సిలికాన్ ఇంజెక్టర్

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఇంజెక్టర్ అనేది పాలీసిలికాన్ మరియు థిన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ కోసం తక్కువ పీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (LPCVD) సిస్టమ్‌లలో గ్యాస్ యొక్క ఖచ్చితమైన డెలివరీ కోసం రూపొందించబడిన అల్ట్రా-హై స్వచ్ఛత భాగం. 9N (99.9999999%) నుండి నిర్మించబడిందిఅధిక స్వచ్ఛత సిలికాన్, ఈ చక్కటి గొట్టపు ఇంజెక్టర్ ఉన్నతమైన శుభ్రత, రసాయనాలతో అనుకూలత మరియు తీవ్రమైన ప్రక్రియ పరిస్థితులలో ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీ అధిక స్థాయి ఏకీకరణ మరియు కాలుష్యం యొక్క కఠినమైన నియంత్రణకు పరిణామం చెందడం కొనసాగిస్తున్నందున, డిపాజిషన్ ఛాంబర్‌లోని ప్రతి గ్యాస్ డెలివరీ భాగం కూడా మునుపటి కంటే అధిక ప్రమాణాలను కలిగి ఉండాలి. సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఇంజెక్టర్ ఈ రకమైన అవసరాల కోసం ప్రత్యేకంగా అభివృద్ధి చేయబడింది-ఫిల్మ్ నాణ్యత లేదా పొర దిగుబడిని ప్రతికూలంగా ప్రభావితం చేసే కాలుష్యాన్ని పరిచయం చేయకుండా ప్రతిచర్య గది అంతటా స్థిరంగా మరియు ఏకరీతిలో వాయు పదార్థాలను పంపిణీ చేస్తుంది.

ఇంజెక్టర్ ప్రక్రియ అవసరాలను బట్టి మోనోక్రిస్టలైన్ లేదా పాలీక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ నుండి తయారు చేయబడుతుంది మరియు పదార్థం తక్కువ లోహ, నలుసు మరియు అయానిక్ మలినాలను కలిగి ఉండేలా రూపొందించబడింది. ఇది అల్ట్రా-క్లీన్ LPCVD పరిస్థితులతో అనుకూలతను అందిస్తుంది, ఇక్కడ ట్రేస్ కాలుష్యం కూడా ఫిల్మ్‌లో లోపాన్ని లేదా పరికరం యొక్క వైఫల్యాన్ని ప్రేరేపిస్తుంది. సిలికాన్‌ను బేస్ మెటీరియల్‌గా ఉపయోగించడం వల్ల ఛాంబర్‌లోని ఇంజెక్టర్ మరియు సిలికాన్ భాగాల మధ్య మెటీరియల్ అసమతుల్యతను తగ్గిస్తుంది, ఇది వినియోగం మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆపరేషన్ సమయంలో కణాల ఉత్పత్తి ప్రమాదాలు లేదా రసాయన ప్రతిచర్యలను గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది.

సిలికాన్ ఇంజెక్టర్ యొక్క అంకితమైన గొట్టపు నిర్మాణం ఏకరీతి పొర లోడ్‌పై గ్యాస్‌ను నియంత్రిత మరియు సమాన పంపిణీని అనుమతిస్తుంది. మైక్రో-ఇంజనీర్డ్ కక్ష్యలు మరియు మృదువైన లోపలి ఉపరితలం లామినార్ గ్యాస్ డైనమిక్స్‌తో పాటు పునరుత్పాదక ప్రవాహ రేట్లను నిర్ధారిస్తాయి, ఇవి ఫర్నేస్‌లో స్థిరమైన ఫిల్మ్ మందం మరియు స్థిరమైన నిక్షేపణ రేట్లకు కీలకం. అది సిలేన్ (SiH₄), డైక్లోరోసిలేన్ (SiH₂Cl₂) లేదా ఇతర రియాక్టివ్ వాయువులు అయినా, ఇంజెక్టర్ మంచి నాణ్యత గల పాలీసిలికాన్ ఫిల్మ్ పెరుగుదలకు అవసరమైన విశ్వసనీయ పనితీరు మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని అందిస్తుంది.

అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం కారణంగా, సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఇంజెక్టర్ 1250 °C వరకు ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత LPCVD యొక్క బహుళ చక్రాల సమయంలో వైకల్యం, పగుళ్లు లేదా వార్పింగ్ భయం లేకుండా నియంత్రించబడవచ్చు. అదనంగా, ఆక్సీకరణ మరియు రసాయన జడత్వానికి దాని అధిక ప్రతిఘటన, నిర్వహణను తగ్గించడం మరియు ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని సృష్టించేటప్పుడు ఆక్సీకరణం, తగ్గించడం లేదా తినివేయు వాతావరణంలో దీర్ఘ పరుగులను అందిస్తుంది.

ప్రతి ఇంజెక్టర్ అత్యాధునిక CNC మ్యాచింగ్ మరియు పాలిషింగ్ ఉపయోగించి తయారు చేయబడుతుంది, సబ్-మైక్రాన్ డైమెన్షనల్ టాలరెన్స్‌లను మరియు ఉపరితలంపై అల్ట్రా-స్మూత్ ఫినిషింగ్‌లను సాధిస్తుంది. అధిక నాణ్యత గల ఉపరితల ముగింపు గ్యాస్ టర్బులెన్స్‌ను తగ్గిస్తుంది, అస్థిరమైన ఉష్ణ మరియు పీడన మార్పులలో స్థిరమైన ప్రవాహ లక్షణాలను నిర్ధారిస్తూ చాలా తక్కువ కణాలను సృష్టిస్తుంది. ఖచ్చితమైన తయారీ పటిష్టంగా నియంత్రించబడిన ప్రక్రియలను నిర్ధారిస్తుంది, నమ్మదగిన ఫలితాలను పునరుత్పత్తి చేస్తుంది మరియు అందువల్ల స్థిరమైన పరికరాల పనితీరు.

సెమికోరెక్స్ కస్టమ్ పొడవులు, వ్యాసాలు మరియు నాజిల్ కాన్ఫిగరేషన్‌లలో లభ్యమయ్యే బెస్పోక్ సిలికాన్ ఇంజెక్టర్‌లను తయారు చేస్తుంది. వన్-ఆఫ్ రియాక్టర్ జ్యామితులు లేదా డిపాజిషన్ రెసిపీల కోసం గ్యాస్ డిస్పర్షన్ ప్యాటర్న్‌లను మెరుగుపరచడానికి టైలర్డ్ సొల్యూషన్‌లను అభివృద్ధి చేయవచ్చు. సెమీకండక్టర్-గ్రేడ్ యొక్క అత్యధిక స్థాయిని అందించడానికి ప్రతి ఇంజెక్టర్ తనిఖీ చేయబడుతుంది మరియు స్వచ్ఛత కోసం ధృవీకరించబడుతుందిసిలికాన్ భాగాలు.

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఇంజెక్టర్ నేటి సెమీకండక్టర్ తయారీలో అవసరమైన ఖచ్చితత్వం మరియు స్వచ్ఛతను అందిస్తుంది. 9N అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ సిలికాన్, మైక్రాన్-స్థాయి మ్యాచింగ్ ఖచ్చితత్వం మరియు అధిక ఉష్ణ మరియు రసాయన స్థిరత్వం ఏకరీతి గ్యాస్ పంపిణీ, తక్కువ కణాల ఉత్పత్తి మరియు LPCVD పాలీసిలికాన్‌ను డిపాజిట్ చేసేటప్పుడు అసాధారణమైన విశ్వసనీయతను అందిస్తుంది.