SiC బోట్ అంటే ఏమిటి మరియు దాని వివిధ తయారీ ప్రక్రియలు ఏమిటి?

1. యొక్క విభిన్న తయారీ ప్రక్రియలుSiC బోట్

(1) యొక్క పొరను పూయడంSiC చిత్రంగ్రాఫైట్ ఉపరితలంపైక్రిస్టల్ పడవలుCVD ద్వారా

ఈ రకమైన పడవలో గ్రాఫైట్ కోర్ ఉంది, ఇది ఒక ముక్కగా తయారు చేయబడుతుంది. అయితే,గ్రాఫైట్ పోరస్మరియు కణ ఉత్పత్తికి అవకాశం ఉంది, a యొక్క అప్లికేషన్ అవసరంSiC ఫిల్మ్ కోటింగ్దాని ఉపరితలంపై. గ్రాఫైట్ బాడీ మరియు ది థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ గుణకం (CTE)లో అసమతుల్యత కారణంగాSiC చిత్రం, బహుళ తాపన మరియు శీతలీకరణ చక్రాల తర్వాత పూత తొలగిపోయే అవకాశం ఉంది, ఇది కణ కాలుష్యానికి దారితీస్తుంది. ఈ పడవలు తక్కువ ఖర్చుతో కూడుకున్నవి మరియు దాదాపు ఒక సంవత్సరం జీవితకాలం కలిగి ఉంటాయి.

(2) యొక్క పొరను పూయడంSiC చిత్రంపునఃస్ఫటికీకరణపైSiC క్రిస్టల్ బోట్లు

రీక్రిస్టలైజ్ చేయబడిందిSiC పడవలుపోరస్ కూడా కలిగి ఉంటాయి మరియు సులభంగా కణాలను ఉత్పత్తి చేయగలవు. అందువలన, రీక్రిస్టలైజ్డ్ యొక్క వ్యక్తిగత భాగాలుSiC పడవలుముందుగా ఏర్పడి, సిన్టర్ చేసి, ఆపై విడిగా మెషిన్ చేయాలి. తరువాత, భాగాలు Si పేస్ట్ ఉపయోగించి అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద కలిసి బంధించబడతాయి. ఒకసారి ఒకే పడవలో సమావేశమై, aSiC చిత్రంCVD ద్వారా వర్తించబడుతుంది. ఇది రీక్రిస్టలైజ్ చేయబడిందిSiC పడవపొడవైన తయారీ ప్రక్రియను కలిగి ఉంది మరియు ఖరీదైనది, కానీ ఉపరితలంCVD పూతదాదాపు మూడు సంవత్సరాల జీవితకాలంతో కూడా దెబ్బతింటుంది.

(3)ఏకశిలాSiC క్రిస్టల్ బోట్లు

ఇవిపడవలుపూర్తిగా SiC మెటీరియల్‌తో కూడి ఉంటాయి. SiC పౌడర్‌ను తప్పనిసరిగా మోల్డ్ చేసి, ఏకశిలా పడవ ఆకారంలో వేయాలి. చాలా ఖరీదైనవి, అవి చాలా మన్నికైనవి మరియు కణాలను ఉత్పత్తి చేసే అవకాశం తక్కువ. అయినప్పటికీ, ఈ పడవలు 10-15% ఉచిత సిలికాన్‌ను కలిగి ఉంటాయి, ఇది ఫ్లోరిన్ మరియు క్లోరిన్ ద్వారా కోతకు గురవుతుంది, ఇది కణ కాలుష్యానికి దారితీస్తుంది.

2. డ్రై క్లీనింగ్ ఎందుకు సిఫార్సు చేయబడదు?

సారాంశంలో, కోసంSiC పడవలుa తో పూతసివిడి ద్వారా సిసి ఫిల్మ్, డ్రై క్లీనింగ్ సమయంలో ఉపరితల పూత పొట్టుకు గురవుతుంది, ఇది కణ కాలుష్యానికి కారణమవుతుంది. ఏకశిలా కోసంSiC పడవలుతక్కువ మొత్తంలో ఉచిత సిలికాన్‌ను కలిగి ఉంటుంది, ఫ్లోరిన్ లేదా క్లోరిన్ కలిగిన వాయువులకు గురికావడం కోతకు మరియు కణాల ఉత్పత్తికి దారితీస్తుంది, తద్వారా కాలుష్యం ఏర్పడుతుంది.**