2025-08-20
పొర తయారీలో ప్రతి అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ వెనుక నిశ్శబ్దంగా ఇంకా కీలకమైన ఆటగాడు: పొర పడవ. పొర ప్రాసెసింగ్ సమయంలో సిలికాన్ పొరను నేరుగా సంప్రదించే కోర్ క్యారియర్గా, దాని పదార్థం, స్థిరత్వం మరియు శుభ్రత నేరుగా తుది చిప్ దిగుబడి మరియు ప్రక్రియ స్థిరత్వానికి సంబంధించినవి. వివిధ క్యారియర్ పదార్థాలలో,సిలికన్ బొబ్బపడవలు క్రమంగా సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పరిష్కారాలను భర్తీ చేస్తాయి, ఇది అధునాతన ప్రక్రియలు మరియు హై-ఎండ్ పరికరాలకు ఇష్టపడే పరిష్కారంగా మారుతుంది.
SIC పొర పడవలు ఎందుకు?
7nm కంటే తక్కువ ప్రాసెస్ నోడ్ల పురోగతి మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ విండోస్ విస్తరణతో, సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పొర పడవలు ఉష్ణ స్థిరత్వం, కణ నియంత్రణ మరియు జీవితకాల నిర్వహణ పరంగా ఎక్కువగా కష్టపడుతున్నాయి.
సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర పడవలు ఈ క్రింది ప్రయోజనాల కారణంగా క్రమంగా ప్రాముఖ్యతను పొందుతున్నాయి:
1. అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరంగా ఉంటుంది:
అవి 1350-1600 ° C యొక్క దీర్ఘకాలిక ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రతను అందిస్తాయి, సివిడి, డిఫ్యూజన్ మరియు ఎనియలింగ్ వంటి ప్రధాన స్రవంతి ప్రక్రియలను సులభంగా నిర్వహిస్తాయి. 1800 ° C ఉష్ణోగ్రతలకు సంక్షిప్త బహిర్గతం కూడా మృదుత్వం లేదా వైకల్యాన్ని చూపించదు, ఇది సింగిల్ క్రిస్టల్ సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫర్నేస్ వంటి అధిక-ముగింపు పరికరాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
2. తక్కువ విస్తరణ మరియు అధిక థర్మల్ షాక్ స్థిరత్వం:
ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకంతో, అవి వేగవంతమైన ఉష్ణోగ్రత పెరుగుదల మరియు తగ్గుదలని తట్టుకోగలవు, ఉష్ణ ఒత్తిడి వల్ల కలిగే నిర్మాణ పగుళ్లను తగ్గిస్తాయి. ఇవి అధిక-ఉష్ణోగ్రత, సంక్లిష్ట వాతావరణాలలో (హైడ్రోజన్, నత్రజని, అమ్మోనియా మరియు ఫ్లోరైడ్లు వంటివి) అద్భుతమైన పదనిర్మాణం మరియు పనితీరును నిర్వహిస్తాయి.
3.క్లీన్ ఉపరితలం మరియు చాలా తక్కువ కాలుష్యం:
కనీస లోహ మలినాలతో అధిక పదార్థ స్వచ్ఛత. తక్కువ ఉపరితల కరుకుదనం, సిలికాన్ పొరల ద్వితీయ కాలుష్యాన్ని నివారించడం; అద్భుతమైన ఉపరితల కరుకుదనం నియంత్రణ, 0.1μm కంటే తక్కువ RA తో, కణ షెడ్డింగ్ను అణిచివేస్తుంది మరియు అధునాతన ప్రక్రియల యొక్క క్లీన్రూమ్ అవసరాలను తీరుస్తుంది;
4. వన్-పీస్ అచ్చు, ఖచ్చితమైన-మెషిన్డ్ పొర పడవ నిర్మాణాలను నేరుగా అచ్చు లేని ద్వారా ఏర్పడవచ్చు3 డి ప్రింటింగ్, అచ్చుల అవసరాన్ని తొలగించడం, అనుకూలీకరణ సామర్థ్యాన్ని గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది; ఐదు-యాక్సిస్ మ్యాచింగ్ మరియు వైర్-కటింగ్ టెక్నాలజీతో కలిపి, పడవ యొక్క దంతాలు బుర్-ఫ్రీగా ఉంటాయి, పొరలపై గీతలు పడకుండా ఉంటాయి మరియు మృదువైన ఆటోమేటెడ్ నిర్వహణను నిర్ధారిస్తాయి;
5. అధిక బలం మరియు దీర్ఘ జీవితం:
ఒకే పడవ అధిక లోడ్-బేరింగ్ బలాన్ని కలిగి ఉంది మరియు ఏకకాలంలో డజన్ల కొద్దీ వందల 12-అంగుళాల పొరలకు మద్దతు ఇస్తుంది. సాంప్రదాయ క్వార్ట్జ్ పడవలతో పోలిస్తే, పడవ యొక్క సగటు జీవితకాలం 5-10 రెట్లు ఎక్కువ, పరికరాల మార్పు పౌన frequency పున్యం మరియు యాజమాన్యం యొక్క మొత్తం ఖర్చును తగ్గిస్తుంది.
అప్లికేషన్ దృష్టాంతం
యొక్క విస్తృత అనుకూలతసిలికాన్ కార్బైడ్ పొర పడవలుసెమీకండక్టర్ క్షేత్రానికి మించి వారి దరఖాస్తును కొత్త శక్తి పదార్థాలు, LED తయారీ మరియు అణు శక్తి పరిశోధనలతో సహా పలు రకాల అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియ దృశ్యాలకు విస్తరిస్తుంది.
సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ
ఇది ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి, సివిడి నిక్షేపణ మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ వంటి కీలక ప్రక్రియలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది, ఇది ఉప -7NM ప్రాసెస్ లైన్ల కోసం అనివార్యమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత క్యారియర్గా మారుతుంది.
కాంతివిపీడన పరిశ్రమ
టాప్కాన్ మరియు హెచ్జెటి వంటి అభివృద్ధి చెందుతున్న బ్యాటరీ టెక్నాలజీలలో, ఎల్పిసివిడి మరియు ఎనియలింగ్ వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత కొలిమి ప్రక్రియలలో పొర పడవలను ఉపయోగిస్తారు, ఇది శక్తి సామర్థ్యం మరియు మార్పిడి రేట్లను మెరుగుపరచడంలో సహాయపడుతుంది.
మూడవ తరం సెమీకండక్టర్స్
LED లలో GAN మరియు SIC ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రక్రియల కోసం, అవి నీలమణి లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్ ఉపరితలాలకు మద్దతు ఇస్తాయి. అవి NH₃ మరియు HCL వంటి తినివేయు వాయువులను తట్టుకుంటాయి, అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ విద్యుత్ పరికరాల తయారీకి మద్దతు ఇస్తాయి.
న్యూ ఎనర్జీ మెటీరియల్స్ & రీసెర్చ్ హై-టెంపరేచర్ ప్లాట్ఫాం
లిథియం బ్యాటరీ కాథోడ్ పదార్థాల సింటరింగ్ ప్రతిచర్య మరియు అణు పరిశ్రమ పదార్థాల ఉష్ణ చికిత్సకు, ఉష్ణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు పరిశుభ్రతను కలపడం.
సెమికోరెక్స్ అధిక స్వచ్ఛతను అందిస్తుందిఅనుకూలీకరించిన SIC పొర పడవలు. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు అవసరమైతే, దయచేసి మాతో సన్నిహితంగా ఉండటానికి వెనుకాడరు.
ఫోన్ # +86-13567891907 ను సంప్రదించండి
ఇమెయిల్: sales@semichorex.com