్ హీట్ రెసిస్టెన్స్ & థర్మల్ ఏకరూపత
మృదువైన ఉపరితలం కోసం ఫైన్ SiC క్రిస్టల్ పూత పూయబడింది
రసాయన శుభ్రపరచడానికి వ్యతిరేకంగా అధిక మన్నిక
పగుళ్లు మరియు డీలామినేషన్ జరగకుండా మెటీరియల్ రూపొందించబడింది.