రియాక్షన్ ఛాంబర్ కాన్ఫిగరేషన్ ఆధారంగా, హీట్ ట్రీట్మెంట్ పరికరాలు (ఫర్నేస్ ట్యూబ్ పరికరాలు) ప్రధానంగా మూడు వర్గాలుగా విభజించబడ్డాయి: నిలువు కొలిమి గొట్టాలు, సమాంతర కొలిమి గొట్టాలు మరియు వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP) ఫర్నేసులు.
నిలువు కొలిమి గొట్టాలు నిలువుగా అమర్చబడిన క్వార్ట్జ్ గొట్టాలను కలిగి ఉంటాయి, వేడి చేయడానికి గొట్టాల చుట్టూ పొరలు ఉంచబడతాయి. వాటి ప్రధాన ప్రయోజనాలు ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీ, ఖచ్చితమైన వాతావరణ నియంత్రణ, అధిక ఆటోమేషన్, తక్కువ రేణువుల కాలుష్యం, చిన్న పాదముద్ర మరియు బ్యాచ్ ప్రాసెసింగ్కు మద్దతు (ముఖ్యంగా 12-అంగుళాల పొరలకు అనుకూలం), ప్రస్తుతం అందుబాటులో ఉన్న ప్రధాన స్రవంతి పరికరాలు. ప్రపంచ మార్కెట్ పరిమాణం 2024లో $3.2 బిలియన్లకు చేరుకుంది (SEMI డేటా). వాటి ప్రతికూలతలు తేలికైన గ్యాస్-ద్రవ విభజన మరియు మీడియం యొక్క క్రిందికి ప్రవహించడం వలన ఫర్నేస్ ట్యూబ్ కాలిపోతుంది.
క్షితిజసమాంతర ఫర్నేస్ ట్యూబ్లు క్వార్ట్జ్ ట్యూబ్లను క్షితిజ సమాంతరంగా ఉంచుతాయి, ఒకేసారి 100-200 పొరలను ప్రాసెస్ చేస్తాయి. వాటి ప్రయోజనాలు ఫర్నేస్ ట్యూబ్ లోపల ఏకరీతి వాయువు-ద్రవ ప్రవాహం మరియు మరింత ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ. వాటి ప్రతికూలతలు పెద్ద పాదముద్ర మరియు అధిక-అల్లాయ్ స్టీల్ ఇంటర్మీడియట్ ట్యూబ్ సపోర్ట్ల యొక్క అధిక వినియోగం. నిర్మాణాత్మకంగా, క్షితిజ సమాంతర ఫర్నేస్ ట్యూబ్లు ప్రాసెసింగ్ కోసం క్షితిజ సమాంతర గొట్టాల లోపల పొరలను నిలువుగా ఉంచుతాయి.
రాపిడ్ థర్మల్ ఎనియలింగ్ (RTP) ఫర్నేసులు ఒకే పొరలను వేగంగా వేడి చేయడానికి హాలోజన్ ఇన్ఫ్రారెడ్ ల్యాంప్లను ఉపయోగిస్తాయి, వేగవంతమైన తాపన మరియు శీతలీకరణ రేట్లను అందిస్తాయి, ఇవి ఛాంబర్ ఉష్ణోగ్రతను మార్చకుండా పొర ఉష్ణోగ్రతను మాత్రమే మారుస్తాయి. అవి చిన్న-బ్యాచ్ వేగవంతమైన ఎనియలింగ్కు అనుకూలంగా ఉంటాయి కాని భారీ ఉత్పత్తికి కాదు.
పొర ప్రాసెసింగ్లో, క్షితిజ సమాంతర కొలిమి గొట్టాలు పొరను క్వార్ట్జ్ పడవపై ఉంచుతాయి, ఇది సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) మద్దతు ఫ్రేమ్పై ఉంటుంది. అప్పుడు మద్దతు ఫ్రేమ్ క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్లోకి నెట్టబడుతుంది, ఇక్కడ పొర స్థిరమైన-ఉష్ణోగ్రత జోన్లో ప్రతిచర్యకు లోనవుతుంది. నిలువు కొలిమి గొట్టాలు, మరోవైపు, క్వార్ట్జ్ టవర్పై పొరను ఉంచి, ప్రాసెసింగ్ కోసం నెమ్మదిగా క్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్లోకి పెంచుతాయి. ప్రతిచర్య తర్వాత, వంగడం లేదా విచ్ఛిన్నం కాకుండా నిరోధించడానికి పొర నెమ్మదిగా తగ్గించబడుతుంది.
సెమికోరెక్స్ అధిక-నాణ్యత అనుకూలీకరించిన సరఫరాక్వార్ట్జ్ ఫర్నేస్ రియాక్టర్. మా ఉత్పత్తులు ఉన్నతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వం, పొడిగించిన సేవా జీవితం మరియు అసాధారణమైన ప్రక్రియ అనుగుణ్యతను అందించడానికి రూపొందించబడ్డాయి. అనుకూలీకరించిన పరిష్కారాలు లేదా అదనపు సాంకేతిక సమాచారం కోసం, దయచేసి మా ఇంజనీరింగ్ బృందాన్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.
ఫోన్: +86-13567891907
ఇమెయిల్: sales@semicorex.com