సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్

సెమికోరెక్స్ సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ అనేవి అధిక-పనితీరు గల అల్యూమినా మరియు అల్యూమినియం నైట్రైడ్ సిరామిక్స్‌తో తయారు చేయబడిన ఖచ్చితమైన ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ అడ్సార్ప్షన్ భాగాలు, ఇది పొరలను బిగించడానికి మరియు పరిష్కరించడానికి ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ అధిశోషణం సూత్రాన్ని ఉపయోగిస్తుంది. ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది. సెమికోరెక్స్‌లో అధునాతన సాంకేతికత, అధిక-నాణ్యత పదార్థాలు మరియు తక్కువ ఖర్చుతో కూడిన ఉత్పత్తులు ఉన్నాయి. మేము చైనాలో మీ విశ్వసనీయ సరఫరా భాగస్వామిగా మారడానికి ఎదురుచూస్తున్నాము.

విచారణ పంపండి

ఉత్పత్తి వివరణ

సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్పొరలను బిగించడానికి మరియు పరిష్కరించడానికి ఎలక్ట్రోడ్‌లు మరియు పొరల మధ్య ఉత్పన్నమయ్యే ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫీల్డ్‌ను ఉపయోగించే ఖచ్చితమైన భాగాలు. అవి సెమీకండక్టర్స్, ఫ్లాట్ ప్యానెల్ డిస్‌ప్లేలు మరియు ఆప్టిక్స్ వంటి రంగాలలో విస్తృతంగా వర్తించబడతాయి మరియు PVD పరికరాలు, ఎచింగ్ మెషీన్‌లు మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటర్‌ల వంటి హై-ఎండ్ పరికరాలలో ప్రధాన భాగాలు.

సాంప్రదాయ మెకానికల్ చక్స్ మరియు వాక్యూమ్ చక్‌లతో పోలిస్తే, సెరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌లు సెమీకండక్టర్ తయారీ రంగంలో అనేక ప్రయోజనాలను కలిగి ఉన్నాయి. ఈ సిరామిక్ ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ దాని ఉపరితలంపై పొరలను చదును చేయడానికి మరియు సమానంగా ఉంచడానికి స్థిర విద్యుత్‌ను ఉపయోగిస్తుంది. ఈ ఏకరీతి శోషణ శక్తి శోషించబడిన వస్తువును సాపేక్షంగా ఫ్లాట్‌గా ఉంచుతుంది, తప్పించుకుంటుందిపొరసాంప్రదాయిక యాంత్రిక చక్‌ల వల్ల సంభవించే వార్పింగ్ లేదా వైకల్యంవాక్యూమ్ చక్స్, మరియు హై-ప్రెసిషన్ సెమీకండక్టర్ ప్రాసెస్‌లకు తగిన ప్రాసెసింగ్ ఖచ్చితత్వాన్ని పొర నిర్వహిస్తుందని నిర్ధారిస్తుంది.

కొన్ని సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌లు ఇంటిగ్రేటెడ్ హీటింగ్ ఫంక్షన్‌లను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి బ్యాక్-బ్లోయింగ్ గ్యాస్ లేదా ఇంటర్నల్ హీటింగ్ ఎలక్ట్రోడ్‌ల ద్వారా పొర ఉష్ణోగ్రతను ఖచ్చితంగా నియంత్రించగలవు, వివిధ ప్రక్రియల యొక్క కఠినమైన ఉష్ణోగ్రత అవసరాలకు అనుగుణంగా ఉంటాయి మరియు ప్రాసెసింగ్ స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తాయి.

మెకానికల్ చక్‌ల మాదిరిగా కాకుండా, సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌లు యాంత్రిక కదిలే భాగాలను తగ్గిస్తాయి, పొర నాణ్యతపై రేణువుల కలుషితాల ప్రభావాన్ని తగ్గిస్తాయి, పొర ఉపరితలం యొక్క శుభ్రతను సమర్థవంతంగా రక్షిస్తాయి మరియు ఉత్పత్తి దిగుబడిని మెరుగుపరుస్తాయి.

సిరామిక్ ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ విస్తృత అనుకూలతను అందిస్తాయి. అవి సిలికాన్, గాలియం ఆర్సెనైడ్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో సహా వివిధ రకాల సెమీకండక్టర్ తయారీ అవసరాలను తీర్చగల వివిధ పరిమాణాలు మరియు పదార్థాల పొరలను కలిగి ఉంటాయి.

అవి అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు CVD వంటి అధిక వాక్యూమ్ పరిసరాలలో స్థిరంగా పని చేయగలవు, శూన్య వాతావరణంలో పొరలను గ్రహించలేని సాంప్రదాయ వాక్యూమ్ చక్‌ల పరిమితిని అధిగమించి, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఇతర ప్రక్రియల ప్రక్రియ అవసరాలను ఖచ్చితంగా తీర్చగలవు.