SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?

గ్రాఫైట్ ససెప్టర్MOCVD పరికరాలలో ముఖ్యమైన భాగాలలో ఒకటి, ఇది వేఫర్ సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క క్యారియర్ మరియు హీటర్. థర్మల్ స్టెబిలిటీ మరియు థర్మల్ ఏకరూపత యొక్క లక్షణాలు పొర ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల నాణ్యతలో నిర్ణయాత్మక పాత్ర పోషిస్తాయి, ఇది పొర పదార్థాల ఏకరూపత మరియు స్వచ్ఛతను నేరుగా నిర్ణయిస్తుంది, ఫలితంగా దాని నాణ్యత నేరుగా ఎపిటాక్సీ తయారీని ప్రభావితం చేస్తుంది. ఈలోగా, ఉపయోగాలు మరియు పని పరిస్థితులలో మార్పుల సంఖ్య పెరగడంతో, కోల్పోవడం చాలా సులభం, మరియు వినియోగ వస్తువులకు చెందినది. గ్రాఫైట్ యొక్క అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు స్థిరత్వం దానిని మంచి ప్రయోజనకరంగా చేస్తాయిMOCVD పరికరాల కోసం ఒక ప్రాథమిక భాగం. అయితే ప్యూర్ గ్రాఫైట్ మాత్రమే వాడితే కొన్ని సమస్యలు ఎదురవుతాయి. ఉత్పత్తి ప్రక్రియలో తినివేయు వాయువు మరియు లోహ సేంద్రీయ అవశేషాలు ఉంటాయి మరియు గ్రాఫైట్ బేస్ తుప్పు పట్టడం మరియు పొడిని పడిపోతుంది, ఇది సేవ జీవితాన్ని బాగా తగ్గిస్తుంది.గ్రాఫైట్ ససెప్టర్, మరియు పడిపోయిన గ్రాఫైట్ పౌడర్ కూడా చిప్‌కు కాలుష్యాన్ని కలిగిస్తుంది, కాబట్టి బేస్ తయారీ ప్రక్రియలో కూడా ఈ సమస్యలను బేస్ తయారీ సమయంలో పరిష్కరించాల్సిన అవసరం ఉంది. పూత సాంకేతికత ఉపరితల పొడి స్థిరీకరణను అందించగలదు, ఉష్ణ వాహకతను మెరుగుపరుస్తుంది మరియు ఉష్ణ పంపిణీని సమం చేస్తుంది, ఇది ఈ సమస్యను పరిష్కరించడానికి ప్రధాన సాంకేతికతగా మారుతుంది. ఈ సమస్యను పరిష్కరించడం ప్రధాన సాంకేతికత. అప్లికేషన్ వాతావరణం మరియు అవసరాల ప్రకారంగ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు, ఉపరితల పూత క్రింది లక్షణాలను కలిగి ఉండాలి.

అధిక సాంద్రత మరియు పూర్తి చుట్టడం: మొత్తంగా గ్రాఫైట్ బేస్ అధిక ఉష్ణోగ్రత, తినివేయు పని వాతావరణంలో ఉంటుంది, ఉపరితలం పూర్తిగా చుట్టబడి ఉండాలి, అయితే పూత మంచి రక్షిత పాత్రను పోషించడానికి మంచి సాంద్రతలను కలిగి ఉండాలి.

మంచి ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్: సింగిల్ క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు ఉపయోగించే గ్రాఫైట్ బేస్‌కు చాలా ఎక్కువ ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్ అవసరం కాబట్టి, పూత సిద్ధమైన తర్వాత బేస్ యొక్క అసలైన ఫ్లాట్‌నెస్ తప్పనిసరిగా నిర్వహించబడాలి, అంటే పూత ఉపరితలం ఏకరీతిగా ఉండాలి.

మంచి బంధం బలం: గ్రాఫైట్ బేస్ మరియు పూత పదార్థం మధ్య ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం యొక్క వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించడం వలన వాటి మధ్య బంధం బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది మరియు అధిక మరియు తక్కువ ఉష్ణోగ్రత ఉష్ణ చక్రాల తర్వాత పూత పగులగొట్టడం సులభం కాదు.

అధిక ఉష్ణ వాహకత: అధిక నాణ్యత చిప్ పెరుగుదలకు గ్రాఫైట్ బేస్ నుండి వేగవంతమైన మరియు ఏకరీతి వేడి అవసరం, కాబట్టి పూత పదార్థం అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉండాలి.

అధిక ద్రవీభవన స్థానం, అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ మరియు తుప్పు నిరోధకత: పూత అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణంలో స్థిరంగా పని చేయగలగాలి.