సెమీకండక్టర్ అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ టెక్నాలజీ అంటే ఏమిటి?

ఎలా చేస్తుందిఅయాన్ ఇంప్లాంట్ationపని?

సెమీకండక్టర్ తయారీలో, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ అనేది ఆర్సెనిక్ లేదా బోరాన్ వంటి నిర్దిష్ట అశుద్ధ పరమాణువులను ఇంజెక్ట్ చేయడానికి అధిక-శక్తి యాక్సిలరేటర్లను ఉపయోగించడం.సిలికాన్ ఉపరితలం. ఆవర్తన పట్టికలో 14వ స్థానంలో ఉన్న సిలికాన్, దాని నాలుగు బయటి ఎలక్ట్రాన్‌లను పొరుగు అణువులతో పంచుకోవడం ద్వారా సమయోజనీయ బంధాలను ఏర్పరుస్తుంది. ఈ ప్రక్రియ సిలికాన్ యొక్క విద్యుత్ లక్షణాలను మారుస్తుంది, ట్రాన్సిస్టర్ థ్రెషోల్డ్ వోల్టేజ్‌లను సర్దుబాటు చేస్తుంది మరియు మూలం మరియు కాలువ నిర్మాణాలను ఏర్పరుస్తుంది.

ఒక భౌతిక శాస్త్రవేత్త ఒకసారి సిలికాన్ లాటిస్‌లో వివిధ పరమాణువులను ప్రవేశపెట్టడం వల్ల కలిగే ప్రభావాల గురించి ఆలోచించాడు. ఐదు బాహ్య ఎలక్ట్రాన్‌లను కలిగి ఉన్న ఆర్సెనిక్‌ను జోడించడం ద్వారా, ఒక ఎలక్ట్రాన్ స్వేచ్ఛగా ఉంటుంది, సిలికాన్ యొక్క వాహకతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు దానిని n-రకం సెమీకండక్టర్‌గా మారుస్తుంది. దీనికి విరుద్ధంగా, కేవలం మూడు బాహ్య ఎలక్ట్రాన్‌లతో కూడిన బోరాన్‌ను ప్రవేశపెట్టడం వలన సానుకూల రంధ్రం ఏర్పడుతుంది, ఫలితంగా p-రకం సెమీకండక్టర్ ఏర్పడుతుంది. సిలికాన్ లాటిస్‌లో విభిన్న మూలకాలను చేర్చే ఈ పద్ధతిని అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ అంటారు.

యొక్క భాగాలు ఏమిటిఅయాన్ ఇంప్లాంటేషన్సామగ్రి?

అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ పరికరాలు అనేక కీలక భాగాలను కలిగి ఉంటాయి: అయాన్ సోర్స్, ఎలక్ట్రిక్ యాక్సిలరేషన్ సిస్టమ్, వాక్యూమ్ సిస్టమ్, ఎనాలిసిస్ మాగ్నెట్, బీమ్ పాత్, పోస్ట్-యాక్సిలరేషన్ సిస్టమ్ మరియు ఇంప్లాంటేషన్ ఛాంబర్. అయాన్ మూలం కీలకమైనది, ఎందుకంటే ఇది పరమాణువుల నుండి ఎలక్ట్రాన్‌లను తీసివేసి పాజిటివ్ అయాన్‌లను ఏర్పరుస్తుంది, తర్వాత అవి అయాన్ పుంజం ఏర్పడటానికి సంగ్రహించబడతాయి.

ఈ పుంజం మాస్ అనాలిసిస్ మాడ్యూల్ గుండా వెళుతుంది, సెమీకండక్టర్ సవరణ కోసం కావలసిన అయాన్‌లను ఎంపిక చేసి వేరు చేస్తుంది. సామూహిక విశ్లేషణ తర్వాత, అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన అయాన్ పుంజం కేంద్రీకరించబడింది మరియు ఆకృతి చేయబడుతుంది, అవసరమైన శక్తికి వేగవంతం చేయబడుతుంది మరియు అంతటా ఏకరీతిగా స్కాన్ చేయబడుతుంది.సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్. అధిక-శక్తి అయాన్లు పదార్థంలోకి చొచ్చుకుపోతాయి, లాటిస్‌లోకి చొప్పించబడతాయి, ఇది చిప్స్ మరియు ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌లపై ప్రాంతాలను వేరుచేయడం వంటి నిర్దిష్ట అనువర్తనాలకు ప్రయోజనకరమైన లోపాలను సృష్టిస్తుంది. ఇతర అనువర్తనాల కోసం, డ్యామేజ్‌ని రిపేర్ చేయడానికి మరియు డోపాంట్‌లను యాక్టివేట్ చేయడానికి, మెటీరియల్ కండక్టివిటీని పెంచడానికి ఎనియలింగ్ సైకిల్స్ ఉపయోగించబడతాయి.

అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ యొక్క సూత్రాలు ఏమిటి?

అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ అనేది డోపాంట్‌లను సెమీకండక్టర్లలోకి ప్రవేశపెట్టడానికి ఒక సాంకేతికత, ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ ఫాబ్రికేషన్‌లో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. ప్రక్రియలో ఇవి ఉంటాయి:

అయాన్ శుద్దీకరణ: మూలం నుండి ఉత్పన్నమయ్యే అయాన్లు, వివిధ ఎలక్ట్రాన్ మరియు ప్రోటాన్ సంఖ్యలను కలిగి ఉంటాయి, ఇవి సానుకూల/ప్రతికూల అయాన్ పుంజం ఏర్పడటానికి వేగవంతం చేయబడతాయి. కావలసిన అయాన్ స్వచ్ఛతను సాధించడానికి ఛార్జ్-టు-మాస్ నిష్పత్తి ఆధారంగా మలినాలు ఫిల్టర్ చేయబడతాయి.

అయాన్ ఇంజెక్షన్: వేగవంతమైన అయాన్ పుంజం లక్ష్యం క్రిస్టల్ ఉపరితలంపై ఒక నిర్దిష్ట కోణంలో నిర్దేశించబడుతుంది, ఏకరీతిలో వికిరణం చెందుతుందిపొర. ఉపరితలంలోకి చొచ్చుకుపోయిన తర్వాత, అయాన్లు గుద్దుకోవటం మరియు లాటిస్ లోపల చెదరగొట్టడం, చివరికి ఒక నిర్దిష్ట లోతు వద్ద స్థిరపడతాయి, పదార్థం యొక్క లక్షణాలను సవరించడం. భౌతిక లేదా రసాయన ముసుగులు ఉపయోగించి నమూనా డోపింగ్ సాధించవచ్చు, నిర్దిష్ట సర్క్యూట్ ప్రాంతాల యొక్క ఖచ్చితమైన విద్యుత్ మార్పులను అనుమతిస్తుంది.

డోపాంట్ల యొక్క అంచనా లోతు పంపిణీ పుంజం యొక్క శక్తి, కోణం మరియు పొర యొక్క పదార్థ లక్షణాల ద్వారా నిర్ణయించబడుతుంది.

ప్రయోజనాలు మరియు పరిమితులు ఏమిటిఅయాన్ ఇంప్లాంటేషన్?

ప్రయోజనాలు:

డోపాంట్ల విస్తృత శ్రేణి: ఆవర్తన పట్టిక నుండి దాదాపు అన్ని మూలకాలు ఉపయోగించబడతాయి, ఖచ్చితమైన అయాన్ ఎంపిక ద్వారా అధిక స్వచ్ఛత నిర్ధారిస్తుంది.

ఖచ్చితమైన నియంత్రణ: అయాన్ పుంజం యొక్క శక్తి మరియు కోణాన్ని ఖచ్చితంగా నియంత్రించవచ్చు, ఇది డోపాంట్ల యొక్క ఖచ్చితమైన లోతు మరియు ఏకాగ్రత పంపిణీని అనుమతిస్తుంది.

వశ్యత: అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ పొర యొక్క ద్రావణీయత పరిమితుల ద్వారా పరిమితం చేయబడదు, ఇతర పద్ధతుల కంటే అధిక సాంద్రతలను అనుమతిస్తుంది.

యూనిఫాం డోపింగ్: పెద్ద-ఏరియా ఏకరీతి డోపింగ్ సాధించవచ్చు.

ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ: ఇంప్లాంటేషన్ సమయంలో పొర యొక్క ఉష్ణోగ్రతను నియంత్రించవచ్చు.

పరిమితులు:

నిస్సార లోతు: సాధారణంగా ఉపరితలం నుండి ఒక మైక్రాన్‌కు పరిమితం.

చాలా నిస్సారమైన ఇంప్లాంటేషన్‌తో ఇబ్బందులు: తక్కువ-శక్తి కిరణాలను నియంత్రించడం కష్టం, ప్రక్రియ సమయం మరియు ఖర్చు పెరుగుతుంది.

లాటిస్ డ్యామేజ్: అయాన్లు లాటిస్‌ను దెబ్బతీస్తాయి, డోపాంట్‌లను రిపేర్ చేయడానికి మరియు యాక్టివేట్ చేయడానికి పోస్ట్-ఇంప్లాంటేషన్ ఎనియలింగ్ అవసరం.

అధిక ధర: పరికరాలు మరియు ప్రక్రియ ఖర్చులు ముఖ్యమైనవి.

సెమికోరెక్స్‌లో మేము ప్రత్యేకత కలిగి ఉన్నాముయాజమాన్య CVD పూతతో గ్రాఫైట్/సెరామిక్స్అయాన్ ఇంప్లాంషన్‌లో పరిష్కారాలు, మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు అవసరమైతే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

సంప్రదింపు ఫోన్: +86-13567891907

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com