SiC ప్రాసెస్ ట్యూబ్‌లు

సెమీకోరెక్స్ SiC ప్రక్రియ గొట్టాలు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి, RTA/RTPలో ముఖ్యమైన నిర్మాణ భాగాలు. ఇది సాధారణంగా రియాక్టర్ ఫర్నేస్ స్పేస్‌గా పెద్ద వ్యాసం కలిగిన ట్యూబ్, అన్ని రసాయన ప్రక్రియలు లోపలే జరుగుతాయి. కాబట్టి బలం, థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ రెండూ ఉత్పత్తికి చాలా ప్రాథమిక పాయింట్లు.

SiC ప్రక్రియ గొట్టాలు తయారు చేయబడ్డాయిసింటర్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్, ఇది SiSiC, SSiC లేదా RSiC కావచ్చు మరియు ఉపరితలంపై CVD SiC పూత కావచ్చు, ఇది అల్ట్రా హై స్వచ్ఛత పొరను ఏర్పరుస్తుంది. ఇది కణాలు, బూడిద మొదలైన వాటి ద్వారా కాలుష్యాన్ని నిరోధించగలదు. మరియు పదార్థం చాలా ఎక్కువ ఉష్ణ షాక్ నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, కాబట్టి SiC ప్రక్రియ గొట్టాలు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతలో స్థిరంగా ఉంటాయి మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద మలినాలను అవక్షేపించకుండా నిరోధించగలవు మరియు తద్వారా పర్యావరణాన్ని కలుషితం చేస్తాయి.

ఈ SiC ప్రాసెస్ ట్యూబ్‌లు వాతావరణంలో రియాక్టివ్ గ్యాస్ (ఆక్సిజన్), షీల్డ్ గ్యాస్ (నైట్రోజన్) మరియు కనిష్ట మొత్తంలో హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్ వాయువుతో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడ్డాయి మరియు 1250°C వరకు అత్యుత్తమ రసాయన నిరోధకత, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు పదార్థ స్వచ్ఛతను అందిస్తాయి. సెమికోరెక్స్ SiC ప్రాసెస్ ట్యూబ్‌లు అత్యాధునిక 3D-ప్రింటింగ్ తయారీని రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) పూతతో మిళితం చేసి, అత్యంత తీవ్రమైన ఉష్ణ మరియు రసాయన పరిస్థితులలో అత్యుత్తమ పనితీరు మరియు జీవితకాలాన్ని అందిస్తాయి.

సెమికోరెక్స్ SiC ప్రాసెస్ ట్యూబ్‌లు సాంప్రదాయిక ప్రెస్‌గా ఏర్పడిన లేదా అసెంబుల్డ్ ట్యూబ్ కాకుండా 3D ప్రింట్ ఇంటిగ్రేటెడ్ మోల్డింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా ఉత్పత్తి చేయబడతాయి. ఈ తయారీ ప్రక్రియ కీళ్ళు మరియు బలహీనమైన ప్రాంతాలు లేకుండా సిరామిక్ యొక్క నిరంతర, స్థిరమైన నిర్మాణాన్ని అనుమతిస్తుంది, అధిక స్థాయి సంక్లిష్టత మరియు డైమెన్షనల్ విశ్వసనీయతను సృష్టిస్తుంది, ఇది యాంత్రిక బలాన్ని పెంచుతూ ఒత్తిడి సాంద్రతలను తగ్గించగలదు. అంతేకాకుండా, ఏకశిలా నిర్మాణం సహజ వాయువు-గట్టి ముద్రను అందిస్తుంది, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల సమయంలో కాలుష్యం మరియు లీకేజీని తగ్గిస్తుంది.

దిSiCశరీరం యొక్క అతి తక్కువ అశుద్ధ పదార్థం (< 300 ppm), రియాక్టివ్ వాతావరణాలకు అద్భుతమైన పదార్థ స్వచ్ఛత మరియు స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. అదనంగా, తుప్పు నిరోధకత మరియు ఉపరితల రక్షణను మెరుగుపరచడానికి ట్యూబ్ CVD సిలికాన్ కార్బైడ్ లేయర్ (<5 ppm)తో పూత పూయబడింది.

సెమికోరెక్స్ అనుకూలీకరించిన సేవను అందిస్తుంది, మేము కస్టమర్ల డ్రాయింగ్‌ల ప్రకారం అవసరమైన స్పెసిఫికేషన్ల అవసరాలను తీర్చగలము. కాబట్టి సెమికోరెక్స్ సిఐసి ప్రాసెస్ ట్యూబ్‌లు క్షితిజ సమాంతర కొలిమికి మాత్రమే కాకుండా, నిలువు కొలిమిలకు కూడా ప్రత్యామ్నాయంగా సరిపోతాయి.