ప్రొఫెషనల్ తయారీగా, మేము మీకు సెమీకండక్టర్ భాగాలను అందించాలనుకుంటున్నాము. సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ను మెరుగుపరచడానికి సెమికోరెక్స్ మీ భాగస్వామి. మా సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు దట్టమైన, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి సెమీకండక్టర్ వేఫర్ & వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ మరియు సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్తో సహా సెమీకండక్టర్ తయారీ మొత్తం చక్రంలో తరచుగా ఉపయోగించబడతాయి.
సెమీకండక్టర్లోని ప్రక్రియలకు హై-స్వచ్ఛత SiC పూతతో కూడిన భాగాలు కీలకం. మా సమర్పణలో క్రిస్టల్ గ్రోయింగ్ హాట్ జోన్ల (హీటర్లు, క్రూసిబుల్ ససెప్టర్లు, ఇన్సులేషన్) కోసం గ్రాఫైట్ వినియోగ వస్తువుల నుండి ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు వంటి వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాల కోసం హై-ప్రెసిషన్ గ్రాఫైట్ కాంపోనెంట్ల వరకు ఉంటాయి.
సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు ప్రయోజనాలు
ఎపిటాక్సీ లేదా MOCVD వంటి సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ దశలు లేదా ఎచింగ్ లేదా అయాన్ ఇంప్లాంట్ వంటి వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్ అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ను తట్టుకోవాలి. సెమికోరెక్స్ అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ నిర్మాణం ఉన్నతమైన ఉష్ణ నిరోధకత మరియు మన్నికైన రసాయన నిరోధకతను అందిస్తుంది, స్థిరమైన ఎపి పొర మందం మరియు నిరోధకత కోసం ఉష్ణ ఏకరూపతను కూడా అందిస్తుంది.
చాంబర్ మూతలు →
క్రిస్టల్ గ్రోత్ మరియు వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రాసెసింగ్లో ఉపయోగించే ఛాంబర్ మూతలు అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ను తట్టుకోవాలి.
ఎండ్ ఎఫెక్టర్ →
ఎండ్ ఎఫెక్టర్ అనేది రోబోట్ చేతి, ఇది సెమీకండక్టర్ పొరలను వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలు మరియు క్యారియర్లలోని స్థానాల మధ్య కదిలిస్తుంది.
ఇన్లెట్ రింగ్స్ →
MOCVD పరికరాల ద్వారా SiC పూతతో కూడిన గ్యాస్ ఇన్లెట్ రింగ్ కాంపౌండ్ గ్రోత్ అధిక వేడి మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది తీవ్రమైన వాతావరణంలో గొప్ప స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది.
ఫోకస్ రింగ్ →
సెమికోరెక్స్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతతో కూడిన ఫోకస్ రింగ్ RTA, RTP లేదా కఠినమైన రసాయన క్లీనింగ్ కోసం నిజంగా స్థిరంగా ఉంటుంది.
వేఫర్ చక్ →
సెమికోరెక్స్ అల్ట్రా-ఫ్లాట్ సిరామిక్ వాక్యూమ్ వేఫర్ చక్స్ అనేది వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియలో ఉపయోగించి అధిక స్వచ్ఛత కలిగిన SiC పూతతో ఉంటుంది.