ESC చక్

సెమీకోరెక్స్ ESC చక్ పొర యొక్క స్థానంపై ఖచ్చితమైన నియంత్రణను నిర్వహించడానికి ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ శక్తులను ఉపయోగిస్తుంది, సెమీకండక్టర్ తయారీ పరిసరాలలో అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు పునరావృతతను నిర్ధారిస్తుంది. ESC చక్ రూపకల్పన, దాని దృఢమైన పదార్థ ఎంపిక మరియు అనుకూలీకరించదగిన కొలతలతో కలిపి, చెక్కడం, నిక్షేపణ మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ వంటి ప్రక్రియలలో దీనిని బహుముఖ మరియు ముఖ్యమైన సాధనంగా చేస్తుంది.

ESC చక్ చక్ యొక్క ఎలక్ట్రోడ్లు మరియు పొరల మధ్య అధిక-వోల్టేజ్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫీల్డ్‌ను వర్తింపజేయడం ద్వారా పనిచేస్తుంది, పొరను ఉంచే ఆకర్షణీయమైన శక్తిని సృష్టిస్తుంది. సాధారణంగా సిలికాన్ లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో తయారు చేయబడిన పొర, ఈ శక్తి ద్వారా భద్రపరచబడుతుంది, ఇది అధిక-వాక్యూమ్ పరిసరాలలో ఖచ్చితమైన కార్యకలాపాలను అనుమతిస్తుంది. ఈ వ్యవస్థ మెకానికల్ బిగింపు లేదా వాక్యూమ్ చకింగ్ అవసరాన్ని తొలగిస్తుంది, ఇది కలుషితాలను పరిచయం చేస్తుంది లేదా పొరను వక్రీకరిస్తుంది. ESC చక్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, తయారీదారులు సున్నితమైన కల్పన ప్రక్రియల కోసం క్లీనర్, మరింత స్థిరమైన వాతావరణాన్ని సాధించగలరు, ఇది అధిక దిగుబడికి మరియు మరింత స్థిరమైన ఫలితాలకు దారి తీస్తుంది.

ESC సాంకేతికత యొక్క ముఖ్య ప్రయోజనాల్లో ఒకటి దాని ఉపరితలం అంతటా శక్తిని సమానంగా పంపిణీ చేసేటప్పుడు పొరపై గట్టి పట్టును కొనసాగించగల సామర్థ్యం. ఇది పొర ఫ్లాట్ మరియు స్థిరంగా ఉంటుందని నిర్ధారిస్తుంది, ఇది ఏకరీతి చెక్కడం లేదా నిక్షేపణను సాధించడానికి కీలకమైనది, ప్రత్యేకించి సబ్‌మిక్రాన్ ఖచ్చితత్వం అవసరమయ్యే ప్రక్రియలలో. ESC చక్ యొక్క అనుకూలీకరించదగిన కొలతలు, ప్రామాణిక 200mm మరియు 300mm పొరల నుండి పరిశోధన మరియు అభివృద్ధిలో లేదా సముచిత సెమీకండక్టర్ పరికరాల ఉత్పత్తిలో ఉపయోగించే ప్రత్యేకమైన, ప్రామాణికం కాని పరిమాణాల వరకు వివిధ పరిమాణాల పొరలను ఉంచడానికి అనుమతిస్తాయి.

ESC చక్ నిర్మాణంలో ఉపయోగించే పదార్థాలు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో సాధారణంగా కనిపించే కఠినమైన వాతావరణాలకు అనుకూలతను నిర్ధారించడానికి జాగ్రత్తగా ఎంపిక చేయబడతాయి. అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన సిరమిక్స్ అల్యూమినాను వాటి అద్భుతమైన ఎలక్ట్రికల్ ఇన్సులేటింగ్ లక్షణాలు, ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు ప్లాస్మా తుప్పుకు నిరోధకత కారణంగా ఉపయోగిస్తారు. ఈ లక్షణాలు చక్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక-వాక్యూమ్ పరిస్థితులలో సమర్థవంతంగా పనిచేయడానికి అనుమతిస్తాయి, శుభ్రమైన గది వాతావరణంలో దీర్ఘకాలిక ఉపయోగం కోసం అవసరమైన మన్నిక మరియు విశ్వసనీయతను అందిస్తాయి.

అనుకూలీకరణ అనేది ESC చక్స్ యొక్క మరొక ముఖ్యమైన ప్రయోజనం. సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ ప్రక్రియ యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలపై ఆధారపడి, చక్ యొక్క కొలతలు, ఎలక్ట్రోడ్ కాన్ఫిగరేషన్‌లు మరియు మెటీరియల్ కంపోజిషన్‌లు ప్రాసెస్ చేయబడే పరికరాలు మరియు పొరల యొక్క ప్రత్యేక అవసరాలను తీర్చడానికి అనుగుణంగా ఉంటాయి. అప్లికేషన్‌లో ప్లాస్మా ఎచింగ్, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) లేదా భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (PVD) ఉన్నా, ESC చక్ పనితీరును ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి మరియు ప్రాసెసింగ్ సమయంలో పొర యొక్క సమగ్రతను నిర్వహించడానికి ఇంజనీరింగ్ చేయబడుతుంది.