ప్రొఫెషనల్ తయారీగా, మేము మీకు సెమీకండక్టర్ భాగాలను అందించాలనుకుంటున్నాము. సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ను మెరుగుపరచడానికి సెమికోరెక్స్ మీ భాగస్వామి. మా సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు దట్టమైన, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి సెమీకండక్టర్ వేఫర్ & వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్తో సహా సెమీకండక్టర్ తయారీ మొత్తం చక్రంలో తరచుగా ఉపయోగించబడతాయి.
సెమీకండక్టర్లోని ప్రక్రియలకు అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన భాగాలు కీలకం. మా సమర్పణలో క్రిస్టల్ గ్రోయింగ్ హాట్ జోన్ల (హీటర్లు, క్రూసిబుల్ ససెప్టర్లు, ఇన్సులేషన్) కోసం గ్రాఫైట్ వినియోగ వస్తువుల నుండి, ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు వంటి వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాల కోసం హై-ప్రెసిషన్ గ్రాఫైట్ కాంపోనెంట్ల వరకు ఉంటాయి.
సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు ప్రయోజనాలు
ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD వంటి సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ దశలు లేదా ఎచింగ్ లేదా అయాన్ ఇంప్లాంట్ వంటి వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్లు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ను భరించాలి. సెమికోరెక్స్ అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ నిర్మాణం ఉన్నతమైన ఉష్ణ నిరోధకతను మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది, స్థిరమైన ఎపి పొర మందం మరియు నిరోధకత కోసం ఉష్ణ ఏకరూపతను కూడా అందిస్తుంది.
చాంబర్ మూతలు â
క్రిస్టల్ గ్రోత్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్లో ఉపయోగించే ఛాంబర్ మూతలు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ను తట్టుకోవాలి.
ఎండ్ ఎఫెక్టర్ â
ఎండ్ ఎఫెక్టర్ అనేది రోబోట్ చేతి, ఇది సెమీకండక్టర్ పొరలను వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలు మరియు క్యారియర్లలోని స్థానాల మధ్య కదిలిస్తుంది.
ఇన్లెట్ రింగ్స్ â
MOCVD పరికరాల ద్వారా SiC పూతతో కూడిన గ్యాస్ ఇన్లెట్ రింగ్ కాంపౌండ్ గ్రోత్ అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో గొప్ప స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది.
ఫోకస్ రింగ్ â
సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ఫోకస్ రింగ్ RTA, RTP లేదా కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ కోసం నిజంగా స్థిరంగా ఉంటుంది.
వేఫర్ చక్ â
సెమికోరెక్స్ అల్ట్రా-ఫ్లాట్ సిరామిక్ వాక్యూమ్ వేఫర్ చక్స్ అనేది వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించి అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన SiC పూతతో ఉంటుంది.
చైనాలోని మా నిపుణుల బృందం రూపొందించిన మరియు తయారు చేసిన వేఫర్ ట్రాన్స్ఫర్ హ్యాండ్ను పరిచయం చేస్తూ, సున్నితమైన ఉపరితలం దెబ్బతినకుండా పొరలను ఒక ప్రదేశం నుండి మరొక ప్రదేశానికి సురక్షితంగా మరియు సమర్థవంతంగా బదిలీ చేసేలా ఈ ఉత్పత్తి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ అడ్వాన్స్డ్, హై-ప్యూరిటీ సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ కాంపోనెంట్లు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియలో విపరీతమైన వాతావరణాలను తట్టుకునేలా నిర్మించబడ్డాయి. మా సెమీకండక్టర్ వేఫర్ చక్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండితరువాతి తరం లితోగ్రఫీ మరియు పొర-నిర్వహణ అనువర్తనాల కోసం పర్ఫెక్ట్, సెమికోరెక్స్ అల్ట్రా-ప్యూర్ సిరామిక్ భాగాలు కనిష్ట కాలుష్యాన్ని నిర్ధారిస్తాయి మరియు అనూహ్యంగా సుదీర్ఘ జీవిత పనితీరును అందిస్తాయి. మా వేఫర్ వాక్యూమ్ చక్ మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉంది మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం సెమీకోరెక్స్ డ్యూరబుల్ ఫోకస్ రింగ్లు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్లో ఉపయోగించే ప్లాస్మా ఎట్చ్ ఛాంబర్ల తీవ్ర వాతావరణాలను తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయి. మా ఫోకస్ రింగ్లు దట్టమైన, ధరించడానికి-నిరోధక సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతతో పూసిన అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్తో తయారు చేయబడ్డాయి. SiC పూత అధిక తుప్పు మరియు ఉష్ణ నిరోధక లక్షణాలను కలిగి ఉంది, అలాగే అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత. మేము మా ఫోకస్ రింగ్ల సేవా జీవితాన్ని మెరుగుపరచడానికి రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ప్రక్రియను ఉపయోగించి గ్రాఫైట్పై సన్నని పొరలలో SiCని వర్తింపజేస్తాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమీకోరెక్స్ ప్లాస్మా ప్రాసెసింగ్ ఫోకస్ రింగ్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ప్లాస్మా ఎట్చ్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క అధిక డిమాండ్లను తీర్చడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. మా అధునాతన, అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ కాంపోనెంట్లు విపరీతమైన వాతావరణాలను తట్టుకునేలా నిర్మించబడ్డాయి మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్లు మరియు ఎపిటాక్సీ సెమీకండక్టర్లతో సహా వివిధ అప్లికేషన్లలో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటాయి.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండిసెమికోరెక్స్ అడ్వాన్స్డ్, హై-ప్యూరిటీ SiC ఫోకస్ రింగ్లు ప్లాస్మా ఎట్చ్ (లేదా డ్రై ఎట్చ్) ఛాంబర్లలోని విపరీతమైన వాతావరణాలను తట్టుకునేలా నిర్మించబడ్డాయి. మేము సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్లు మరియు ఎపిటాక్సీ సెమీకండక్టర్ వంటి సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలపై దృష్టి పెడతాము. మా ఉత్పత్తులు మంచి ధర ప్రయోజనాన్ని కలిగి ఉన్నాయి మరియు అనేక యూరోపియన్ మరియు అమెరికన్ మార్కెట్లను కవర్ చేస్తాయి. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామిగా మారేందుకు మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.
ఇంకా చదవండివిచారణ పంపండి