హోమ్ > వార్తలు > ఇండస్ట్రీ వార్తలు

సెమీకండక్టర్ తయారీలో ప్రధాన సిరామిక్ భాగాలు

2025-07-31

సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో గదులు మరియు గదులు ఉంటాయి మరియు చాలా సిరామిక్స్ పొరలకు దగ్గరగా ఉన్న గదులలో ఉపయోగించబడతాయి. సిరామిక్ భాగాలు, కోర్ పరికరాల కావిటీస్‌లో విస్తృతంగా ఉపయోగించే ముఖ్యమైన భాగాలు, అల్యూమినా సిరామిక్స్, అల్యూమినియం నైట్రైడ్ సిరామిక్స్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్స్ వంటి అధునాతన సిరామిక్ పదార్థాలను ఉపయోగించి ఖచ్చితమైన ప్రాసెసింగ్ ద్వారా తయారు చేయబడిన సెమీకండక్టర్ పరికరాల భాగాలు. అధునాతన సిరామిక్ పదార్థాలు బలం, ఖచ్చితత్వం, విద్యుత్ లక్షణాలు మరియు తుప్పు నిరోధకతలో అద్భుతమైన పనితీరును కలిగి ఉంటాయి మరియు వాక్యూమ్ మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత వంటి ప్రత్యేక వాతావరణంలో సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క సంక్లిష్ట పనితీరు అవసరాలను తీర్చగలవు. సెమీకండక్టర్ పరికరాల యొక్క అధునాతన సిరామిక్ మెటీరియల్ భాగాలు ప్రధానంగా గదులలో ఉపయోగించబడతాయి మరియు వాటిలో కొన్ని పొరలతో ప్రత్యక్ష సంబంధంలో ఉన్నాయి. అవి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీలో కీలకమైన ఖచ్చితమైన భాగాలు మరియు వాటిని ఐదు వర్గాలుగా విభజించవచ్చు: యాన్యులర్ సిలిండర్లు, ఎయిర్ ఫ్లో గైడ్‌లు, లోడ్-బేరింగ్ మరియు స్థిర రకాలు, గ్రిప్పర్ రబ్బరు పట్టీలు మరియు మాడ్యూల్స్. ఈ వ్యాసం ప్రధానంగా మొదటి వర్గం గురించి మాట్లాడుతుంది: యాన్యులర్ సిలిండర్లు.


రింగులు మరియు సిలిండర్లు


1. మోయిరా రింగ్స్: ప్రధానంగా సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ పరికరాలలో ఉపయోగిస్తారు. ప్రాసెస్ చాంబర్‌లో ఉన్న వారు పొరతో ప్రత్యక్ష సంబంధంలోకి వస్తారు, గ్యాస్ మార్గదర్శకత్వం, ఇన్సులేషన్ మరియు తుప్పు నిరోధకతను పెంచుతారు.


2. గార్డ్ రింగులు: ప్రధానంగా సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ఎక్విప్‌మెంట్ మరియు ఎచర్‌లో ఉపయోగిస్తారు. ప్రాసెస్ ఛాంబర్‌లో ఉన్న అవి, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ మరియు సిరామిక్ హీటర్ వంటి కీ మాడ్యూల్ భాగాలను రక్షిస్తాయి.


3. ఎడ్జ్ రింగ్స్: ప్రధానంగా సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ఎక్విప్‌మెంట్ మరియు ఎచర్‌లో ఉపయోగిస్తారు. ప్రాసెస్ చాంబర్‌లో ఉన్న అవి, ప్లాస్మా తప్పించుకోకుండా స్థిరీకరిస్తాయి మరియు నిరోధిస్తాయి.

4. ఫోకస్ రింగ్స్: ప్రధానంగా సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ పరికరాలు, ఎట్చర్ మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ పరికరాలలో ఉపయోగిస్తారు. ప్రాసెస్ చాంబర్‌లో ఉన్న అవి పొర నుండి 20 మిమీ కంటే తక్కువ, గదిలోని ప్లాస్మాను కేంద్రీకరిస్తాయి.


5. రక్షిత కవర్లు: ప్రధానంగా సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ పరికరాలు మరియు ఎచర్‌లో ఉపయోగిస్తారు. ప్రాసెస్ చాంబర్‌లో ఉన్న వారు, ప్రాసెస్ అవశేషాలను ముద్రించండి మరియు గ్రహిస్తారు.


6. గ్రౌండింగ్ రింగులు: ప్రధానంగా సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ ఎక్విప్‌మెంట్ మరియు ఎచర్‌లో ఉపయోగిస్తారు. గది వెలుపల ఉన్న వారు, భాగాలను భద్రపరుస్తారు మరియు మద్దతు ఇస్తారు.


7. లైనర్: ప్రధానంగా ఎచర్స్ లో ఉపయోగిస్తారు, ప్రాసెస్ చాంబర్‌లో ఉంది, ఇది గ్యాస్ మార్గదర్శకత్వాన్ని పెంచుతుంది మరియు మరింత ఏకరీతి చలనచిత్ర నిర్మాణాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.


8.


9. థర్మోకపుల్ ప్రొటెక్షన్ ట్యూబ్: ప్రధానంగా వివిధ సెమీకండక్టర్ ఫ్రంట్-ఎండ్ పరికరాలలో ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది గది వెలుపల ఉంది మరియు సాపేక్షంగా స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన వాతావరణంలో థర్మోకపుల్స్ రక్షిస్తుంది.






సెమికోరెక్స్ అధిక-నాణ్యతను అందిస్తుందిసిరామిక్ ఉత్పత్తులుసెమీకండక్టర్‌లో. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు అవసరమైతే, దయచేసి మాతో సన్నిహితంగా ఉండటానికి వెనుకాడరు.


ఫోన్ # +86-13567891907 ను సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semichorex.com




X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept