2023-06-26
ప్రాసెసింగ్ సమయంలో, సెమీకండక్టర్ పొరలను సాధారణంగా ప్రత్యేక కొలిమిలో వేడి చేయాలి. ఇటువంటి ఫర్నేసులు సాధారణంగా పొడవైన, సన్నని, స్థూపాకార గొట్టాలను కలిగి ఉంటాయి. కొలిమి లేదా రియాక్టర్ యొక్క వృత్తాకార క్రాస్-సెక్షన్ ద్వారా నిర్వచించబడిన ఒక విమానం వెంట అమర్చబడిన విధంగా పొరలు కొలిమి మరియు రియాక్టర్లో ఉంచబడతాయి మరియు ముందుగా నిర్ణయించిన, సాధారణంగా సమానంగా ఖాళీ, కేంద్ర అక్షం వెంబడి బిందువుల వద్ద వేరుగా ఉంటాయి. కొలిమి లేదా రియాక్టర్. ఈ పొజిషనింగ్ను సాధించడానికి, పొరలు సాధారణంగా స్లాట్డ్ హోల్డర్లపై ఉంచబడతాయి, వీటిని వేఫర్ బోట్లు అని పిలుస్తారు, ఇవి పొరలను కేంద్ర అక్షం వెంట సమలేఖనం చేయబడిన ఖాళీ కాన్ఫిగరేషన్లో ఉంచుతాయి.
ప్రాసెస్ చేయవలసిన పొరల బ్యాచ్లను కలిగి ఉన్న చిన్న పడవలు పొడవైన కాంటిలివర్ తెడ్డులపై ఉంచబడతాయి, దీని ద్వారా గొట్టపు కొలిమిలు మరియు రియాక్టర్లు చొప్పించబడతాయి మరియు ఉపసంహరించబడతాయి. ఇటువంటి తెడ్డులు సాధారణంగా ఒక ఫ్లాట్ క్యారియర్ విభాగాన్ని కలిగి ఉంటాయి, దానిపై ఒకటి లేదా అంతకంటే ఎక్కువ చిన్న పడవలను ఉంచవచ్చు మరియు ఒక పొడవైన హ్యాండిల్, ఫ్లాట్ క్యారియర్ విభాగానికి ఒక చివర ఉంటుంది, దీని ద్వారా తెడ్డులను నిర్వహించవచ్చు. పరివర్తన భాగం సాధారణంగా హ్యాండిల్ మరియు క్యారియర్ భాగం మధ్య ఏర్పడుతుంది. అలాగే, హ్యాండిల్ తప్పనిసరిగా కొలిమి లేదా రియాక్టర్ నుండి విస్తరించి ఉండాలి, తద్వారా అది మరియు పొర పడవను మార్చవచ్చు.
కొలిమి లేదా రియాక్టర్లో పొర ఓడ యొక్క స్థానం చాలా ముఖ్యం ఎందుకంటే పొరలు లోబడి ఉండే ఏకరీతి ప్రాసెసింగ్ పరిస్థితులను సాధించడానికి ప్రతి పొర యొక్క కేంద్రాన్ని ఫర్నేస్ లేదా రియాక్టర్ యొక్క కేంద్ర అక్షానికి వీలైనంత దగ్గరగా ఉంచడం మంచిది. అందువల్ల, పొరలను మోసుకెళ్ళే ఓడ యొక్క బరువు వలన తెడ్డు యొక్క వంపుని తెడ్డు రూపకల్పనలో తప్పనిసరిగా పరిగణించాలి, ప్రత్యేకించి తెడ్డుకు ఒక చివర మాత్రమే మద్దతు ఉంటుంది, అంటే, కొలిమి గది నుండి పొడుచుకు వచ్చిన ముగింపు. ఆపరేషనల్ బరువు అవసరాల ఫలితంగా తెడ్డు డిజైన్ను పరిగణనలోకి తీసుకోవడంతో పాటు, తెడ్డు యొక్క పొడిగించిన చివరను సరిగ్గా ఉంచడానికి రూపొందించిన బిగింపుల సమితిని కూడా తప్పనిసరిగా ఉపయోగించాలి. ఈ బిగింపులు తెడ్డును ఖచ్చితంగా కావలసిన స్థితిలో ఉంచడానికి చాలా పటిష్టంగా ఉండాలి, అయితే ఉపయోగించడానికి సులభమైనవి మరియు బిగింపు సమయంలో తెడ్డు దెబ్బతినే అవకాశాన్ని తగ్గిస్తుంది.
అందువల్ల, ఇప్పటికే ఉన్న బిగింపు వ్యవస్థలకు అనుకూలంగా ఉంటూనే భారీ లోడ్తో ఉపయోగించగల కాంటిలివర్ తెడ్డు అవసరం. కాంటిలివర్ తెడ్డు అవసరం కూడా ఉంది, అది ఉపయోగించగల మొత్తం శ్రేణి బరువు లోడ్లపై ఆమోదయోగ్యమైన విక్షేపణ లక్షణాలను ప్రదర్శించింది.
సియాంటీలివర్ పాడిల్ CVD SiC పలుచని పొరతో రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ను ఉపయోగించమని సిఫార్సు చేయబడింది, ఇది అధిక స్వచ్ఛత మరియు సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్లోని భాగాలకు ఉత్తమ ఎంపిక.
సెమికోరెక్స్ అందించగలదుఅత్యంత నాణ్యమైనకాంటిలివర్ తెడ్డులుమరియుడ్రాయింగ్లు మరియు పని వాతావరణం ప్రకారం అనుకూలీకరించిన సేవలు.