సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగ్స్

సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగ్‌లు CCP/ICP ఎట్చ్ పరికరాల ప్లాస్మా ఎట్చ్ చాంబర్‌లోని ముఖ్యమైన భాగాలు మరియు సాధారణంగా సెమీకండక్టర్ పొర చుట్టూ ఉంచబడతాయి. సెమీకండక్టర్ పొరకు మద్దతు ఇవ్వడం, ఏకరీతి ప్లాస్మా పంపిణీని నిర్వహించడం, పొర అంచుని రక్షించడం మరియు ప్లాస్మా ఎచింగ్ ప్రక్రియ కోసం సరైన ఆపరేటింగ్ పరిస్థితులను సృష్టించడం వారి ప్రాథమిక విధులు.

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగుల ప్రయోజనాలు

1. ప్రీమియం మెటీరియల్ ఎంపిక

సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగ్‌లు జాగ్రత్తగా ఎంపిక చేయబడిన అధిక-స్వచ్ఛత MCZ నుండి తయారు చేయబడతాయిమోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్, ఇది సాంప్రదాయ CZ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్‌పై కింది అద్భుతమైన లక్షణాలను అందిస్తుంది.

అధిక స్వచ్ఛత: స్వచ్ఛత 99.9999999% కంటే ఎక్కువగా ఉంది, అంటే సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగులు దాదాపుగా మలినాలను కలిగి ఉండవు. ఈ అల్ట్రా-హై స్వచ్ఛత ఎచింగ్ ప్రక్రియలో కాంపోనెంట్ మలినాలు నుండి జోక్యాన్ని సమర్థవంతంగా నివారించగలదు, తద్వారా అధిక ఎచింగ్ ఖచ్చితత్వానికి హామీ ఇస్తుంది.

స్థిరమైన నిర్మాణం: MCZ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ సాంప్రదాయ CZ మోనోక్రిస్టలైన్ సిలికాన్ కంటే తక్కువ లోపాలతో ఉన్నతమైన క్రిస్టల్ నిర్మాణాన్ని కలిగి ఉంటుంది. ఈ స్థిరమైన క్రిస్టల్ నిర్మాణం సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగ్‌లకు ప్లాస్మా తుప్పుకు మెరుగైన తుప్పు నిరోధకతను అందిస్తుంది మరియు కఠినమైన ఎచింగ్ ఆపరేటింగ్ పరిస్థితులను తట్టుకునేలా చేస్తుంది.

అద్భుతమైన రెసిస్టివిటీ ఏకరూపత:సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగులుRRG <5%తో అసాధారణమైన ప్రతిఘటన ఏకరూపతను అందించండి. తక్కువ ధర. (<0.02 Ω·cm), మిడిల్ Res. (0.2–25 Ω·cm), అధిక Res. (>100 Ω·cm). ఈ అద్భుతమైన రెసిస్టివిటీ ఏకరూపత అధిక లేదా తక్కువ రెసిస్టివిటీ వల్ల ఏర్పడే అసమాన ప్లాస్మా పంపిణీని తగ్గించగలదు, ఇది అధిక-ఖచ్చితమైన ప్లాస్మా ఎచింగ్ కోసం ఆదర్శవంతమైన విద్యుత్ క్షేత్రానికి దోహదం చేస్తుంది.

2. ఖచ్చితమైన ప్రాసెసింగ్ మరియు కఠినమైన నాణ్యత తనిఖీ

Semicorex మా విలువైన కస్టమర్‌ల కోసం వ్యక్తిగతీకరించిన అనుకూలీకరణ మరియు సాంకేతిక మూల్యాంకనాలను అందించగల అనుభవజ్ఞులైన సాంకేతిక బృందాన్ని కలిగి ఉంది మరియు ఉత్పత్తి నాణ్యతకు హామీ ఇవ్వడానికి క్రమబద్ధమైన ప్రాసెసింగ్ మరియు తనిఖీ విధానాలను కూడా ఏర్పాటు చేసింది.

సౌకర్యవంతమైన అనుకూలీకరణ సేవలు: సెమికోరెక్స్ కస్టమర్ డ్రాయింగ్‌ల ఆధారంగా అనుకూలీకరణకు మద్దతు ఇస్తుంది మరియు సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగ్‌ల గరిష్ట అనుకూల వ్యాసం 470 మిమీ వరకు ఉంటుంది.

అధిక-ప్రామాణిక ఉపరితల చికిత్స: పాలిషింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని Ra <0.1 µm లోపల ఖచ్చితంగా నియంత్రించవచ్చు మరియు చక్కటి గ్రౌండింగ్ Ra > 0.1 µm ఉపరితల ముగింపును సాధిస్తుంది.

కఠినమైన నాణ్యత తనిఖీ: సిలికాన్ ఎచింగ్ రింగ్‌లు చిప్స్, గీతలు, పగుళ్లు, మరకలు మరియు ఇతర లోపాలు లేకుండా ఉండేలా డైమెన్షనల్ కొలత, రెసిస్టివిటీ టెస్టింగ్ మరియు విజువల్ ఇన్‌స్పెక్షన్ తీసుకోబడతాయి.