TaC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ అనేది యాజమాన్య రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియ ద్వారా టాంటాలమ్ కార్బైడ్ యొక్క చక్కటి పొరతో అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ యొక్క ఉపరితలంపై పూత చేయడం ద్వారా సృష్టించబడుతుంది.
టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TaC) అనేది టాంటాలమ్ మరియు కార్బన్లతో కూడిన సమ్మేళనం. ఇది మెటాలిక్ ఎలక్ట్రికల్ కండక్టివిటీ మరియు అనూహ్యంగా అధిక ద్రవీభవన స్థానం కలిగి ఉంది, ఇది దాని బలం, కాఠిన్యం మరియు వేడి మరియు దుస్తులు నిరోధకతకు ప్రసిద్ధి చెందిన వక్రీభవన సిరామిక్ పదార్థంగా మారుతుంది. టాంటాలమ్ కార్బైడ్స్ యొక్క ద్రవీభవన స్థానం స్వచ్ఛతపై ఆధారపడి సుమారు 3880°C వద్ద గరిష్ట స్థాయికి చేరుకుంటుంది మరియు బైనరీ సమ్మేళనాలలో అత్యధిక ద్రవీభవన బిందువులలో ఒకటి. MOCVD మరియు LPE వంటి సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్స్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే పనితీరు సామర్థ్యాలను అధిక ఉష్ణోగ్రత డిమాండ్లు అధిగమించినప్పుడు ఇది ఆకర్షణీయమైన ప్రత్యామ్నాయంగా చేస్తుంది.
సెమికోరెక్స్ TaC కోటింగ్ యొక్క మెటీరియల్ డేటా
ప్రాజెక్టులు |
పారామితులు |
సాంద్రత |
14.3 (gm/cm³) |
ఉద్గారత |
0.3 |
CTE (×10-6/కె) |
6.3 |
కాఠిన్యం (HK) |
2000 |
ప్రతిఘటన (ఓం-సెం.మీ) |
1×10-5 |
థర్మల్ స్థిరత్వం |
<2500℃ |
గ్రాఫైట్ డైమెన్షన్ మార్పు |
-10~-20um (సూచన విలువ) |
పూత మందం |
≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um) |
|
|
పైన పేర్కొన్నవి సాధారణ విలువలు |
|
సెమికోరెక్స్ TaC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ చక్ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఖచ్చితమైన పొర నిర్వహణ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల కోసం రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల భాగం. సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్ల డిమాండ్లో సరైన పనితీరు మరియు దీర్ఘాయువును నిర్ధారించే వినూత్నమైన, మన్నికైన ఉత్పత్తుల కోసం Semicorexని ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిSemicorex TaC రింగ్ అనేది SiC సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల కోసం రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల భాగం, ఇది సరైన గ్యాస్ ప్రవాహ పంపిణీ మరియు ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణను నిర్ధారిస్తుంది. మీ సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియల సామర్థ్యం మరియు నాణ్యతను పెంచే మన్నికైన మరియు నమ్మదగిన పరిష్కారాలను అందించడం ద్వారా అధునాతన పదార్థాలు మరియు ఖచ్చితమైన ఇంజనీరింగ్లో మా నైపుణ్యం కోసం Semicorexని ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పార్ట్ అనేది సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) క్రిస్టల్ గ్రోత్ అప్లికేషన్లలో అధిక-పనితీరు గల ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడిన TaC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ భాగం, ఇది అద్భుతమైన ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది. సెమీకండక్టర్ తయారీలో క్రిస్టల్ నాణ్యత మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని పెంచే విశ్వసనీయమైన, అధిక-నాణ్యత భాగాల కోసం సెమికోరెక్స్ని ఎంచుకోండి.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ రింగులు అధునాతన సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే కీలకమైన భాగాలు. అసాధారణమైన కాఠిన్యం, అధిక ద్రవీభవన స్థానం మరియు రసాయన జడత్వానికి ప్రసిద్ధి చెందింది, సెమికోరెక్స్లో, సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో మా క్లయింట్లు ఆవిష్కరణలో ముందంజలో ఉండేలా చూసుకుంటూ, నాణ్యత మరియు పనితీరు యొక్క అత్యున్నత ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉత్పత్తులను అందించడానికి మేము అంకితభావంతో ఉన్నాము.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ TaC కోటింగ్ వేఫర్ ససెప్టర్ అనేది టాంటాలమ్ కార్బైడ్తో పూసిన గ్రాఫైట్ ట్రే, ఇది పొర నాణ్యత మరియు పనితీరును మెరుగుపరచడానికి సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్లో ఉపయోగించబడుతుంది. సెమికోరెక్స్ని దాని అధునాతన పూత సాంకేతికత మరియు మన్నికైన పరిష్కారాల కోసం ఎంచుకోండి
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిTaC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్స్ అనేది టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ రింగ్, క్రిస్టల్ నాణ్యతను మెరుగుపరచడానికి సిలికాన్ కార్బైడ్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్లలో ఉపయోగించడం కోసం రూపొందించబడింది. సెమికోరెక్స్ని దాని అధునాతన పూత సాంకేతికత కోసం ఎంచుకోండి, అధిక మన్నిక, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు ఆప్టిమైజ్ చేసిన క్రిస్టల్ గ్రోత్ పనితీరును నిర్ధారిస్తుంది.*
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి