నిలువు ఫర్నేసులు ఎందుకు ప్రధాన స్రవంతి ఎంపికగా మారాయి?

నిలువు ఫర్నేసులు నిలువుగా ఉంచబడిన అధిక-ఉష్ణోగ్రత తాపన పరికరాలు ప్రత్యేకంగా సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క వేడి చికిత్స కోసం రూపొందించబడ్డాయి. పూర్తి నిలువు కొలిమి వ్యవస్థ అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకతతో కూడి ఉంటుందికొలిమి గొట్టం, హీటింగ్ ఎలిమెంట్, టెంపరేచర్ కంట్రోల్ సిస్టమ్, గ్యాస్ కంట్రోల్ సిస్టమ్ మరియు వేఫర్ సపోర్ట్ స్ట్రక్చర్. నిలువు ఫర్నేసులు అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో ప్రత్యేక వాయువులను (ఆక్సిజన్, హైడ్రోజన్, నైట్రోజన్ మొదలైనవి) ప్రవేశపెట్టడం ద్వారా సిలికాన్ ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి, ఎనియలింగ్ మరియు అటామిక్ లేయర్ డిపాజిషన్ (ALD)తో సహా క్లిష్టమైన సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలను సులభతరం చేస్తాయి.

సెమీకండక్టర్ తయారీలో హీట్ ట్రీట్‌మెంట్ పరికరాల పరిణామంలో, నిలువు ఫర్నేసులు వాటి మూడు ప్రధాన ప్రయోజనాల కారణంగా వేడి చికిత్స ప్రక్రియలకు ప్రధాన స్రవంతి ఎంపికగా మారాయి.

1. స్థల వినియోగం యొక్క దృక్కోణం నుండి, నిలువు ఫర్నేసులు నిలువు గొట్టాలు మరియు నిలువు పొర పడవల కలయిక రూపకల్పనను అవలంబిస్తాయి. అదే ప్రాసెసింగ్ సామర్థ్యంలో, వాటి ఫ్లోర్ స్పేస్ అవసరం క్షితిజ సమాంతర ఫర్నేస్‌ల కంటే 50%-60% మాత్రమే, ప్రత్యేకించి 450 మిమీ పొర విస్తరణ ధోరణిలో క్లీన్‌రూమ్‌ల యూనిట్ ప్రాంతానికి ఉత్పత్తి సామర్థ్య సాంద్రతను పెంచడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది. మాడ్యులర్ వర్టికల్ స్టాకింగ్ ద్వారా, ఒకే పరికరం నిర్వహించగల పొరల సంఖ్య 40% పెరిగింది మరియు క్షితిజ సమాంతర కొలిమి కంటే యూనిట్ ప్రాంతానికి అవుట్‌పుట్ సామర్థ్యం మెరుగ్గా ఉంటుంది.

2. నిలువు ఫర్నేసులు మూడు-పాయింట్ గాడి మద్దతు ద్వారా క్షితిజ సమాంతర పొర స్థానాలను సాధిస్తాయి. నిలువు గాలి ప్రవాహంతో కలిపి, ఈ కాన్ఫిగరేషన్ ఫర్నేస్‌లో మరింత ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత ప్రవణతలు మరియు సుష్ట ఉష్ణ ఒత్తిడి పంపిణీని అందిస్తుంది, పొర వార్‌పేజ్ ప్రమాదాన్ని 30% కంటే ఎక్కువ తగ్గిస్తుంది. ఇది హై-కె డైలెక్ట్రిక్ డిపాజిషన్ మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ ఎనియలింగ్ వంటి థర్మల్ సెన్సిటివ్ ప్రక్రియలకు ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా ఉంటుంది. దీనికి విరుద్ధంగా, క్షితిజ సమాంతర ఫర్నేస్‌ల నిలువు స్థానం పొర అంచుల వద్ద ఉష్ణోగ్రత వైవిధ్యాలకు కారణమవుతుంది మరియు స్థానిక ఒత్తిడి ఏకాగ్రత ప్రమాదాన్ని పెంచుతుంది.

3. స్వయంచాలక పొర నిర్వహణ యొక్క సౌలభ్యం నిలువు ఫర్నేసుల యొక్క మరొక క్లిష్టమైన ప్రయోజనం. క్షితిజసమాంతర ఫర్నేసులు తీయడానికి రోబోటిక్ చేతులు అవసరంపొరలునిలువు ధోరణిలో, ఇది స్థాన ఖచ్చితత్వం మరియు బిగింపు శక్తి నియంత్రణపై కఠినమైన అవసరాలు కోరుతుంది. కార్యాచరణ వ్యత్యాసాల కారణంగా అవి పొర విచ్ఛిన్నమయ్యే ప్రమాదాన్ని పెంచుతాయి. నిలువు కొలిమిలో, పొరలు అడ్డంగా ఉంచబడతాయి. రోబోటిక్ చేయి వాక్యూమ్ అడ్సోర్ప్షన్ ద్వారా కాంటాక్ట్-ఫ్రీ హ్యాండ్లింగ్‌ను సాధించగలదు. విజువల్ పొజిషనింగ్ సిస్టమ్‌తో కలిపి, హ్యాండ్లింగ్ ఖచ్చితత్వం ±0.1mmకి మెరుగుపరచబడింది, ఇది ఆటోమేషన్ యొక్క మొత్తం స్థాయిని బాగా పెంచుతుంది.