TaC కోటెడ్ ప్లానెటరీ ప్లేట్

సెమికోరెక్స్ TaC కోటెడ్ ప్లానెటరీ ప్లేట్ MOCVD రియాక్టర్‌లలో కీలకమైన భాగం వలె పనిచేస్తుంది, దాని ఉపరితలం వెంట అమర్చబడిన అనేక పొరల పాకెట్‌లతో కూడిన గ్రహ రూపకల్పనను ప్రదర్శిస్తుంది. ఏదైనా ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క వృద్ధి దశలో, ఉపరితల పొరలను స్థిరీకరించడం మరియు ఎలివేటెడ్ ప్రాసెస్ ఉష్ణోగ్రతల కింద ఉపరితల కదలికను తగ్గించడం వంటి వాటిపై విశ్వసనీయంగా ఉండేలా ఈ పాకెట్‌లు ప్రత్యేకంగా సృష్టించబడతాయి. ఖచ్చితమైన పాకెట్ జ్యామితి స్థిరమైన పొర ప్లేస్‌మెంట్‌ను అందిస్తుంది, ఇది ఎపిటాక్సియల్ పొరల యొక్క ఏకరీతి మందం మరియు ఒకే ప్రక్రియలో పెరిగిన అన్ని పొరల కోసం ఉపరితల లోపాల యొక్క ఏకరూపత స్థాయిలకు ముఖ్యమైనది.

ప్లానెటరీ ప్లేట్ యొక్క ఒక ముఖ్యమైన డిజైన్ అంశం, మరోసారి, ప్లేట్ యొక్క ఉపరితలం వెంట చక్కటి గ్యాస్ ప్రవాహ రంధ్రాల యొక్క ఇంజనీరింగ్ వ్యాప్తి. ఈ రంధ్రాలు జాగ్రత్తగా రూపొందించబడ్డాయి మరియు రియాక్టర్‌లోని పూర్వగామి వాయువుల ప్రవాహాన్ని మీటర్ చేయడానికి ప్రత్యేకంగా వ్యూహాత్మకంగా ఉంచబడ్డాయి, కాబట్టి ప్రతి పొరలో ఏకరీతి వాయువు వ్యాప్తి మరియు నిక్షేపణ కూడా సాధించబడుతుంది. ఏదైనా MOCVD ప్రక్రియలో, ఫిల్మ్ క్వాలిటీలు, మందం ఏకరూపత మరియు మొత్తం పరికరం పనితీరును నిర్ణయించడంలో గ్యాస్ డైనమిక్స్ అంశాలు కీలకం. పై ఆప్టిమైజ్ చేసిన రంధ్రం డిజైన్TaC కోటెడ్ప్లానెటరీ ప్లేట్ అన్ని పొరలు ఒకే ప్రక్రియ పరిస్థితులను అనుభవించేలా నిర్ధారిస్తుంది, ఇది దిగుబడి మరియు పునరుత్పత్తిని మెరుగుపరచడానికి సరైన మార్గాన్ని అందిస్తుంది.

దిTaC (టాంటాలమ్ కార్బైడ్) పూతప్లానెటరీ ప్లేట్ యొక్క పనితీరు మరియు జీవితాన్ని మరింత విస్తరిస్తుంది. టాంటాలమ్ కార్బైడ్ చాలా కఠినమైనది, రసాయనికంగా జడమైనది మరియు ఉష్ణ వాహకమైనది, ఇది తీవ్ర MOCVD పరిసరాలకు అద్భుతమైన పూతగా మారుతుంది. ఎపిటాక్సీ సమయంలో, రియాక్టర్‌లోని భాగాలు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు, రియాక్టివ్ పూర్వగామి వాయువులు మరియు ప్లాస్మా ఎక్స్‌పోజర్‌లను ఎదుర్కొంటాయి. TaC పూత తుప్పు, ఆక్సీకరణ మరియు కణ ఉత్పత్తికి బలమైన అవరోధంగా పనిచేస్తుంది, ఫలితంగా అన్‌కోటెడ్ లేదా సాంప్రదాయకంగా పూత పూసిన ప్లేట్ కంటే ప్లానెటరీ ప్లేట్ జీవితాన్ని గణనీయంగా పొడిగిస్తుంది.

TaC కోటెడ్ ప్లానెటరీ ప్లేట్ యొక్క దీర్ఘాయువు మరియు మన్నిక MOCVD సిస్టమ్‌లకు తక్కువ ఖర్చుతో కూడుకున్న ఎంపిక. మన్నికైన TaC పొర పదేపదే థర్మల్ సైక్లింగ్‌ను తట్టుకోగలదు మరియు విపరీతమైన ప్రక్రియ వాయువులకు గురికావడాన్ని తట్టుకోగలదు, అయితే పొడిగించిన సమయ వ్యవధిలో పనిచేసేటప్పుడు నిర్మాణ సమగ్రతను మరియు పనితీరు యొక్క స్థిరత్వాన్ని కొనసాగిస్తుంది.