సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియ అంటే ఏమిటి?

2025-11-14

సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ అనేది ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్‌ల కోసం ప్రాథమిక తయారీ ప్రక్రియ. ఇది IC పరికరాలను తేలికగా డోప్ చేయబడిన ఎపిటాక్సియల్ లేయర్‌లపై భారీగా డోప్ చేయబడిన పూడ్చిపెట్టిన పొరలతో రూపొందించడానికి అనుమతిస్తుంది, అదే సమయంలో పెరిగిన PN జంక్షన్‌లను ఏర్పరుస్తుంది, తద్వారా ICల ఐసోలేషన్ సమస్యను పరిష్కరిస్తుంది.సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ పొరలువివిక్త సెమీకండక్టర్ పరికరాలను రూపొందించడానికి ఒక ప్రాథమిక పదార్థం కూడా ఎందుకంటే అవి పరికరాల ఫార్వర్డ్ వోల్టేజ్ డ్రాప్‌ను తగ్గించేటప్పుడు PN జంక్షన్‌ల యొక్క అధిక బ్రేక్‌డౌన్ వోల్టేజీని నిర్ధారిస్తాయి. CMOS సర్క్యూట్‌లను రూపొందించడానికి సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ పొరలను ఉపయోగించడం లాచ్-అప్ ప్రభావాలను అణిచివేస్తుంది, కాబట్టి, CMOS పరికరాలలో సిలికాన్ ఎపిటాక్సియల్ పొరలు ఎక్కువగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.


సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ సూత్రం

సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ సాధారణంగా ఆవిరి దశ ఎపిటాక్సీ కొలిమిని ఉపయోగిస్తుంది. సిలికాన్ మూలం యొక్క కుళ్ళిపోవడం (సిలేన్, డైక్లోరోసిలేన్, ట్రైక్లోరోసిలేన్ మరియు సిలికాన్ టెట్రాక్లోరైడ్ వంటివి హైడ్రోజన్‌తో చర్య జరిపి సిలికాన్‌ను ఉత్పత్తి చేస్తాయి. పెరుగుదల సమయంలో, PH₃ మరియు B₂H₆ వంటి డోపింగ్ వాయువులను ఏకకాలంలో ప్రవేశపెట్టవచ్చు. డోపింగ్ భాగానికి ముందుగా పీడనం ఏర్పడుతుంది. నిర్దిష్ట రెసిస్టివిటీతో ఎపిటాక్సియల్ పొర.


పరికరాల కోసం సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ యొక్క ప్రయోజనాలు

1.లోయర్ సిరీస్ రెసిస్టెన్స్, ఐసోలేషన్ టెక్నిక్‌లను సులభతరం చేయండి మరియు CMOSలో సిలికాన్ కంట్రోల్డ్ రెక్టిఫైయర్ ప్రభావాన్ని తగ్గించండి.

2.అధిక (తక్కువ) రెసిస్టివిటీ ఎపిటాక్సియల్ పొరలను తక్కువ (అధిక) రెసిస్టివిటీ సబ్‌స్ట్రేట్‌లపై ఎపిటాక్సియల్‌గా పెంచవచ్చు;

3.ఒక N(P) రకం ఎపిటాక్సియల్ పొరను P(N) రకం సబ్‌స్ట్రేట్‌పై నేరుగా PN జంక్షన్‌ను ఏర్పరచవచ్చు, వ్యాప్తి పద్ధతిని ఉపయోగించి ఒకే క్రిస్టల్ సబ్‌స్ట్రేట్‌పై PN జంక్షన్‌ను రూపొందించినప్పుడు సంభవించే పరిహారం సమస్యను తొలగిస్తుంది.

4.మాస్కింగ్ టెక్నాలజీతో కలిపి, ప్రత్యేక నిర్మాణాలతో ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్లు మరియు పరికరాల తయారీకి పరిస్థితులను సృష్టించడం, నియమించబడిన ప్రాంతాలలో సెలెక్టివ్ ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధిని నిర్వహించవచ్చు.

5. ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్ సమయంలో, డోపింగ్ రకం మరియు ఏకాగ్రతను అవసరమైన విధంగా సర్దుబాటు చేయవచ్చు; ఏకాగ్రతలో మార్పు ఆకస్మికంగా లేదా క్రమంగా ఉంటుంది.

6.ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్ సమయంలో డోపాంట్ల రకం మరియు ఏకాగ్రతను అవసరమైన విధంగా సర్దుబాటు చేయవచ్చు. ఏకాగ్రత మార్పు ఆకస్మికంగా లేదా క్రమంగా ఉంటుంది.





సెమికోరెక్స్ అందిస్తుంది సి ఎపిటాక్సియల్ సిప్రత్యర్థులుకోసం అవసరం సెమీకండక్టర్ పరికరాల కోసం. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.


ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com




X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept