సిలికాన్ వేఫర్ బోట్

సెమికోరెక్స్ గ్రూవ్ రాడ్ ఆకారం, గాడి పంటి పొడవు, ఆకారం, వంపు కోణం మరియు మొత్తం పొర లోడింగ్ సామర్థ్యంతో సహా సిలికాన్ పొర పడవ నిర్మాణాన్ని అనుకూలీకరించగలదు మరియు కస్టమర్ అవసరాలకు అనుగుణంగా ఉత్పత్తి చేయవచ్చు. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సిలికాన్ పడవలు సిలికాన్ పొరలకు సంపర్క నష్టాన్ని సమర్థవంతంగా తగ్గించగలవు మరియు ప్రక్రియ దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తాయి. దీని హై-టెంప్ "స్లిప్-ఫ్రీ టవర్స్" డిజైన్ సపోర్టింగ్ టూత్ యొక్క కొన వద్ద మాత్రమే పొరలకు మద్దతు ఇస్తుంది. తో పోలిస్తేసిలికాన్ కార్బైడ్, సిలికాన్ సాపేక్షంగా తక్కువ కాఠిన్యాన్ని కలిగి ఉంటుంది, ఇది పొరలకు యాంత్రిక నష్టాన్ని తగ్గిస్తుంది, తద్వారా లాటిస్ పాస్ రేటును మెరుగుపరుస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి ఖర్చులను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది. ఫ్యూజ్డ్ సిలికాన్ బోట్ అనేక భాగాలతో కూడి ఉంటుంది: పళ్ళు, బేస్ ప్లేట్ మరియు టాప్ ప్లేట్, ఇవి కలిసి కలుస్తాయి. ఇది ఉత్పత్తి ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది. పాక్షిక నష్టం జరిగినప్పుడు, మొత్తం సిలికాన్ పడవను భర్తీ చేయకుండా దెబ్బతిన్న భాగాలను భర్తీ చేయవచ్చు, ఉపయోగం సమయంలో యాజమాన్య ఖర్చులను గణనీయంగా తగ్గిస్తుంది. అదనంగా, సిలికాన్ బోట్ పాలిసిలికాన్ నిక్షేపణకు పెద్ద ఎగువ పరిమితిని కలిగి ఉంది, ఇది PM పరికరాల ఫ్రీక్వెన్సీని సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది మరియు ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ వేఫర్ బోట్ అనేది ఒక వినూత్నమైన, ఉద్దేశ్యంతో రూపొందించబడిన, పొర క్యారియర్. 1200 మరియు 1250 °C మధ్య ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఆక్సీకరణ మరియు తగ్గింపు ప్రక్రియలతో సహా సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉపయోగించే అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఫర్నేస్ ప్రాసెసింగ్ కోసం ఇది ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) మెటీరియల్‌లో అందుబాటులో లేని పనితీరు ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది, సిలికాన్ వేఫర్ బోట్ సెమీకండక్టర్ తయారీకి అవసరమైన కఠినమైన ప్రక్రియలకు సంబంధించిన ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది. మొదటిది, సిలికాన్ పదార్థం యొక్క అల్ట్రా-అధిక స్వచ్ఛత ముఖ్యమైనది; నిజానికి, దిసిలికాన్ పదార్థం9N (99.9999999%) కంటే ఎక్కువ అల్ట్రా-హై-ప్యూరిటీ స్థాయిలను సాధిస్తుంది, తద్వారా లోహ లేదా విదేశీ మలినాలు వేఫర్ ప్రాసెసింగ్‌ను కలుషితం చేయవని నిర్ధారిస్తుంది. పనితీరు విశ్వసనీయత మరియు దిగుబడి కాలుష్యం ద్వారా ఎక్కువగా ప్రభావితమయ్యే ప్రముఖ సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీకి ఇది చాలా కీలకం. సిలికాన్ వేఫర్ బోట్ ఆక్సీకరణ మరియు తగ్గింపు ప్రాసెసింగ్ కోసం చాలా అధిక ఉష్ణోగ్రతలకి బహిర్గతమయ్యే పొరల నిర్వహణ కోసం అత్యంత అధునాతన పరిశ్రమ అవసరాలకు తగిన స్వచ్ఛత యొక్క అధిక స్థాయితో అతి శుభ్రమైన వాతావరణాన్ని అందిస్తుంది.

యొక్క మరొక ప్రయోజనంసిలికాన్ పదార్థంSiC మెటీరియల్‌తో పోల్చినప్పుడు దాని తక్కువ కాఠిన్యం లక్షణాలు. SiC బార్లు లేదా పడవలు కాఠిన్యం మరియు బలానికి ప్రసిద్ధి చెందాయి, అయితే చాలా ఆస్తి పొర ప్రాసెసింగ్ సమయంలో ఇబ్బందులకు దారి తీస్తుంది. అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద, పొరలు సూక్ష్మంగా కదులుతాయి; పడవ లోపల ఉన్నప్పుడు అవి కొద్దిగా బౌన్స్ అవుతాయి, కొద్దిగా మారతాయి మరియు అంచు వార్ప్ అవుతాయి. ఈ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ పరిస్థితులలో పొర మరియు పడవ యొక్క లక్షణాలు సంకర్షణ చెందడం వలన గట్టి, SiC పదార్థం పొర యొక్క వెనుక భాగంలో కణాలు లేదా గీతలు సృష్టించే అధిక ప్రమాదాలను కలిగిస్తుంది.

సిలికాన్ వేఫర్ బోట్ SiCకి సంబంధించి సిలికాన్ యొక్క సాపేక్షంగా మృదువైన పాత్రను ఉపయోగించడం ద్వారా ఈ ఆందోళనను తగ్గిస్తుంది. ఉష్ణ చక్రాల సమయంలో పొరలు పడవను సంప్రదించినప్పుడు కాఠిన్యం తగ్గింపు తక్కువ ఘర్షణ మరియు యాంత్రిక ఒత్తిడి రెండింటినీ అనుమతిస్తుంది. ఫలితంగా, కణాలు తక్కువ తరచుగా ఉత్పన్నమవుతాయి మరియు వెనుకవైపు గీతలు ఏర్పడే ప్రమాదం దాదాపు సున్నాకి తగ్గించబడుతుంది. ఇంకా, ఉపరితల లోపాలను తగ్గించడం ద్వారా, సిలికాన్ వేఫర్ బోట్ నేరుగా లాటిస్ నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు ప్రాసెస్ చేయబడిన పొరల యొక్క మొత్తం అర్హత రేటును పెంచుతుంది. గరిష్ట నాణ్యత నియంత్రణతో దిగుబడిని మెరుగుపరచాలని చూస్తున్న సెమీకండక్టర్ ఫ్యాబ్‌ల కోసం, ఈ పనితీరు సిలికాన్ బోట్‌ను ఆకర్షణీయమైన ఎంపికగా చేస్తుంది.

సిలికాన్ అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద మంచి స్థిరత్వం మరియు యాంత్రిక బలాన్ని అందిస్తుంది, ఇది పదేపదే కొలిమి చక్రాల సమయంలో పడవ విశ్వసనీయంగా సేవలను అందించడానికి అనుమతిస్తుంది. పదార్థం తాపన మరియు శీతలీకరణ చక్రాల సమయంలో వార్పింగ్‌ను నిరోధిస్తుంది మరియు తద్వారా, వేగవంతమైన కొలిమి చక్రాల సమయంలో కూడా ఖచ్చితమైన పొర ప్లేస్‌మెంట్ మరియు పొజిషనింగ్ టాలరెన్స్‌ను నిర్వహిస్తుంది. ఈ థర్మల్ పటిష్టత ఆధారపడదగిన ప్రక్రియ ఫలితాలను అందిస్తుంది, ఇది పరుగుల మధ్య కనిష్ట వైవిధ్యంతో అధిక వాల్యూమ్ ఉత్పత్తికి తగినంత స్థిరంగా ఉంటుంది. సిలికాన్ వేఫర్ బోట్ స్థిరమైన వేఫర్ పొజిషనింగ్ మరియు ప్లేస్‌మెంట్‌ని నిర్ధారించడానికి అధిక డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వంతో నిర్మించబడింది. మృదువైన ఉపరితలాలు, దగ్గరగా జ్యామితి మరియు గట్టి సహనాన్ని సృష్టించడానికి అధునాతన మ్యాచింగ్ మరియు పాలిషింగ్ ఉపయోగించి పడవ తయారు చేయబడింది.