2023-04-27
ఒక ఏమిటిCVD కొలిమి?
CVD (రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ) ఫర్నేస్ అనేది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో వివిధ పదార్థాల యొక్క సన్నని చలనచిత్రాలను ఒక ఉపరితలంపై జమ చేయడానికి ఉపయోగించే ఒక రకమైన కొలిమి. ఈ ప్రక్రియ వాక్యూమ్ లేదా అల్ప పీడన వాతావరణంలో నిర్వహించబడుతుంది, రియాక్టివ్ వాయువును ఉపయోగించి ఉపరితల పదార్థంతో చర్య జరిపి కావలసిన సన్నని చలనచిత్రాన్ని ఏర్పరుస్తుంది. CVD ఫర్నేస్ మైక్రోచిప్లు, సౌర ఘటాలు మరియు ఇతర ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలను ఉత్పత్తి చేయడానికి కీలకమైన సాధనం.
CVD ఫర్నేస్ ఎలా పని చేస్తుంది?
CVD కొలిమిచాంబర్ లోపల అల్ప పీడన వాతావరణాన్ని సృష్టించడం మరియు గదిలోకి రియాక్టివ్ వాయువును ప్రవేశపెట్టడం ద్వారా పని చేస్తుంది. గ్యాస్ సబ్స్ట్రేట్ మెటీరియల్తో చర్య జరుపుతుంది మరియు సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై సన్నని ఫిల్మ్ను ఏర్పరుస్తుంది. ఈ ప్రక్రియ అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద నిర్వహించబడుతుంది, సాధారణంగా 500°C నుండి 1200°C మధ్య, డిపాజిట్ చేయబడిన పదార్థం యొక్క రకాన్ని బట్టి ఉంటుంది.
ఉపరితల పదార్థం ఫర్నేస్ చాంబర్ లోపల ఉంచబడుతుంది మరియు గది మూసివేయబడుతుంది. రియాక్టివ్ వాయువు అప్పుడు గదిలోకి ప్రవేశపెట్టబడుతుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతకు వేడి చేయబడుతుంది. గ్యాస్ అణువులు సబ్స్ట్రేట్ మెటీరియల్తో ప్రతిస్పందిస్తాయి మరియు ఫలితంగా ఉత్పత్తి ఉపరితలం యొక్క ఉపరితలంపై సన్నని చలనచిత్రాన్ని ఏర్పరుస్తుంది.
CVD ఫర్నేస్ యొక్క అప్లికేషన్లు ఏమిటి?
CVD కొలిమిసెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విస్తృత శ్రేణి అనువర్తనాలను కలిగి ఉంది, వీటిలో:
1. మైక్రోచిప్ తయారీలో ఉపయోగించే సిలికాన్ డయాక్సైడ్, సిలికాన్ నైట్రైడ్ మరియు ఇతర విద్యుద్వాహక పదార్థాల నిక్షేపణ.
2. మైక్రోచిప్ల ఉత్పత్తిలో ఉపయోగించే పాలీసిలికాన్ మరియు ఇతర వాహక పదార్థాల నిక్షేపణ.
3.మైక్రోచిప్ యొక్క వివిధ పొరల మధ్య ఇంటర్కనెక్ట్లలో ఉపయోగించే అల్యూమినియం మరియు రాగి వంటి మెటల్ ఫిల్మ్ల నిక్షేపణ.
4. సౌర ఘటాల ఉత్పత్తికి సన్నని చలనచిత్రాల నిక్షేపణ.
5. దుస్తులు-నిరోధక భాగాలు మరియు సాధనాల ఉత్పత్తికి పూతలను నిక్షేపించడం.
ముగింపులో,CVD కొలిమిసెమీకండక్టర్ పరిశ్రమకు కీలకమైన సాధనం, మైక్రోచిప్లు, సౌర ఘటాలు మరియు ఇతర ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల ఉత్పత్తిని అనుమతిస్తుంది. ఇది చాంబర్ లోపల అల్ప పీడన వాతావరణాన్ని సృష్టించడం ద్వారా మరియు ఒక రియాక్టివ్ గ్యాస్ను పరిచయం చేయడం ద్వారా పనిచేస్తుంది, ఇది ఒక సన్నని చలనచిత్రాన్ని ఏర్పరుస్తుంది. దీని అప్లికేషన్లు విస్తారమైనవి మరియు విభిన్నమైనవి, ఆధునిక సాంకేతికతకు ఇది కీలకమైన సాధనంగా మారింది.