SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అంటే ఏమిటి?

పరిచయం చేయడానికిSiC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ రిసీవర్, దాని అప్లికేషన్ అర్థం చేసుకోవడం ముఖ్యం. పరికరాలను తయారు చేస్తున్నప్పుడు, కొన్ని పొర ఉపరితలాలపై తదుపరి ఎపిటాక్సియల్ పొరలను నిర్మించడం అవసరం. ఉదాహరణకు, LED కాంతి-ఉద్గార పరికరాలకు సిలికాన్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లపై GaAs ఎపిటాక్సియల్ లేయర్‌ల తయారీ అవసరం; SiC సబ్‌స్ట్రేట్‌లపై SiC పొర పెరుగుదల అవసరం అయితే, అధిక వోల్టేజ్ మరియు అధిక కరెంట్ వంటి పవర్ అప్లికేషన్‌ల కోసం పరికరాలను నిర్మించడంలో ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ సహాయపడుతుంది, ఉదాహరణకు SBD, MOSFET, మొదలైనవి. దీనికి విరుద్ధంగా, GaN ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ సెమీ-ఇన్సులేటింగ్ SiCపై నిర్మించబడింది. కమ్యూనికేషన్‌ల వంటి రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ అప్లికేషన్‌ల కోసం HEMT వంటి పరికరాలను మరింత నిర్మించడానికి సబ్‌స్ట్రేట్. దీన్ని చేయడానికి, aCVD పరికరాలు(ఇతర సాంకేతిక పద్ధతులలో) అవసరం. ఈ పరికరాలు III మరియు II సమూహ మూలకాలను మరియు V మరియు VI సమూహ మూలకాలను ఉపరితల ఉపరితలంపై వృద్ధి మూల పదార్థాలుగా జమ చేయగలవు.

లోCVD పరికరాలు, సబ్‌స్ట్రేట్‌ను నేరుగా మెటల్‌పై ఉంచడం సాధ్యం కాదు లేదా ఎపిటాక్సియల్ డిపాజిషన్ కోసం బేస్‌పై ఉంచడం సాధ్యం కాదు. ఎందుకంటే గ్యాస్ ప్రవాహ దిశ (క్షితిజ సమాంతర, నిలువు), ఉష్ణోగ్రత, పీడనం, స్థిరీకరణ, కలుషితాలను తొలగించడం మొదలైనవి ప్రక్రియను ప్రభావితం చేసే అన్ని అంశాలు. అందువల్ల, సబ్‌స్ట్రేట్‌ను డిస్క్‌లో ఉంచిన చోట ఒక ససెప్టర్ అవసరం, ఆపై ఉపరితలంపై ఎపిటాక్సియల్ నిక్షేపణను నిర్వహించడానికి CVD సాంకేతికత ఉపయోగించబడుతుంది. ఈ ససెప్టర్ ఒక SiC-కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ (దీనిని ట్రే అని కూడా అంటారు).

దిగ్రాఫైట్ రిసీవర్లో కీలకమైన భాగంMOCVD పరికరాలు. ఇది సబ్‌స్ట్రేట్ యొక్క క్యారియర్ మరియు హీటింగ్ ఎలిమెంట్‌గా పనిచేస్తుంది. దాని ఉష్ణ స్థిరత్వం, ఏకరూపత మరియు ఇతర పనితీరు పారామితులు ఎపిటాక్సియల్ మెటీరియల్ పెరుగుదల నాణ్యతను నిర్ణయించే ముఖ్యమైన కారకాలు మరియు సన్నని ఫిల్మ్ మెటీరియల్ యొక్క ఏకరూపత మరియు స్వచ్ఛతను నేరుగా ప్రభావితం చేస్తాయి. అందువలన, యొక్క నాణ్యతగ్రాఫైట్ రిసీవర్ఎపిటాక్సియల్ పొరల తయారీలో ముఖ్యమైనది. అయినప్పటికీ, ససెప్టర్ యొక్క వినియోగించదగిన స్వభావం మరియు మారుతున్న పని పరిస్థితుల కారణంగా, అది సులభంగా పోతుంది.

గ్రాఫైట్ అద్భుతమైన థర్మల్ కండక్టివిటీ మరియు స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంది, దీని కోసం ఇది ఒక ఆదర్శవంతమైన మూల భాగంMOCVD పరికరాలు. అయితే, స్వచ్ఛమైన గ్రాఫైట్ కొన్ని సవాళ్లను ఎదుర్కొంటుంది. ఉత్పత్తి సమయంలో, అవశేష తినివేయు వాయువులు మరియు లోహ సేంద్రియ పదార్థం ససెప్టర్‌ను తుప్పు పట్టడానికి మరియు పొడిగా మార్చడానికి కారణమవుతుంది, తద్వారా దాని సేవా జీవితాన్ని బాగా తగ్గిస్తుంది. అదనంగా, పడిపోతున్న గ్రాఫైట్ పౌడర్ చిప్‌కు కాలుష్యాన్ని కలిగిస్తుంది. అందువల్ల, బేస్ తయారీ ప్రక్రియలో ఈ సమస్యలను పరిష్కరించాలి.

పూత సాంకేతికత అనేది ఉపరితలాలపై పొడిని సరిచేయడానికి, ఉష్ణ వాహకతను మెరుగుపరచడానికి మరియు వేడిని సమానంగా పంపిణీ చేయడానికి ఉపయోగించే ప్రక్రియ. ఈ సమస్యను పరిష్కరించడానికి ఈ సాంకేతికత ప్రాథమిక మార్గంగా మారింది. అప్లికేషన్ వాతావరణం మరియు గ్రాఫైట్ బేస్ యొక్క వినియోగ అవసరాలపై ఆధారపడి, ఉపరితల పూత క్రింది లక్షణాలను కలిగి ఉండాలి:

1. అధిక సాంద్రత మరియు పూర్తి చుట్టడం: గ్రాఫైట్ బేస్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత, తినివేయు పని వాతావరణంలో ఉంది మరియు ఉపరితలం పూర్తిగా కప్పబడి ఉండాలి. మంచి రక్షణను అందించడానికి పూత కూడా మంచి సాంద్రత కలిగి ఉండాలి.

2. మంచి ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్: సింగిల్ క్రిస్టల్ ఎదుగుదలకు ఉపయోగించే గ్రాఫైట్ బేస్‌కు అధిక ఉపరితల ఫ్లాట్‌నెస్ అవసరం కాబట్టి, పూత సిద్ధమైన తర్వాత బేస్ యొక్క అసలైన ఫ్లాట్‌నెస్‌ను తప్పనిసరిగా నిర్వహించాలి. దీని అర్థం పూత ఉపరితలం ఏకరీతిగా ఉండాలి.

3. మంచి బంధం బలం: గ్రాఫైట్ బేస్ మరియు పూత పదార్థం మధ్య థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్‌లో వ్యత్యాసాన్ని తగ్గించడం ద్వారా రెండింటి మధ్య బంధ బలాన్ని సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది. అధిక మరియు తక్కువ ఉష్ణోగ్రత ఉష్ణ చక్రాలను అనుభవించిన తర్వాత, పూత పగులగొట్టడం సులభం కాదు.

4. అధిక ఉష్ణ వాహకత: అధిక-నాణ్యత చిప్ పెరుగుదలకు గ్రాఫైట్ బేస్ నుండి వేగవంతమైన మరియు ఏకరీతి వేడి అవసరం. అందువల్ల, పూత పదార్థం అధిక ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉండాలి.

5. అధిక ద్రవీభవన స్థానం, ఆక్సీకరణకు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత: పూత అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు పని వాతావరణంలో స్థిరంగా పని చేయగలగాలి.

ప్రస్తుతం,సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC)అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాయువు పరిసరాలలో అసాధారణమైన పనితీరు కారణంగా గ్రాఫైట్ పూత కోసం ప్రాధాన్య పదార్థం. అంతేకాకుండా, గ్రాఫైట్‌తో దాని దగ్గరి ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం వాటిని బలమైన బంధాలను ఏర్పరుస్తుంది. అదనంగా,టాంటాలమ్ కార్బైడ్(TaC) పూతకూడా మంచి ఎంపిక, మరియు ఇది ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రత (>2000℃) వాతావరణంలో నిలబడగలదు.

సెమికోరెక్స్ అధిక నాణ్యతను అందిస్తుందిSiCమరియుTaC పూతతో కూడిన గ్రాఫైట్ ససెప్టర్లు. మీకు ఏవైనా విచారణలు ఉంటే లేదా అదనపు వివరాలు కావాలంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి సంకోచించకండి.

ఫోన్ # +86-13567891907 సంప్రదించండి

ఇమెయిల్: sales@semicorex.com